МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ (Росстандарт)

23 августа 2018 г.                                              _№  1804

Москва

О переоформлении свидетельства об утверждении типа средства измерений № 69720 «Микроанализаторы электронно-зондовые JXA-8230» и внесении изменений в описание типа

Во исполнение Административного регламента по предоставлению Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии государственной услуги по утверждению типа стандартных образцов или типа средств измерений, утверждённого приказом Министерства промышленности и торговли Российской Федерации от 25 июня 2013 г. № 970 (зарегистрирован в Министерстве юстиции Российской Федерации 12 сентября 2013 г. № 29940) (далее — Административный регламент) и в связи с обращениями ООО «Токио Боэки (РУС)» от 20 июля 2018 г. № ТН-3368 и № ТН-3369 приказываю:

• 1. Внести изменения в описание типа на микроанализаторы электроннозондовые JXA-8230, зарегистрированные в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений, с сохранением регистрационного номера 71032-18, изложив его в новой редакции согласно приложению к настоящему приказу.

• 2. Установить поверку по документу МП 163-223-2017 с изменением № 1 «ГСИ. Микроанализаторы электронно-зондовые JXA-8230. Методика поверки», утвержденному ФГУП «УНИИМ» 20.07.2018 и распространить действие документа на микроанализаторы электронно-зондовые JXA-8230, находящиеся в эксплуатации и вновь выпускаемые.

• 3.  Переоформить свидетельство об утверждении типа № 69720 «Микроанализаторы электронно-зондовые JXA-8230», зарегистрированное в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений под номером 71032-18, в связи с внесением изменений в методику поверки.

• 4. Управлению метрологии (Д.В. Гоголев), ФГУП «ВНИИМС» (А.Ю. Кузин) обеспечить в соответствии с Административным регламентом оформление свидетельства с описанием типа средства измерений и выдачу его юридическому лицу или индивидуальному предпринимателю.

• 5. Контроль за исполнением настоящего приказа оставляю за собой.

Заместитель Руководителя

✓ ¹ \ Подлинник электронного документа, подписанного ЭП, хранится в системе электронного документооборота Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии.

СВЕДЕНИЯ О СЕРТИФИКАТЕ ЭП

Сертификат: 00E1036ECDC011E780DAE0071B1B53CO41

Кому выдан: Голубев Сергей Сергеевич

Действителен: с 20.11.2017 до 20.11.2018

\_______________________________/

Приложение

к приказу Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от «23» августа 2018 г. №1804

ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

Микроанализаторы электронно-зондовые JXA-8230

Микроанализаторы электронно-зондовые JXA-8230 (далее - микроанализаторы JXA-8230) предназначены для локальных измерений массовой доли элементов от бериллия до урана в различных твердых (монолитных) веществах и материалах в соответствии с аттестованными методиками (методами) измерений (при использовании в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений), получения изображения высокого качества во вторичных и отраженных электронах для исследования поверхности и анализа распределения элементов и их фаз.

Принцип действия микроанализаторов JXA-8230 основан на методе рентгеновского микроанализа, сущность которого заключается в сканировании образца и возбуждении атомов анализируемого вещества электронным пучком (микрозондом) высокой энергии с одновременной регистрацией характеристического рентгеновского излучения атомов, входящих в состав этого вещества.

Характеристическое рентгеновское излучение, интенсивность которого зависит от содержания определяемого элемента в микрообъеме образца, регистрируется комбинированным микроанализатором с несколькими волновыми (ВДС) и энергодисперсионным (ЭДС) спектрометрами, в котором спектрометрическая часть управляется персональным компьютером с помощью специализированного программного обеспечения (ПО), что позволяет одновременно проводить независимые ВДС/ЭДС измерения и комбинировать полученные данные анализа.

Микроанализатор JXA-8230 выполнен по модульному принципу и включает в себя конструктивно законченные блоки. Микроанализатор JXA-8230 включает в себя:

- электронно-оптическую систему (ЭОС);

- основную консоль;

- консоль управления обработки данных;

- консоль компьютера с прикладным программным обеспечением: метрологически значимой частью - программой РС_ЕРМА и программой PC_SEM, ответственной только за управление зондом (пушкой);

- ротационный масляный насос, расположенный позади консолей.

Источником электронов высокой энергии является электронная пушка сканирующего электронного микроскопа, на который устанавливается высоко стабилизированная электроннооптическая система с комбинированным микроанализатором с несколькими ВДС и ЭДС спектрометрами с различными большими кристалл-анализаторами и высокоточным гониометрическим столиком с моторизованным приводом.

