МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ (Госстандарт)

28 декабря 2017 г.                                          _№   2992

Москва

Об утверждении Государственного первичного эталона единиц эллипсометрических углов

В результате выполнения мероприятий в рамках Договоров от 20.03.2015 № 120-19, от 21.03.2016 № 120-16; Дополнительных соглашений от 28.08.2015 № 1 к Договору от 20.03.2015 № 120-19, от 12.05.2016 № 1 к Договору от 21.03.2016 № 120-16, от 30.05.2016 № 2 к Договору от 21.03.2016 № 120-16; Соглашения от 07.06.2017 № 172-11-010; Дополнительного соглашения от 28.09.2017 № 172-11-010/1 «О предоставлении субсидий на безвозмездной и безвозвратной основе на возмещение затрат, связанных с осуществлением мероприятий в области обеспечения единства измерений: совершенствование государственных первичных эталонов единиц величин и государственных эталонов единиц величин» Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии с Федеральным государственным унитарным предприятием «Всероссийский научно-исследовательский институт оптикофизических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ») в интересах предприятий оптической и микроэлектронной промышленности при создании многослойных тонкопленочных покрытий, новых изделий микроэлектроники и солнечных батарей усовершенствован Государственный первичный эталон единиц эллипсометрических углов (ГЭТ 186-2010).

Разработана Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов.

С учетом протокола заседания коллегии Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 26 декабря 2017 г. №2     приказываю:

• 1. Утвердить Государственный первичный эталон единиц эллипсометрических углов в составе и с характеристиками, указанными в паспорте эталона, и присвоить ему регистрационный номер ГЭТ 186-2017 взамен ГЭТ 186-2010.

• 2. Утвердить правила содержания и применения Государственного первичного эталона единиц эллипсометрических углов.

• 3. Установить межаттестационный интервал 5 лет.

• 4. Установить место хранения, содержания и применения Государственного первичного эталона единиц эллипсометрических углов -Федеральное государственное унитарное предприятие Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений (ФГУП «ВНИИОФИ»),

• 5. Утвердить ученым хранителем государственного первичного эталона единиц эллипсометрических углов Минаева Владимира Леонидовича, кандидата технических наук, начальника лаборатории томографических измерительных систем отделения голографии, оптической томографии и метрологического обеспечения нанотехнологий и наноматериалов ФГУП «ВНИИОФИ».

• 6. Управлению метрологии (Е.Р.Лазаренко) и ФГУП «ВНИИОФИ» (А.С.Батурин) провести работы по корректировке Плана разработки (пересмотра) и утверждения государственных поверочных схем на 2018 г., утвержденного приказом Госстандарта от 29 декабря 2017 г. № 3021.

• 7. Пресс-службе Госстандарта проинформировать общественность, заинтересованные федеральные органы исполнительной власти и предприятия об утверждении ГЭТ 186-2017 с новыми метрологическими характеристиками.

• 8. Контроль за исполнением настоящего приказа возложить на заместителя Гуководителя Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии С.С.Голубева.

Гуководитель

Г                                       Л

Подлинник электронного документа, подписанного ЭП, хранится в системе электронного документооборота Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии.

СВЕДЕНИЯ О СЕРТИФИКАТЕ ЭГ1

Сертификат: OOE1036E871611E780D7E0071B1B1703DO Кому выдан: Абрамов Алексей Владимирович Действителен; с 23.08.2017 до 23.08.2018