МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ (Госстандарт)

22 августа 2019 г.                                              №     1969

Москва

О переоформлении свидетельства об утверждении типа № 62649 «Системы рентгеновского энергодисперсионного микроанализа Quantax EDS» и внесении изменений в описание типа

Во исполнение Административного регламента по предоставлению Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии государственной услуги по утверждению типа стандартных образцов или типа средств измерений, утверждённого приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 12 ноября 2018 г. № 2346 (зарегистрирован в Министерстве юстиции Российской Федерации 08 февраля 2019 г. № 53732) (далее - Административный регламент), и в связи с обращениями ООО «Брукер» от 16 апреля 2019 г. № 1604-2019-02 приказываю:

• 1. Внести изменения в описание типа на системы рентгеновского энергодисперсионного микроанализа Quantax EDS, зарегистрированные в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений, с сохранением регистрационного номера 64277-16, изложив его в новой редакции согласно приложению к настоящему приказу.

• 2. Установить методику поверки по документу МП 79-223-2015 «ГСП. Системы рентгеновского энергодисперсионного микроанализа Quantax EDS. Методика поверки» с изменением № 1, утвержденному ФГУП «УНИИМ» 26 апреля 2019 г., и распространить действие документа на системы рентгеновского энергодисперсионного микроанализа Quantax EDS, находящиеся в эксплуатации.

• 3. Переоформить свидетельство об утверждении типа № 62649 «Системы рентгеновского энергодисперсионного микроанализа Quantax EDS», зарегистрированное в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений под номером 64277-16, в связи с внесением изменений в методику поверки.

• 4. Управлению государственного надзора и контроля (А.М.Кузьмину), ФГУП «ВНИИМС» (А.Ю.Кузину) обеспечить в соответствии с Административным регламентом оформление свидетельства с описанием типа средства измерений и выдачу его юридическому лицу или индивидуальному предпринимателю.

• 5. Контроль за исполнением настоящего приказа оставляю за собой.

Заместитель Руководителя

Подлинник электронного документа, подписанного ЭП, хранится а системе электронного документооборота Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии.

СП! Д1 НПА U G НШФИКАТЪ ПГ1

Сертификат: 00E1036EE32711E88OE9EO071BFC5DD276

Кому выдан: Голубев Сергей Сергеевич

Действителен: с 08.11.2018 до Ов.11.2019

I                        ^J

Приложение к приказу Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от «22» августа 2019 г. № 1969

ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

Системы рентгеновского энергодисперсионного микроанализа Quantax EDS

Системы рентгеновского энергодисперсионного микроанализа Quantax EDS (далее -системы Quantax EDS) предназначены для измерений массовой доли элементов от бериллия до америция в различных твердых (монолитные и порошки) веществах и материалах, а также анализа состава тонких слоев и частиц.

Принцип действия системы Quantax EDS основан на методе рентгеновского микроанализа, сущность которого заключается в возбуждении атомов анализируемого вещества электронным пучком (зондом) высокой энергии с одновременной регистрацией характеристического рентгеновского излучения атомов, входящих в состав этого вещества.

Система Quantax EDS работает по энергодисперсионному принципу, в соответствии с которым происходит одновременная регистрация всех участков рентгеновского спектра. Для осуществления указанного принципа детектор системы Quantax EDS снабжен сверхтонким входным окном из дюрбериллия толщиной 8 мкм или из полимера с толщинами 3 и 5 мкм для регистрации сверхлегких элементов.

Система Quantax EDS выполнена по модульному принципу и включает в себя конструктивно законченные блоки. В состав системы Quantax EDS входят:

• - энергодисперсионный детектор рентгеновского излучения XFlash®;

• - блок обработки спектрометрического сигнала (электронный блок);

• - программное обеспечение ESPRIT;

• - серверный компьютер (компьютер типа IBM PC).

Источником электронов высокой энергии является электронная пушка сканирующего электронного микроскопа, на который устанавливается система Quantax EDS.

