Номер по Госреестру СИ: 71032-18
71032-18 Микроанализаторы электронно-зондовые
(JXA-8230)
Назначение средства измерений:
Микроанализаторы электронно-зондовые JXA-8230 (далее - микроанализаторы JXA-8230) предназначены для локальных измерений массовой доли элементов от бериллия до урана в различных твердых (монолитных) веществах и материалах в соответствии с аттестованными методиками (методами) измерений (при использовании в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений), получения изображения высокого качества во вторичных и отраженных электронах для исследования поверхности и анализа распределения элементов и их фаз.
Внешний вид.
Микроанализаторы электронно-зондовые
Рисунок № 1
Внешний вид.
Микроанализаторы электронно-зондовые
Рисунок № 2
Общие сведения
Дата публикации -
Срок свидетельства - 11.05.2024
Номер записи -
ID в реестре СИ - 395995
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
нет, JXA-8230,
Производитель
Изготовитель - Фирма "JEOL Ltd."
Страна - ЯПОНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Каталог СИ, используемый в сервисе ОЕИ-Аналитика имеет трехуровневую структуру вида: области измерений (более 20), разделы областей измерений (более 250) и группы СИ (более 10 тыс.). При разработке каталога были использованы как существующие кодификаторы: МИ 2803-2014, МИ 2314-2006, МИ 2314-2022, так и собственные наработки. Перед применением каталог был адаптирован и обогащен данными из реального реестра, утвержденных типов СИ ФГИС АРШИН.
Отчет «Количество типов средств измерений в ФГИС АРШИН по группам СИ» предназначен для сравнительного анализа количества утвержденных типов средств измерений, приходящихся на различные группы СИ. Отчет состоит из двух графиков (одной круговой и одной столбчатой диаграммы) и двух интерактивных таблиц. Таблицы обладают функцией поиска и сортировки по любой из колонок.
Стоит отметить, что отнесение того или иного типа СИ к группе СИ осуществляется не вручную, а с использованием специального программного алгоритма по ключевым словосочетаниям. При таком подходе качество распределения СИ и покрытие реестра типов СИ АРШИНА зависит от качества, предложенных словосочетаний. По этой причине 20% типов СИ, занесённых в АРШИН автоматически распределить не удалось, что не должно существенно отразиться на процентном соотношении или пропорции между группами СИ.
На круговой диаграмме показано количественное соотношение между группами СИ по количеству утвержденных типов СИ. Ввиду того, что некоторые типы СИ могут входить в разные группы, суммарное количество типов СИ, приведенных на диаграмме будет превышать кол-во типов СИ, представленных в ФГИС АРШИН. Как и следовало ожидать, самые большие пропорции занимают однословные классические группы СИ (АИИС, преобразователи, системы, резервуары, трансформаторы … и др.)
В отличии от круговой диаграммы столбчатая демонстрирует тоже разделение типов СИ по группам СИ, но уже в динамике по годам начиная с 2016 года.
Статистика
Кол-во поверок - 3
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 0
Кол-во средств измерений - 0
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№1804 от 2018.08.23 О переоформлении свидетельства об утверждении типа средства измерений № 69720 "Микроанализаторы электронно-зондовые JXA-8230" и внесении изменений в описание типа
№897 от 2018.05.11 Об утверждении типов средств измерений
Наличие аналогов СИ: Микроанализаторы электронно-зондовые (JXA-8230)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "JEOL Ltd."
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
48090-11 |
Микроскоп электронный просвечивающий, JEM-100CX Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
48091-11 |
Микроскоп электронный просвечивающий с аналитическими модулями, JEM-2100 Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
48409-11 |
ЯМР-спектрометры, JEOL JNM Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
52088-12 |
Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой, JSPM 5400 Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
52315-12 |
Микроскоп электронный просвечивающий, JEM 200CX Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
52316-12 |
Микроскоп электронный сканирующий, JSM-6490LV Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
60728-15 21.05.2020 |
Микроскопы электронные растровые, JSM-6x10x (мод. JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010Plus/LV, JSM-6010Plus/LA, JSM-6510Plus, JSM-6510Plus/A, JSM-6510Plus/LV, JSM-6510Plus/LA) Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
60730-15 21.05.2020 |
Масс-спектрометры, JMS (мод. JMS-Q1050GС, JMS-T100LP, JMS-GCMATE II) Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
60731-15 21.05.2020 |
Микроскопы электронные растровые, JSM IT300x (мод. JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA) Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
63062-16 |
Микроскоп электронный растровый, JSM-6490LV Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
71032-18 11.05.2024 |
Микроанализаторы электронно-зондовые, JXA-8230 Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
Справочник содержит информацию об организациях, аккредитованных на работу в области обеспечения единства измерений. За основу справочника взят реестр аккредитованных лиц (https://pub.fsa.gov.ru/ral) Федеральной службы по аккредитации. Частота обновления справочника не реже одного раза в квартал.
