Номер по Госреестру СИ: 41680-09
41680-09 Меры периода и высоты линейные
(TGQ1)
Назначение средства измерений:
Меры периода и высоты линейные TGQ1 (далее - меры) относятся к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.
Внешний вид.
Меры периода и высоты линейные
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства - 12.11.2019
Номер записи - 129650
ID в реестре СИ - 352050
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
нет данных, Мера периода и высоты линейная TGQ1, TGQ1, -,
Производитель
Изготовитель - ЗАО "Нанотехнология МДТ"
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Москва
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Каталог СИ, используемый в сервисе ОЕИ-Аналитика имеет трехуровневую структуру вида: области измерений (более 20), разделы областей измерений (более 250) и группы СИ (более 10 тыс.). При разработке каталога были использованы как существующие кодификаторы: МИ 2803-2014, МИ 2314-2006, МИ 2314-2022, так и собственные наработки. Перед применением каталог был адаптирован и обогащен данными из реального реестра, утвержденных типов СИ ФГИС АРШИН.
Стоит отметить, что отнесение того или иного типа СИ к разделу области измерений осуществляется не вручную, а с использованием специального программного алгоритма по ключевым словосочетаниям. При таком подходе качество распределения СИ и покрытие реестра типов СИ АРШИНА зависит от качества, предложенных словосочетаний, а оно в случае использования МИ 2803-2014, МИ 2314-2006, МИ 2314-2022 плохое. Практика показала, что существующие наименования типов СИ, представленные в ФГИС АРШИН не придерживаются рекомендаций МИ и хорошая сходимость наблюдается исключительно при ручном формировании массива словосочетаний (например раздел СЧЕТЧИКИ ВОДЫ ТУРБИННЫЕ и электросчетчики).
Отчет "Каталог типов СИ ФГИС АРШИН по разделам областей измерений" сортирует типы СИ в зависимости от выбранного раздела области измерений и представляет их списком в виде удобной для дальнейшей работы таблицы. Таблица обладает функциями поиска и сортировки по любой из колонок.
Таблица содержит минимум 8 колонок:
По каждому типу СИ приведены: номер в гос. реестре с ссылкой, наименование типа СИ, наименование фирмы-производителя, ссылка на описание типа и методику поверки (если они имеются), величина интервала между поверками, а также, количество поверок по годам (начиная с 2020).
Статистика
Кол-во поверок - 20
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 14
Кол-во средств измерений - 7
Кол-во владельцев - 7
Усредненный год выпуска СИ - 2012
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№2802 от 2023.12.27 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (18)
№1802 от 2014.11.11 О продлении срока действия свидетельств об утверждении типа средств измерений (ГР 41680-09 - 27242-09)
Наличие аналогов СИ: Меры периода и высоты линейные (TGQ1)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений ЗАО "Нанотехнология МДТ"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
28664-05 01.03.2010 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Ntegra ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
1 год | |
|
28664-10 07.05.2020 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Ntegra SPECTRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SOLARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
28665-05 01.04.2015 |
Микроскопы сканирующие зондовые, NanoEducator ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
28666-05 01.03.2010 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Solver Pro ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
1 год | |
|
28666-10 07.05.2020 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Solver HV, Solver HV-MFM, Solver SNOM, Smena, Solver PRO, Solver PRO-M, Solver FD, Solver P47-PRO, Solver PRO-EC, Solver MFM, Solver BIO-M, Solver OPEN ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
40597-09 01.06.2014 |
Микроскопы сканирующие зондовые, SOLVER NEXT ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41676-09 12.11.2019 |
Меры периода линейные, TDG01 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41677-09 12.11.2019 |
Меры периода линейно-угловые, TGG1 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41678-09 12.11.2019 |
Меры периода и высоты линейные, TGZ1, TGZ2, TGZ3 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41679-09 12.11.2019 |
Меры периода линейно-угловые, TGT1 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41680-09 12.11.2019 |
Меры периода и высоты линейные, TGQ1 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
45580-10 |
Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах, Нет данных ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
Отчет предназначен для отслеживания динамики наполнения ФГИС АРШИН данными о поверках. Отчет состоит из 3 графиков и одной сводной таблицы. Все графики являются интерактивными, имеют функции экспорта и масштабирования. Таблица обладает функциями поиска и сортировки по любой из колонок.
