Номер по Госреестру СИ: 61516-15
61516-15 Микроскопы автоэмиссионные сканирующие электронные
(MERLIN Compact, MERLIN Compact VP, MERLIN)
Назначение средства измерений:
Микроскопы автоэмиссионные сканирующие электронные MERLIN Compact, MERLIN Compact VP, MERLIN предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Внешний вид.
Микроскопы автоэмиссионные сканирующие электронные
Рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскопы автоэмиссионные сканирующие электронные
Рисунок № 2
Общие сведения
Дата публикации -
Срок свидетельства - 01.09.2021
Номер записи -
ID в реестре СИ - 374933
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Микроскоп автоэмиссионный сканирующий электронный MERLIN, Микроскоп автоэмиссионный сканирующий электронный MERLIN, MERLIN Compact, MERLIN Compact VP, MERLIN,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd."
Страна - СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Каталог СИ, используемый в сервисе ОЕИ-Аналитика имеет трехуровневую структуру вида: области измерений (более 20), разделы областей измерений (более 250) и группы СИ (более 10 тыс.). При разработке каталога были использованы как существующие кодификаторы: МИ 2803-2014, МИ 2314-2006, МИ 2314-2022, так и собственные наработки. Перед применением каталог был адаптирован и обогащен данными из реального реестра, утвержденных типов СИ ФГИС АРШИН.
Отчет «Каталог типов СИ АРШИН по группам СИ» сортирует типы СИ в зависимости от выбранной группы СИ (можно выбрать нескольких групп СИ одновременно) и представляет их списком в виде удобной для дальнейшей работы таблицы. Таблица обладает функциями поиска и сортировки по любой из колонок. К группам СИ отнесены устойчивые словосочетания наименований типов СИ, состоящие максимум из 3 слов.
Таблица содержит минимум 8 колонок:
По каждому типу СИ приведены: номер в гос. реестре с ссылкой, наименование типа СИ, наименование фирмы-производителя, ссылка на описание типа и методику поверки (если они имеются), величина интервала между поверками, а также, количество поверок по годам (начиная с 2020).
Статистика
Кол-во поверок - 6
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 3
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№1012 от 2015.09.01 Об утверждении типов средств измерений
Наличие аналогов СИ: Микроскопы автоэмиссионные сканирующие электронные (MERLIN Compact, MERLIN Compact VP, MERLIN)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd."
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
55118-13 |
Микроскоп сканирующий электронный, EVO MA25 Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО ) |
ОТ |
6 месяцев |
|
58416-14 15.09.2019 |
Микроскопы сканирующие электронные, EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО ) |
ОТ |
6 месяцев |
|
59636-15 23.01.2020 |
Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные, SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО ) |
ОТ МП |
6 месяцев |
|
61516-15 01.09.2021 |
Микроскопы автоэмиссионные сканирующие электронные, MERLIN Compact, MERLIN Compact VP, MERLIN Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО ) |
ОТ МП |
1 год |
|
67005-17 22.03.2022 |
Микроскопы сканирующие электронные, EVO 18 Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО ) |
ОТ МП |
1 год |
Справочник является копией реестра "Утверждённые типы стандартных образцов" (https://fgis.gost.ru/fundmetrology/registry/19) ФГИС АРШИН и содержит сведения об утвержденных типах стандартных образцов.
Справочник реализован в виде единой таблицы, имеется возможность поиска и сортировки по любому из полей. Доступна функция экспорта каждой из записей в формате json, а также всей таблицы в CSV Excel. Справочник содержит более 8 тыс. записей и актуализируется не реже 1 раза в месяц.
Кто поверяет Микроскопы автоэмиссионные сканирующие электронные (MERLIN Compact, MERLIN Compact VP, MERLIN)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 5 | 0 | 3 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ФГУП «УНИИМ» (01.00258-2011) | РСТ | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Микроскопы автоэмиссионные сканирующие электронные (MERLIN Compact, MERLIN Compact VP, MERLIN)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Микроскопы имеют автономное программное обеспечение, которое используется для обработки результатов измерений.
Идентификационные данные метрологически значимой части программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
SmartSEM |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
5.06 |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма |
7B1EE57BEE2FF061 |
|
исполняемого кода) |
4EF5F8822FB71632 |
|
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
MD5 |
Защита ПО от преднамеренных и непреднамеренных воздействий соответствует
среднему уровню. Метрологически значимая часть ПО СИ и измеренные данные достаточно защищены с помощью ограничения прав доступа паролем.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типаЗнак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом наклейки и на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Микроскопы автоэмиссионные сканирующие электронные MERLIN Compact, MERLIN
Compact VP, MERLIN. Руководство по эксплуатации раздел «Эксплуатация».
