Номер по Госреестру СИ: 28665-05
28665-05 Микроскопы сканирующие зондовые
(NanoEducator)
Назначение средства измерений:
Микроскопы сканирующие зондовые NanoEducator предназначены для измерений трехмерной топологии и параметров микрорельефа поверхности конденсированных сред.
Микроскопы сканирующие зондовые NanoEducator применяют в учебном процессе для изучения основ сканирующей зондовой микроскопии и проведения исследований в области нанотехнологии, микромеханики, физики и технологии микро- и наноструктур, материаловедения. .
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие зондовые
Рисунок № 1
Поверка
Поверка микроскопов сканирующих зондовых NanoEducator проводится в соответствии с документом «Микроскопы сканирующие зондовые NanoEducator. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» 19 мая 2010 г..
Основным средством поверки является мера периода и высоты линейная TGQ1.
Межповерочный интервал - один год.
Заключение
Тип микроскопов сканирующих зондовых NanoEducator утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен при выпуске из производства и в эксплуатации.
Микроскопы сканирующие зондовые NanoEducator
Руково^ ФГУП
Внесены в Государственный реестр средств измерений Регистрационный
Взамен №
Выпускаются по техническим условиям ТУ 4254-002-58699387-2004.
НАЗНАЧЕНИЕ И ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯМикроскопы сканирующие зондовые NanoEducator предназначены для измерений трехмерной топологии и параметров микрорельефа поверхности конденсированных сред.
Микроскопы сканирующие зондовые NanoEducator применяют в учебном процессе для изучения основ сканирующей зондовой микроскопии и проведения исследований в области нанотехнологии, микромеханики, физики и технологии микро- и наноструктур, материаловедения. .
Микроскопы сканирующие зондовые (СЗМ) представляют собой стационарные автоматизированные многофункциональные измерительные системы.
СЗМ обеспечивает работу как в режиме сканирующего туннельного микроскопа (СТМ), так и атомно-силового микроскопа (АСМ).
Принцип действия СТМ основан на квантовом эффекте туннелирования электронов через узкий потенциальный барьер между исследуемой проводящей поверхностью образца и острием микрозонда. Детектируя туннельный ток, протекающий при постоянном электрическом смещении между микрозондом и образцом, получают информацию о топографии проводящей поверхности в атомном масштабе. АСМ реализует принцип измерений силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности, как проводящих, так и диэлектрических сред. Поддерживая с помощью обратной связи постоянной силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет получить трехмерное изображение топографии поверхности.
В состав СЗМ входит сканирующая измерительная головка, электронный блок и персональный компьютер. В качестве зонда используется вольфрамовая игла, закрепленная на пьезокерамическом датчике. С помощью устройства для травления зондов, входящего в комплект поставки, возможно самостоятельное изготовление вольфрамовых игл.
Управление процессом измерений осуществляется от контроллера и PC совместимого компьютера с помощью программного обеспечения. Управляющие сигналы от СЗМ-контроллера поступают в измерительную головку. Управление СЗМ-контроллером осуществляется с помощью компьютерного программного обеспечения посредством USB порта.
При помощи программного обеспечения осуществляется настройка прибора, оптимизация его параметров, управление режимами работы, выполнение сканирования, обработка результатов измерений и их хранение.
Конструктивно СЗМ NanoEducator выполнены в виде настольных приборов с отдельно устанавливаемым компьютером. По заказам приборы оснащаются широким набором дополнительных устройств и принадлежностей.
Комплект поставки включает:
№ |
Описание |
1 |
Электронный блок управления СЗМ NanoEducator |
2 |
Универсальная сканирующая измерительная АСМ/СТМ головка |
3 |
Интерфейсный кабель USB |
4 |
Программное обеспечение для получения и обработки изображений на IBM-совместимой рабочей станции |
5 |
Рабочие принадлежности для СЗМ |
6 |
Набор зондов |
7 |
Соединительные кабели для подключения измерительной головки и сканера |
8 |
Шнур питания |
9 |
Защитный колпак с цифровой видеокамерой |
10 |
Устройство для травления зондов |
Параметр |
Значение |
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY не менее, мкм |
0-70 |
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z не менее, мкм |
0-8 |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY не более, % |
±5 |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z не более, % |
±5 |
Нелинейность сканирования в плоскости XY не более, % |
5 |
Разрешение в плоскости XY не более, нм |
30 |
Разрешение по оси Z не более, нм |
10 |
Дрейф в плоскости XY не более, нм/с |
1 |
Дрейф по оси Z не более, нм/с |
1 |
Максимальное число точек сканирования по X и Y |
512x512 |
Размеры исследуемых образцов (диаметр х толщина) не более, мм |
12x5 |
Диапазон напряжение питания переменного тока, В |
100-240 |
Потребляемая мощность не более, Вт |
60 |
Габаритные размеры электронного блока не более, мм |
260x160x360 |
Габаритные размеры СЗМ не более, мм |
160x160x130 |
Масса не более, кг |
8 |
Условия эксплуатации:
|
20 ±5 65 ±15 760 ± 30 1 0,5 |