Сведения о средстве измерений: 69048-17 Микроскоп электронно-ионный растровый

Номер по Госреестру СИ: 69048-17
69048-17 Микроскоп электронно-ионный растровый
(Helios NanoLab 650)

Назначение средства измерений:
Микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии микро- и нанорельефа поверхности твердотельных материалов и структур и проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов сфокусированным ионным пучком.

сертификация программного обеспечения
Внешний вид. Микроскоп электронно-ионный растровый, http://oei-analitika.ru рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскоп электронно-ионный растровый
Рисунок № 1

Общие сведения

Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 160761
ID в реестре СИ - 383161
Тип производства - единичное
Описание типа

Поверка

Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да

Модификации СИ

Микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650,

Производитель

Изготовитель - Фирма "FEI Ltd."
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да

Статистика

Кол-во поверок - 4
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 2
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.

Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ

№2256 от 2017.10.25 Об утверждении типов средств измерений

Наличие аналогов СИ: Микроскоп электронно-ионный растровый (Helios NanoLab 650)

ИМПОРТНОЕ СИ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель

Все средства измерений Фирма "FEI Ltd."

№ в реестре
cрок св-ва
Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
48831-12

Микроскоп электронный просвечивающий, TITAN 80-300
Фирма "FEI Ltd." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
ОТ
1 год
69048-17

Микроскоп электронно-ионный растровый, Helios NanoLab 650
Фирма "FEI Ltd." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
ОТ
1 год
69049-17

Микроскоп электронный просвечивающий, TITAN 80-300
Фирма "FEI Ltd." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
ОТ
МП
1 год
78941-20

Микроскоп электронно-ионный растровый, Scios
Фирма "FEI Ltd." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
ОТ
МП
1 год

Хабаровск - город в России, административный центр Хабаровского края. Один из крупнейших политических, образовательных и культурных центров Дальнего Востока России. Крупнейший город на Дальнем Востоке с населением 617 441 человек.

Расположен в центре пересечения международных железнодорожных и воздушных транспортных путей на правом берегу Амурской протоки и реки Амур на Среднеамурской низменности, недалеко от границы с Китаем (на катере от речного вокзала до ближайшего китайского города Фуюань около 65 км).

Экономика Хабаровского края диверсифицирована, базируется на развитом и многоотраслевом промышленном производстве, транспортном обслуживании основных грузопотоков. Ведущими отраслями хозяйственного комплекса края являются промышленность (24,6% валового регионального продукта), транспорт и связь (17,3%), торговля (13,9%). В промышленном производстве доля обрабатывающих отраслей составляет более 79%. Основными отраслями промышленности региона являются металлургия, машиностроение, энергетика, нефтепереработка, добыча - угля и руд цветных металлов и производство продуктов питания.

Отчет "Анализ рынка поверки в Хабаровске" предоставляет исчерпывающую информацию по деятельности организаций, аккредитованных в Национальной системе аккредитации на право поверки средств измерений в городе Хабаровск.

При проведении исследований были введены следующие ограничения:

  • в отчете присутствуют организации с первичными или периодическими поверками от 100 шт. с 2017 года и действующими аттестатами аккредитации на текущий год;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • место регистрации или осуществления деятельности организаций должно совпадать с выбранным городом;
  • топ типов СИ ограничен 500 позициями по каждой организации (сортировка по убыванию количества поверок);
  • топ типов СИ ограничен 100 позициями по каждой организации при поиске по видам измерений (сортировка по убыванию количества поверок).

Содержание отчета:

  • Список организаций-поверителей, осуществляющих поверку в городе Москва по данным ФСА и ФГИС АРШИН.
  • Объемы первичных и периодических поверок за период с 2017г. по н.в.
  • Информация о местах осуществления деятельности организаций-поверителей.
  • Доля рынка поверок в % среди всех организаций, исследуемого города (предоставление информации в графическом и табличном видах).
  • Детальный анализ по каждой из организации, работающей в выбранном городе.
  • Анализ деятельности в разрезе первичных, периодических поверок и видов измерений.
  • Количество поверок по типам СИ в динамике по годам.
  • Индикация импортных аналогов средств поверки (в соответствии с ПЕРЕЧЕНЕМ СИ ОТЕЧЕСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА, АНАЛОГИЧНЫХ СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ ИМПОРТНОГО ПРОИЗВОДСТВА от 09.2022г)
  • Индикация типов СИ по ПП РФ №250 от 20.04.2010 г.
  • Быстрый анализ контрагентов организаций-поверителей.
  • Анализ цен на поверку СИ по Фед. округу.

Стоимость 3 000 руб.

Кто поверяет Микроскоп электронно-ионный растровый (Helios NanoLab 650)

Наименование организации Cтатус Поверенные модификации Кол-во поверок Поверок в 2024 году Первичных поверок Периодических поверок Извещений Для юриков Для юриков первичные Для юриков периодические
АО "НИЦПВ"
(RA.RU.311409)
  • Микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650
  • 4 0 2 0 0 0 0

    Стоимость поверки Микроскоп электронно-ионный растровый (Helios NanoLab 650)

    Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

    Программное обеспечение

    Управление микроскопом, получение, обработку и запоминание изображений осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «FEI system control».

