Номер по Госреестру СИ: 69049-17
69049-17 Микроскоп электронный просвечивающий
(TITAN 80-300)
Назначение средства измерений:
Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов микро- и наноструктур тонкопленочных образцов, а также суспензий микро- и наночастиц, нанесенных на полимерную или углеродную пленку-подложку.
Внешний вид.
Микроскоп электронный просвечивающий
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 160762
ID в реестре СИ - 383162
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300, Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300,
Производитель
Изготовитель - Фирма "FEI Ltd."
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Ввиду большого размера таблиц БД, связанных с средствами поверки, отчет строится в 2 этапа.
На первом этапе выбирается год производства СО (он указывается поверителем при вводе данных о СО, как средстве поверки). Ввиду того, что при вводе данных поверители допускают огромное количество опечаток (присутствую СО с датой производства от 1000 до 3000 годов производства) ограничена возможность выбора года производства СО периодом с 2000 по текущий год.
После выбора года производства строится сводная таблица по СО, применяемым в качестве средства поверки. Отчет строится очень долго!!!! (при построении задействованы 2 таблицы с суммарным количеством записей на конец 2023 года 1.5млд строк, много полей текстовых)!!!! При формировании таблицы из нее исключаются СО для которых не был указан год производства и/или серийный номер.
Таблица содержит следующие сведения: наименование организации поверителя, номер ГСО, заводской номер ГСО, описание ГСО и кол-во поверок за выбранный год.
Статистика
Кол-во поверок - 5
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 3
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№2256 от 2017.10.25 Об утверждении типов средств измерений
Наличие аналогов СИ: Микроскоп электронный просвечивающий (TITAN 80-300)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "FEI Ltd."
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
48831-12 |
Микроскоп электронный просвечивающий, TITAN 80-300 Фирма "FEI Ltd." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
|
69048-17 |
Микроскоп электронно-ионный растровый, Helios NanoLab 650 Фирма "FEI Ltd." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
|
69049-17 |
Микроскоп электронный просвечивающий, TITAN 80-300 Фирма "FEI Ltd." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
78941-20 |
Микроскоп электронно-ионный растровый, Scios Фирма "FEI Ltd." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
В зависимости от выбранного года и вида поверок (все поверки, первичные или периодические) строится гистаграмма межповерочных интервалов (МПИ) за выбранный период, исчисляемых в днях. Информация о МПИ берется из реальных свидетельств о поверке. Далее, осуществляется фильтрация данных за счет усреднения интервалов, что позволяет выделить наиболее популярные МПИ. Полученные усредненные данные используются для построения графиков и вывода таблицы.
Отчет содержит 4 интерактивных графика (круговую и колончатые диаграммы) и таблицу. Графики имеют возможность масштабирования и экспорта данных в Exel. Таблица обладает функцией фильтра данных и сортировки по любой из колонок, информация приведена в целых чисел и процентах.
Внимание! К информации о виде поверки в ФГИС АРШИН стоит относиться критично. Отчет строится не быстро.
Кто поверяет Микроскоп электронный просвечивающий (TITAN 80-300)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 5 | 0 | 3 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Микроскоп электронный просвечивающий (TITAN 80-300)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «Titan» является специализированным ПО микроскопа и предназначено для его управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «Titan» не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО микроскопа и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
Titan |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
1.6.4 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
c7477b08еa314е3d2b2c65е435 890d2е3213dc52d306644bbad1 3f8625a994a8 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель блока измерительного в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу электронному просвечивающему TITAN 80-300
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 69049-17 «Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300. Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 07.08.2017 г.
Основные средства поверки:
- Государственный стандартный образец параметров шаговой структуры в тонком слое монокристаллического кремния ГСО 10030-2011.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого микроскопа с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Изготовитель
Фирма «FEI Ltd.», США
Адрес: 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, Oregon 97124, USA
Заявитель
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт» (НИЦ «Курчатовский институт»)
Адрес: 123182, Москва, пл. Академика Курчатова, д.1
Тел./факс: (499) 196-95-39
E-mail: microscop@microscop.ru
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)
Адрес:119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1
Тел./Факс (495) 935-97-77
E-mail: nicpv@mail.ru
Принцип действия микроскопа основан на прохождении параллельного пучка ускоренных электронов через исследуемый объект, где происходит их рассеяние на неоднородностях структуры или состава объекта. В плоскости изображения объективной линзы, расположенной непосредственно за образцом, формируется действительное изображение объекта, а в ее фокальной плоскости формируется дифракционная картина, каждая точка которой соответствует определенному углу выхода электронов из образца.
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему, в состав которой входят: электронно-оптическая колонна; светло-темнопольный детектор электронов; широкоугловой темнопольный детектор; рабочий стол с блоками управления электроники, который вместе с электронно-оптической колонной образует главную консоль прибора; вакуумная система с отдельно расположенным форвакуумным механическим насосом; стабилизированный источник высокого напряжения; компрессор сжатого воздуха для управления пневмоклапанами; рабочая станция микроскопа на базе специализированного компьютера; система замкнутого водяного охлаждения; программное обеспечение для управления микроскопом; комплект запчастей и расходных материалов.
Основной частью микроскопа является электронно-оптическая колона. В состав колоны входят электронная пушка и три блока электронных линз (осветительный, формирующий изображение и проекционный). Первый блок составлен из двух линз. Основным элементом второго блока является объективная линза, в которую путем шлюзования вводится объектодержатель с объектом. Блок проекционных линз обеспечивает требуемое увеличение изображений. На нижней части колонны установлена камера с флуоресцентным экраном, в которой выполнены окна для наблюдения изображения. Над центральным окном установлен оптический бинокулярный микроскоп, который обеспечивает просмотр фрагментов изображения на экране и фокусировку.
Управление работой микроскопа осуществляется с помощью рабочей станции на базе специализированного компьютера.
Пломбирование микроскопа электронного просвечивающего TITAN 80-300 не предусмотрено.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронного просвечивающего TITAN 80-300
Основные метрологические и технические характеристики микроскопа приведены в таблице 2.
Таблица 2 -
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 0,0003 до 10 |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений линейных размеров при ускоряющем напряжении 300кВ - в диапазоне от 0,0003 мкм до 0,05 включ. мкм, нм |
±(0,4+0,06L) |
|
- в диапазоне от св. 0,05 мкм до 1 мкм включ., % |
±6 |
|
- в диапазоне от св. 1 мкм до 10 мкм, % (где L - линейный размер, нм) |
±4 |
|
Диапазон регулировки увеличений, крат |
от 45 до 1550000 |
|
Значения ускоряющего напряжения, кВ |
200, 300 |
|
Напряжение питания от трехфазной сети переменного тока частотой 50 Гц, В |
от 340 до 400 |
|
Максимальная потребляемая мощность, кВ-А |
10 |
|
Габаритные размеры (длина х ширина х высота) основных блоков, мм, не более: | |
|
- консоль микроскопа с колонной |
1430 х 2140 х 235 |
|
- стойка TEM/Acc |
700x800x1800 |
|
- стойка питания микроскопа |
1200х600х1300 |
|
- генератор высокого напряжения |
880х760х1990 |
|
- система охлаждения |
680х660х860 |
|
Условия эксплуатации: о -температура окружающего воздуха, С |
от +19 до +21 |
|
- относительная влажность воздуха, %, не более |
80 |