Управление работой микроанализатора JXA-8230, его настройка и обработка данных измерений осуществляются с помощью управляющего компьютера типа IBM PC и специализированного прикладного программного обеспечения. Все данные о массовых долях анализируемых элементов и изображения могут быть выведены на мониторы управляющего компьютера, сохранены в компьютере или выведены на USB-накопитель при задании в программном обеспечении системы микроанализатора JXA-8230 соответствующей команды.

Общий вид микроанализатора JXA-8230 представлен на рисунке 1.

Для защиты от несанкционированного доступа в целях предотвращения вмешательств, которые могут привести к искажению результатов измерений, корпуса основных блоков микроанализатора JXA-8230 снаружи опломбированы.

Схема пломбировки от несанкционированного доступа представлена на рисунке 2.

Упраптягсттнй PC

ЮС

( 111 л I ь I jCpfi 1111 j h Кимера смены {'□рЛИП'В

Консоль Mipatt,гения

tJant.ii. управления

tiJK ■

Трекбол

PC МОШПор

HJtU.IKi.K'iiHK

Панс,ti. »iiiip>ia с голики оора:и we

PC монитор щшлиза

IКинсо.гь

KiHiitbioiepB

--V------ ........Illbtt biUblLfl. II.

(k'HOBfUU fiUHL’jTb

Клавиатура

Ч-.

Рисунок 1 - Общий вид микроанализатора JXA-8230

Место для пломбирования

Рисунок 2 - Схема пломбировки от несанкционированного доступа

Идентификационные данные программного обеспечения (ПО) микроанализатора JXA-8230 приведены в таблице 1. Программа РС_ЕРМА является метрологически значимой частью ПО, программа PC_SEM отвечает только за управление зондом (пушкой).

Уровень защиты ПО микроанализатора JXA-8230 «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Влияние ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик микроанализатора JXA-8230.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Метрологические и технические характеристики представлены в таблицах 2 и 3.

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Таблица 3 - Основные технические характеристики

наносится на титульный лист руководства по эксплуатации в виде наклейки.

Комплектность микроанализаторов JXA-8230 приведена в таблице 4.

Таблица 4 - Комплектность средства измерений

осуществляется по документу МП 163-223-2017 с изменением № 1 «ГСИ. Микроанализаторы электронно-зондовые JXA-8230. Методика поверки», утвержденному ФГУП «УНИИМ» 20.07.2018 г.

Основные средства поверки:

- стандартные образцы (СО) состава сталей легированных - ГСО 4506-92П/4510-92П (комплект СО ЛГ32 - ЛГ36), образец с индексом ЛГ36 (рекомендуемые элементы: Al, Si, Cr, Ni, Mn, Mo), абсолютная погрешность аттестованных значений массовых долей элементов от 0,003 до 0,2 %;

- СО состава латуни оловянно-свинцовой ЛЦ25С2 (комплект М171) -ГСО 6319-92/6323-92, образец с индексом 1711 (рекомендуемые элементы: Mn, Al, Ni, Cu, Zn), абсолютная погрешность аттестованных значений массовых долей элементов от 0,03 до 0,7 %;

- СО состава железа высокой чистоты (Fe СО УНИИМ) - ГСО 10816-2016, массовая доля железа 99,987 %, абсолютная погрешность аттестованного значения 0,013 %.

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение поверяемого средства измерений с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде клейма.

Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.

Техническая документация изготовителя «JEOL Ltd.», Япония

«JEOL Ltd.», Япония

Адрес: 1-2 Musashino 3-Chome, Akishima-City, Tokyo, Japan

Телефон: +81 42-5283363, факс: +81 42-5283385

Общество с ограниченной ответственностью «Токио Боэки (РУС)»

(ООО «Токио Боэки (РУС)»)

ИНН 7706631025

Адрес: 127055, г. Москва, ул. Новолесная, д. 2 Телефон: +7 (495) 223-40-00, факс: +7 (495) 223-40-01

Е-mail: main@tokyo-boeki.ru

Федеральное государственное унитарное предприятие «Уральский научноисследовательский институт метрологии»

Адрес: 620000, г. Екатеринбург, ул. Красноармейская, д. 4

Телефон: +7 (343) 350-26-18, факс: +7 (343) 350-20-39

Е-mail: uniim@uniim.ru

Аттестат аккредитации ФГУП «УНИИМ» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № RA.RU.311373 от 10.11.2015 г.