    ПО «FEI system control» не может быть использовано отдельно от микроскопа. Конструкция микроскопа исключает возможность несанкционированного влияния на ПО и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО микроскопа и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.

    Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений-«высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

    Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.

    Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

    Идентификационные данные (признаки)

    Значение

    Идентификационное наименование ПО

    FEI system control

    Номер версии (идентификационный номер) ПО

    5.4.2.3177

    Цифровой идентификатор ПО

    326b507c2af2a063091b5060bf18fa

    f27a08664d289a1b240f9d3bf1е25c 612c


    Знак утверждения типа

    Знак утверждения типа

    наносится на лицевую панель видеоконтрольного блока в виде наклейки и на титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.


    Сведения о методиках измерений

    Сведения о методиках (методах) измерений

    приведены в эксплуатационном документе.


    Нормативные и технические документы

    Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу электронно-ионному растровому Helios NanoLab 650

    Техническая документация фирмы-изготовителя.

    Поверка

    Поверка

    осуществляется по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».

    Основные средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (рег. № 33598-06).

    Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого микроскопа с требуемой точностью.

    Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.


    Изготовитель


    Фирма «FEI Ltd.», США
    Адрес: 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, Oregon 97124, USA

    Заявитель


    Федеральное государственное бюджетное учреждение «Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт» (НИЦ «Курчатовский институт»)
    Адрес: 123182, Москва, пл. Академика Курчатова, д.1
    Тел./факс: (499) 196-95-39
    E-mail: microscop@microscop.ru

    Испытательный центр

    Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)
    Адрес:119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1
    Тел./Факс (495) 935-97-77
    E-mail: nicpv@mail.ru

    Принцип действия микроскопа заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных электронов, возникающих при сканировании сфокусированного электронного или ионного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.

    Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную измерительную систему, выполненную на базе растрового электронного микроскопа и работающую в диапазоне микро- и наноразмеров.

    Микроскоп состоит из электронно-оптической системы (колонны), ионной колонны с галлиевым жидкометаллическим источником ионов, камеры образцов с механизмом их перемещения, детектора вторичных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока электроники.

    Наличие сфокусированного ионного зонда позволяет производить локальное контролируемое травление образца ионным пучком, при этом режимы травления регулируются изменением ускоряющего напряжения и тока ионного пучка. Контроль параметров рельефа, модифицированного в результате ионного травления, осуществляется в режиме растрового электронного микроскопа.

    Внешний вид. Микроскоп электронно-ионный растровый (Helios NanoLab 650), http://oei-analitika.ru

    Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронно-ионного растрового Helios NanoLab 650

    Пломбирование микроскопа электронно-ионного растрового Helios NanoLab 650 не предусмотрено.


    Комплектность представлена в таблице 3.

    Таблица 3

    Наименование

    Количество

    Микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650

    1 шт.

    Руководство по эксплуатации

    1 экз.


    Основные метрологические и технические характеристики микроскопа приведены в таблице 2.

    Таблица 2 -

    Наименование характеристики

    Значение

    Диапазон измерений линейных размеров элементов топологии, мкм

    от 0,002 до 1000

    Диапазон показаний линейных размеров, мкм

    от 0,001 до 2000

    Пределы допускаемой погрешности измерений линейных размеров элементов топологии:

    • - в диапазоне от 0,002 мкм до 0,1 мкм, нм

    • - в диапазоне от 0,1 мкм до 2000 мкм, %

    (где L - линейный размер, нм)

    ±(1+0,04L) ±5

    Диапазон регулирования увеличения, крат

    От 100 до 4 000 000

    Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30 кВ, нм, не более

    10

    Разрешение при ускоряющем напряжении 30 кВ, нм, не более

    0,8

    Разрешение при ускоряющем напряжении 0,2 кВ, нм, не более

    1,5

    Потребляемая мощность, кВт, не более

    3

    Масса, кг, не более

    950

    Габаритные размеры (длинахширинахвысота) основных составных частей, мм, не более:

    • - консоль микроскопа с колонной;

    • - видеоконтрольный блок;

    • - стойка питания микроскопа

    1250x1160x2000

    1700x900x1300

    800x600x2000

    Продолжение таблицы 2

    Наименование характеристики

    Значение

    Условия эксплуатации:

    • - температура окружающего воздуха, °С;

    • - атмосферное давление, кПа;

    • - относительная влажность воздуха, %, не более

    от +18 до +22

    от 84 до 104 80

    Напряжение питания от сети переменного тока частотой 50 Гц, В

    от 200 до 240


    Настройки внешнего вида
    Цветовая схема

    Ширина

    Левая панель