Графики представляют собой столбчатые диаграммы распределения поверок, загружаемых в ФГИС аршин по годам. По оси абсцисс «Ox» - дата, по оси ординат «Oy» - количество поверок в штуках. Возможно отслеживание трех типов "поверок": первичные поверки, периодические поверки или извещения о непригодности.
В заголовке отчета приводятся усредненные данные по загруженным в АРШИН поверкам:
- максимальное количество поверок за год
- среднее количество поверок в год
- период наполнения базы в месяцах и годах
- суммарное количество поверок в системе
В завершении отчета приведена сводная таблица с данными для возможности самостоятельной обработки информации. В таблице представлены следующие поля:
- дата
- общее количество поверок
- кол-во периодических поверок
- кол-во извещений о непригодности
Кто поверяет Меры периода и высоты линейные (TGQ1)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП "ВНИИМС" (01.00225-2011) | РСТ | 3 | 0 | 2 | 0 | 2 | 0 | 2 | ||
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 5 | 1 | 0 | 5 | 0 | 5 | 0 | 5 | ||
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ФГУП «ВНИИМС» (RA.RU.311493) | РСТ | 4 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ФГБУ "ВНИИМС" (RA.RU.311493) | РСТ | 7 | 0 | 7 | 0 | 7 | 0 | 7 |
Стоимость поверки Меры периода и высоты линейные (TGQ1)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист паспорта и на футляр.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Меры периода и высоты линейные TGQ1. Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мерам периода и высоты линейным TGQ1
Технические условия 3932-012-40349675-2009 ТУ и руководство по эксплуатации (паспорт) 3932-012-40349675-2009 РЭ.
Поверка
Поверкаосуществляется в соответствии с методикой, изложенной в разделе 4 Руководства по эксплуатации 3932-012-40349675-2009РЭ и согласованной ФГУП «ВНИИМС 06.08.2009 г.
Основное средство поверки: микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой Solver Pro (Госреестр № 28666-10).
Изготовитель
Закрытое акционерное общество «Нанотехнология МДТ» (ЗАО «НТ-МДТ»)
Адрес: 124482, Москва, Зеленоград, корп.100, E-mail: spm@ntmdt.ru, Телефон: 499-735-03-05, Факс: 499-735-64-10
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС») Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66;
E-mail: office@vniims.ru, www.vniims.ru
Меры представляет собой совокупность шаговых структур на поверхности квадратной кремниевой монокристаллической пластины с размерами квадрата со стороной не более 5 мм, поверхность которой ориентирована параллельно кристаллографической плоскости (100). Мера состоит из одинаковых шаговых структур с прямоугольной геометрической формой элемента рельефа шаговой структуры
Внешний меры представлен на рисунке 1.
i <ам
NT-MDT
ПН: -7 (4*51 НМЛ*•* И»5)♦!J-P51
Я>п<ф>гптв1ли, «VMvMtmiJMiptCO'n J
Рисунок 1 - Внешний вид меры периода и высоты линейной TGQ1.
Мера TGQ1 - 1шт.;
Специальный футляр - 1 шт.;
Руководство по эксплуатации (паспорт) - 1шт.
Таблица 1
|
Наименование |
Значение |
|
Номинальное значение периода структуры меры, мкм |
3,00 |
|
Допускаемое отклонение от номинального значения шага периодической структуры, не более, мкм |
± 0,01 |
|
Номинальное значение высоты выступов в рельефе шаговых структур, нм |
20 |
|
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговых периодических структурах не более, нм |
± 2 |
|
Условия эксплуатации: | |
|
а) При работе на воздухе | |
|
- температура окружающего воздуха, °С |
20 ± 3 |
|
- относительная влажность, % |
65 ± 15 3 |
|
- атмосферное давление, Па |
(100 ±4>103 |
|
б) При работе в вакуумных условиях | |
|
- диапазон значений остаточного давления в камере образцов | |
|
микроскопа, Па |
от 140-4 до 270 |
|
- температура держателя образца, оС |
20 ± 3 |
|
Масса меры не более, г |
5 |
|
Габаритные размеры меры, мм |
5,0х5,0х0,5 |
|
Размеры рабочей области меры, мм |
3,0х3,0 |