В качестве детектора характеристического рентгеновского излучения системы Quantax EDS используется энергодисперсионный кремниевый дрейфовый детектор (SDD).

Энергии рентгеновского излучения регистрируются с помощью полупроводникового детектора XFlash® и обрабатываются электроникой блока обработки спектрометрического сигнала.

Управление работой системы Quantax EDS и обработка данных измерений осуществляется с помощью серверного компьютера (компьютера типа IBM PC) и специализированного программного обеспечения Esprit, при этом вывод информации о массовых долях анализируемых элементов осуществляется на монитор компьютера, а значения массовых долей элементов могут выводиться на USB-накопитель при задании в программном обеспечении системы Quantax EDS соответствующей команды.

Для защиты от несанкционированного доступа в целях предотвращения вмешательств, которые могут привести к искажению результатов измерений, корпус детектора и блока обработки сигнала системы Quantax EDS снаружи опломбированы.

Фото общего вида системы Quantax EDS без детектора приведено на рисунке 1. Отдельное фото детектора системы Quantax EDS представлено на рисунке 2.

Рисунок 1 - Общий вид системы Quantax EDS без детектора 1 - блока обработки сигнала (электронный блок) системы;

2 - монитор серверного компьютера;

3 - системный блок серверного компьютера Место для пломбирования

Идентификационные данные программного обеспечения (ПО) систем Quantax EDS приведены в таблице 1.

Таблица 1 - Идентификационные данные ПО

Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Влияние программного обеспечения учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик системы Quantax EDS.

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Таблица 3 - Технические характеристики

Продолжение таблицы 3

Знак утверждения типа наносится на титульный лист «Руководства по эксплуатации» в виде наклейки.

Таблица 4 - Комплектность средства измерений

осуществляется по документу МП 79-223-2015 с изменением № 1 «ГСИ. Системы рентгеновского энергодисперсионного микроанализа Quantax EDS. Методика поверки», утвержденному ФГУП «УНИИМ» 26.04.2019 г.

Основные средства поверки:

- стандартные образцы (СО) состава сталей легированных - ГСО 4506-92П/4510-92П (комплект СО ЛГ32 - ЛГ36), образцы с индексами ЛГ32, ЛГ 34 (рекомендуемые элементы: C, Si, Cr, Ni, W, Mo), абсолютная погрешность аттестованных значений массовых долей элементов от 0,002 до 0,06 %, образец с индексом ЛГ 36 (рекомендуемый элемент: Mn с содержанием 1,97 %), абсолютная погрешность аттестованного значения 0,03 %;

- СО состава латуни оловянно-свинцовой ЛЦ25С2 (комплект М171) - ГСО 6319-92/ 6323-92, образцы с индексами 1711, 1715 (рекомендуемые элементы: Sn, Pb, Si, Al, Cu, Zn), абсолютная погрешность аттестованных значений массовых долей элементов от 0,02 до 0,7 %.

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.

Знак поверки в виде клейма наносят на свидетельство о поверке и (или) в виде наклейки непосредственно на средство измерений.

Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.

Техническая документация изготовителя «Bruker Nano GmbH», Германия

«Bruker Nano GmbH», Германия

Адрес: Am Studio 2D 12489 Berlin, Germany

Телефон: +44 791 7304235, факс: +49 30 670990-30

Общество с ограниченной ответственностью «Брукер» (ООО «Брукер»)

ИНН 7736189100

Адрес: 119017, г. Москва, ул. Пятницкая, д. 50/2, стр. 1 Телефоны: +7 (495) 517-92-84, +7 (495) 517-92-85, факс: +7 (495) 517-92-86. E-mail: info@bruker.ru

Федеральное государственное унитарное предприятие «Уральский научноисследовательский институт метрологии»

Адрес: 620000, г. Екатеринбург, ул. Красноармейская, д. 4

Телефон: +7 (343) 350-26-18, факс: +7 (343) 350-20-39/

Е-mail: uniim@uniim.ru

Аттестат аккредитации ФГУП «УНИИМ» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № RA.RU.311373 от 10.11.2015 г.