Справочник реализован в виде единой таблицы, имеется возможность поиска и сортировки по любому из полей. В таблице представлена следующая информация: Номер аттестата аккредитации, ИНН; Наименование организации; Наименование аккредитованного лица; Статус организации в реестре аккредитованных лиц ФСА; Комментарий; Адреса осуществления деятельности.
Кто поверяет Микроанализаторы электронно-зондовые (JXA-8230)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП «УНИИМ» (01.00258-2011) | РСТ | 2 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| УРАЛЬСКИЙ НИИ МЕТРОЛОГИИ (RA.RU.311473) | РСТ | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Микроанализаторы электронно-зондовые (JXA-8230)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Идентификационные данные программного обеспечения (ПО) микроанализатора JXA-8230 приведены в таблице 1. Программа РС_ЕРМА является метрологически значимой частью ПО, программа PC_SEM отвечает только за управление зондом (пушкой).
Уровень защиты ПО микроанализатора JXA-8230 «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Влияние ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик микроанализатора JXA-8230.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение для JXA-8230 Software | |
|
Идентификационное наименование ПО |
PC EPMA |
PC SEM |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 1.111) |
не ниже 3.0.11) |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- | |
|
1) Версия программного обеспечения может иметь дополнительные цифровые и/или буквенные суффиксы | ||
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации в виде наклейки.Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроанализаторам электронно-зондовым JXA-8230
Техническая документация изготовителя «JEOL Ltd.», Япония
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 163-223-2017 с изменением № 1 «ГСИ. Микроанализаторы электронно-зондовые JXA-8230. Методика поверки», утвержденному ФГУП «УНИИМ» 20.07.2018 г.
Основные средства поверки:
-
- стандартные образцы (СО) состава сталей легированных - ГСО 4506-92П/4510-92П (комплект СО ЛГ32 - ЛГ36), образец с индексом ЛГ36 (рекомендуемые элементы: Al, Si, Cr, Ni, Mn, Mo), абсолютная погрешность аттестованных значений массовых долей элементов от 0,003 до 0,2 %;
-
- СО состава латуни оловянно-свинцовой ЛЦ25С2 (комплект М171) -
ГСО 6319-92/6323-92, образец с индексом 1711 (рекомендуемые элементы: Mn, Al, Ni, Cu, Zn), абсолютная погрешность аттестованных значений массовых долей элементов от 0,03 до 0,7 %;
-
- СО состава железа высокой чистоты (Fe СО УНИИМ) - ГСО 10816-2016, массовая доля железа 99,987 %, абсолютная погрешность аттестованного значения 0,013 %.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение поверяемого средства измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде клейма.
Изготовитель
«JEOL Ltd.», Япония
Адрес: 1-2 Musashino 3-Chome, Akishima-City, Tokyo, Japan
Телефон: +81 42-5283363, факс: +81 42-5283385
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «Токио Боэки (РУС)» (ООО «Токио Боэки (РУС)»)
ИНН 7706631025
Адрес: 127055, г. Москва, ул. Новолесная, д. 2
Телефон: +7 (495) 223-40-00, факс: +7 (495) 223-40-01
Е-mail: main@tokyo-boeki.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Уральский научноисследовательский институт метрологии»Адрес: 620000, г. Екатеринбург, ул. Красноармейская, д. 4
Телефон: +7 (343) 350-26-18, факс: +7 (343) 350-20-39
Е-mail: uniim@uniim.ru
Принцип действия микроанализаторов JXA-8230 основан на методе рентгеновского микроанализа, сущность которого заключается в сканировании образца и возбуждении атомов анализируемого вещества электронным пучком (микрозондом) высокой энергии с одновременной регистрацией характеристического рентгеновского излучения атомов, входящих в состав этого вещества.
Характеристическое рентгеновское излучение, интенсивность которого зависит от содержания определяемого элемента в микрообъеме образца, регистрируется комбинированным микроанализатором с несколькими волновыми (ВДС) и энергодисперсионным (ЭДС) спектрометрами, в котором спектрометрическая часть управляется персональным компьютером с помощью специализированного программного обеспечения (ПО), что позволяет одновременно проводить независимые ВДС/ЭДС измерения и комбинировать полученные данные анализа.
Микроанализатор JXA-8230 выполнен по модульному принципу и включает в себя конструктивно законченные блоки. Микроанализатор JXA-8230 включает в себя:
-
- электронно-оптическую систему (ЭОС);
-
- основную консоль;
-
- консоль управления обработки данных;
-
- консоль компьютера с прикладным программным обеспечением: метрологически значимой частью - программой РС_ЕРМА и программой PC_SEM, ответственной только за управление зондом (пушкой);
-
- ротационный масляный насос, расположенный позади консолей.
Источником электронов высокой энергии является электронная пушка сканирующего электронного микроскопа, на который устанавливается высоко стабилизированная электроннооптическая система с комбинированным микроанализатором с несколькими ВДС и ЭДС спектрометрами с различными большими кристалл-анализаторами и высокоточным гониометрическим столиком с моторизованным приводом.
