Номер по Госреестру СИ: 41678-09
41678-09 Меры периода и высоты линейные
(TGZ1, TGZ2, TGZ3)
Назначение средства измерений:
Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3 (далее - меры) относятся к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.
Внешний вид.
Меры периода и высоты линейные
Рисунок № 1
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист паспорта и на футляр.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3. Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мерам периода и высоты линейным TGZ1, TGZ2, TGZ3
Технические условия 3932-013-40349675-2009 ТУ и руководство по эксплуатации (паспорт) 3932-013-40349675-2009 РЭ.
Поверка
Поверкаосуществляется в соответствии с методикой, изложенной в разделе 4 Руководства по эксплуатации 3932-013-40349675-2009 РЭ и согласованной ФГУП «ВНИИМС 06.08.2009 г.
Основное средство поверки: микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой Solver Pro (Госреестр № 28666-10).
Изготовитель
Закрытое акционерное общество «Нанотехнология МДТ» (ЗАО «НТ-МДТ»)Адрес: 124482, Москва, Зеленоград, корп.100, E-mail: spm@ntmdt.ru, Телефон: 499-735-03-05, Факс: 499-735-64-10
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС») Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66;
E-mail: office@vniims.ru, www.vniims.ru
Меры представляет собой совокупность шаговых структур на поверхности квадратной кремниевой монокристаллической пластины с размерами квадрата со стороной не более 5 мм, поверхность которой ориентирована параллельно кристаллографической плоскости (100). Мера состоит из одинаковых шаговых структур с прямоугольной геометрической формой элемента рельефа шаговой структуры
Внешний меры представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Внешний вид меры периода и высоты линейной TGZ1, TGZ2, TGZ3.
Мера TGZ - 1шт.;
Специальный футляр - 1 шт.;
Руководство по эксплуатации (паспорт) - 1шт.
Таблица 1
Наименование |
Значение |
Номинальное значение периода структуры меры, мкм |
3,00 |
Допускаемое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более, мкм |
± 0,01 |
Номинальное значение высоты выступов в рельефе шаговых структур, | |
нм |
20 |
Мера TGZ1 |
110 |
Мера TGZ2 Мера TGZ3 |
520 |
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в рельефе шаговых структур не более, нм Мера TGZ1 |
± 2 |
Мера TGZ2 |
± 10 |
Мера TGZ3 |
± 20 |
Условия эксплуатации: а) При работе на воздухе - температура окружающего воздуха, °С |
20 ± 3 |
- относительная влажность, % |
65 ± 15 3 |
- атмосферное давление, Па |
(100 ±4>103 |
б) При работе в вакуумных условиях - диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па |
от 140"4 до 270 |
- температура держателя образца, оС |
20 ± 3 |
Масса меры не более, г |
5 |
Габаритные размеры меры, мм |
5,0х5,0х0,5 |
Размеры рабочей области меры, мм |
3,0х3,0 |