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к микроскопам автоэмиссионным сканирующим электронным MERLIN Compact, MERLIN Compact VP, MERLIN
ГОСТ Р 8.763-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 140-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
Поверка
Поверкаосуществляется в соответствии с документом МП 34.Д4-14 «Микроскопы автоэмиссионные сканирующие электронные MERLIN Compact, MERLIN Compact VP, MERLIN. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИОФИ» 9 апреля 2014 г.
Основные средства поверки:
Эталонная мера ширины и периода МШПС-2.0К.
Основные метрологические характеристики:
|
Наименование метрологических характеристик |
Номинальное значение, нм |
Погрешность, нм |
|
Среднее значение шага (t) шаговой структуры, нм. |
2001 |
±2 |
|
Значение ширины (bu) верхнего основания выступа (8 выступ) в шаговой структуре, нм. |
597 |
±2 |
Изготовитель
«Carl Zeiss Microscopy Ltd.», Великобритания511 Coldhams Lane, Cambridge CB1 3JS, United Kingdom
Телефон +44 (0)1223 401 450
Факс +44 (0)1223 401 501
customercare.uk@zeiss.com
http://www.zeiss.co.uk
Заявитель
ООО «ОПТЭК»Адрес: 105005, Россия, г. Москва, Денисовский пер., д. 26.
Тел.: +7(495) 933-51-51
Факс: +7(495) 933-51-55
E-mail: offi ce@optecgroup. com
Web: www.optecgroup. com
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Принцип работы микроскопов автоэмиссионных сканирующих электронных MERLIN Compact, MERLIN Compact VP, MERLIN (далее по тексту - микроскопы) основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопов, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того, какой тип детектора сигнала в данный момент включен, микроскопы формируют то или иное конкретное изображение.
Микроскопы измеряют длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.
Микроскопы укомплектованы двумя детекторами: внутрилинзовым и детектором вторичных электронов (SE), позволяющими получать электронно-микроскопические изображения, которые отличаются друг от друга геометрическим расположением внутри рабочего объема микроскопа. Микроскоп Merlin Compact VP дополнительно укомплектован детектором отраженных электронов (EsB).
Микроскопы оснащены двумя вспомогательными телекамерами инфракрасного диапазона, которые позволяют в реальном времени и с увеличением около 1,5 раз контролировать перемещения и повороты исследуемого объекта и гониометрического держателя препаратов.
В микроскопе MERLIN Compact возможно использование режима высокого разрешения при большом токе зонда, с использованием внутрилинзового SE. На микроскопе MERLIN Compact VP возможно исследование диэлектрических материалов при низком значении вакуума (VP режим). Микроскоп MERLIN позволяет использовать режим высокого разрешения при низком токе зонда, с помощью детектора обратно-рассеянных электронов (EsB).
Рисунок 1 - Общий вид микроскопов автоэмиссионных сканирующих электронных MERLIN
Compact, MERLIN Compact VP, MERLIN
Рисунок 2 - Места нанесения маркировки на микроскоп.
Таблица 3
|
Наименование |
Количество, шт |
|
Микроскоп электронный сканирующий MERLIN Compact, MERLIN Compact VP, MERLIN* |
1 |
|
Компьютер с сетевым источником питания |
1 |
|
Дисплей |
1 |
|
Клавиатура |
1 |
|
Манипулятор «мышь» |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
1 |
|
Методика поверки МП 34.Д4-14 |
1 |
|
*- модификация по требованию заказчика | |
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Эффективный диаметр электронного зонда микроскопа не более, нм |
150 |
|
Диапазон показаний линейных размеров, нм |
от 0,8 до 2М06 |
|
Диапазон измерений линейных размеров, нм |
от 500 до 2М06 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных |
±(1+0,05L*) |
|
размеров, нм | |
|
Диапазон регулирования увеличения, крат |
12-2000000 |
|
Номинальное напряжение сети питания, В |
220 ± 5 % |
|
Масса, кг, не более |
870 |
|
Габаритные размеры, мм, не более |
980x774x1700 |
|
Условия эксплуатации: | |
|
Температура окружающего воздуха, °С |
21 ± 4 |
|
Относительная влажность воздуха при 25°С, % |
65 |
|
Избыточное давление воздуха в помещении относительно | |
|
атмосферного давления, Па |
30 ± 0,3 |
|
* - L - линейный размер объекта, нм | |