Управление работой микроанализатора JXA-8230, его настройка и обработка данных измерений осуществляются с помощью управляющего компьютера типа IBM PC и специализированного прикладного программного обеспечения. Все данные о массовых долях анализируемых элементов и изображения могут быть выведены на мониторы управляющего компьютера, сохранены в компьютере или выведены на USB-накопитель при задании в программном обеспечении системы микроанализатора JXA-8230 соответствующей команды.
Общий вид микроанализатора JXA-8230 представлен на рисунке 1.
Для защиты от несанкционированного доступа в целях предотвращения вмешательств, которые могут привести к искажению результатов измерений, корпуса основных блоков микроанализатора JXA-8230 снаружи опломбированы.
Схема пломбировки от несанкционированного доступа представлена на рисунке 2.
Колонна
Управляющий PC
Мышь
Клавиатура
Основная КОНСОЛЬ
PC монитор анализа
PC монитор наблюдения
Столик образцов/
Камера смены образцов
Консоль управления
_
......Консоль
компьютера
Панель контроля Панель управления столика образцов
8
Рисунок 1 - Общий вид микроанализатора JXA-8230
„„„да,..........
Рисунок 2 - Схема пломбировки от несанкционированного доступа
Комплектность микроанализаторов JXA-8230 приведена в таблице 4.
Таблица 4 -
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроанализатор электронно-зондовый |
JXA-8230 |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации, включающее Руководство пользователя программного обеспечения |
1 экз. | |
|
Методика поверки |
МП 163-223-2017 с изменением № 1 |
1 экз. |
представлены в таблицах 2 и 3.
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон определяемых элементов |
от Ве (4) до U (92) |
|
Диапазон измерений массовой доли элементов, % |
от 0,01 до 100,0 |
|
Энергетическое разрешение ЭДС, эВ, не более (на линии Mn К a 1 (5,9 кэВ), 3000 имп/с) |
129 |
|
Предел допускаемого СКО случайной составляющей относительной погрешности измерений массовой доли элементов 1), %, в поддиапазоне измерений: - от 0,01 до 1,0 % включ. |
10 |
|
- св. 1,0 до 10,0 % включ. |
5,0 |
|
- св. 10,0 до 100,0 % включ. |
2,0 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений массовой доли элементов 1), %, в поддиапазоне измерений: - от 0,01 до 1,0 % включ. |
±35 |
|
- св. 1,0 до 10,0 % включ. |
±30 |
|
- св. 10,0 до 100,0 % включ. |
±10 |
|
1) Указанные характеристики получены при использовании стандартных образцов стали | |
|
легированной ГСО 4506-92П/4510-92П (индексы СО: ЛГ32, ЛГ36), латуни оловянно- | |
|
свинцовой ГСО 6319-92/6323-92 (индексы СО: 1711, 1715), железа высокой чистоты | |
|
ГСО 10816-2016 в режимах ЭДС/ВДС измерений в условиях: |
источник - электронный зонд |
|
(сфокусированный пучок электронов), ускоряющее напряжение 20 кВ, ток 4А0-8 А (для ЭДС) | |
|
и 5А0-8 А (для ВДС), время экспозиции 60 с; количественный анализ методом ZAF- | |
|
коррекции; кристалл-анализаторы для ВДС - LiF, ТАР, PET. | |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Детектируемый диапазон длин волн, нм |
от 0,087 до 9,3 |
|
Максимальный размер образца (ДлинахШиринахВысота), мм |
100х100х40 |
|
Высота образца при использовании стандартного держателя, мм, не более |
20 |
|
Максимальная анализируемая область, мм |
90х90 |
|
Увеличение в режиме сканирования |
от х40 до х300000 |
|
Ускоряющее напряжение, кВ |
от 0,2 до 30 (с шагом 0,1 кВ) |
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Ток пучка (зонда), А |
от 10-12 до 10-5 |
|
Энергодисперсионный спектрометр (ЭДС) (ЭДС система микроанализа встроена и не требует жидкого азота) |
1 |
|
Количество устанавливаемых волновых спектрометров (ВДС) |
от 1 до 5 |
|
Параметры электрического питания: - питающее напряжение, В |
200±20 |
|
- частота, Гц |
50/60±1 |
|
Габаритные размеры (Длина^Ширина^Высота), мм, не более: - основная консоль |
790x1010x1800 |
|
- системы управления и обработки данных |
1200x1480x700 |
|
- блок обработки сигнала |
700x470x700 |
|
- компьютер (РС) |
300x600x700 |
|
- масляный ротационный насос |
520x200x320 |
|
Масса, кг, не более: - основная консоль |
700 |
|
- системы управления и обработки данных |
300 |
|
- блок обработки сигнала |
90 |
|
- компьютер (РС) |
26 |
|
- масляный ротационный насос |
25 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °C |
от +15 до +25 |
|
- относительная влажность воздуха (без конденсации влаги), %, не более |
60 |
|
Средний срок службы, лет, не менее |
10 |