Номер по Госреестру СИ: 58416-14
58416-14 Микроскопы сканирующие электронные
(EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS)
Назначение средства измерений:
Микроскопы сканирующие электронные EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные
Рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные
Рисунок № 2
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства - 15.09.2019
Номер записи - 149045
ID в реестре СИ - 371445
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 6 месяцев
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
нет, Микроскоп сканирующий электронный EVO MA10 Zeiss, Микроскоп сканирующий электронный EVO MA10, EVO MA25, EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS, EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd."
Страна - СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Справочник действующих аттестованных эталонов единиц величин является копией соответствующего реестра ФГИС «АРШИН» (https://fgis.gost.ru/fundmetrology/registry/11) и содержит сведения о действующих государственных и частных аттестованных эталонах единиц величин.
Для удобства использования справочника все эталоны разделены по видам измерений в зависимости от вида измерений государственного первичного эталона, к которому осуществляется прослеживаемость. Справочник содержит более 110 тыс. записей и актуализируется не реже 1 раза в месяц.
Статистика
Кол-во поверок - 11
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 6
Кол-во средств измерений - 2
Кол-во владельцев - 3
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 286 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№3048 от 2022.12.06 О закреплении документов национальной системы стандартизации за техническим комитетом по стандартизации "Кабельные изделия" (ТК 046)
Наличие аналогов СИ: Микроскопы сканирующие электронные (EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd."
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
55118-13 |
Микроскоп сканирующий электронный, EVO MA25 Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО ) |
ОТ |
6 месяцев |
|
58416-14 15.09.2019 |
Микроскопы сканирующие электронные, EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО ) |
ОТ |
6 месяцев |
|
59636-15 23.01.2020 |
Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные, SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО ) |
ОТ МП |
6 месяцев |
|
61516-15 01.09.2021 |
Микроскопы автоэмиссионные сканирующие электронные, MERLIN Compact, MERLIN Compact VP, MERLIN Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО ) |
ОТ МП |
1 год |
|
67005-17 22.03.2022 |
Микроскопы сканирующие электронные, EVO 18 Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО ) |
ОТ МП |
1 год |
Отчет "V_21. Поверка по организации в динамике по месяцам" полезен для оценки объёмов количества поверок, проводимых аккредитованной организацией. Отчет строится в динамике по месяцам и представлен тремя графиками. Графики являются интерактивными с возможностью масштабирования и экспорта в сторонние программы. В зависимости от выбранного графика приводятся объёмы поверок (все поверки, периодические поверки, извещения о непригодности) по месяцам, конкретной организации или группы организаций.
Для справки в шапке отчета приводится усредненная статистика по запросу:
- максимальное количество поверок за день
- среднее количество поверок в месяц и год
- количество месяцев (в выбранном временном интервале)
- количество годов (в выбранном временном интервале)
- общее количество поверок за выбранный период
Для построения отчета необходимо предварительно сконфигурировать два параметра его отображения:
1- Выбрать интересующим временной интервал (в БД имеются данные начиная с 2010 г.)
2- Выбрать аккредитованную на поверку организацию (несколько организаций) из списка СИ (выпадающий список позволяет делать множественный выбор). Существование дубликатов организаций вызвано разницей в написании наименований и преобразовании форм собственности организаций за все время ведения федерального фонда. Для удобства выбора в скобках указано общее кол-во поверок в системе, приходящееся на конкретного поверителя.
Кто поверяет Микроскопы сканирующие электронные (EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 5 | 0 | 4 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ФГУП «УНИИМ» (01.00258-2011) | РСТ | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| УРАЛЬСКИЙ НИИ МЕТРОЛОГИИ (RA.RU.311473) | РСТ | 2 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | ||
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ОАО "НИЦПВ". (01.00317-2011) | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ФГБУ "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 |
Стоимость поверки Микроскопы сканирующие электронные (EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Микроскопы имеют автономное программное обеспечение, которое используется для обработки результатов измерений. Метрологически значимая часть ПО СИ и измеренные данные достаточно защищены с помощью ограничения прав доступа паролем.
Таблица 1
|
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии (идентификацио нный номер) ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
|
SmartSEM |
5.06 |
7B1EE57BEE2FF061 4EF5F8822FB71632 |
MD5 |
Защита ПО от преднамеренных и непреднамеренных воздействий соответствует уровню «С».
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации методом наклейки и на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
«Микроскопы сканирующие электронные EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS . Руководство по эксплуатации» разделы 2.2.3 и 2.2.4.
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к микроскопам сканирующим электронным EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS
ГОСТ Р 8.763-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 140-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измеренийВыполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством РФ обязательным требованиям.
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 125.Д4-13 «Микроскопы сканирующие электронные EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS .Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 23 декабря 2013 г.
Основные средства поверки:
Эталонная мера ширины и периода МШПС-2.0К.
Основные метрологические характеристики:
|
Наименование метрологических характеристик |
Номинальное значение, нм |
Погрешность, нм |
|
Среднее значение шага (t) шаговой структуры, нм |
2001 |
±2 |
|
Значение ширины (bu) верхнего основания выступа (8 выступ) в шаговой структуре, нм |
597 |
±2 |
Изготовитель
«Carl Zeiss Microscopy Ltd», Великобритания.511 Coldhams Lane, Cambridge CB1 3JS, United Kingdom
Телефон +44 (0)1223 401 450
Факс +44 (0)1223 401 501 customercare.uk@zeiss.com http://www.zeiss.co.uk
Заявитель
ООО «ОПТЭК»Адрес: 105005, Россия, г. Москва, Денисовский пер., д. 26.
Тел.: +7(495) 933-51-51
Факс: +7(495) 933-51-55
E-mail: offi ce@optecgroup. com
www.optecgroup.com
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»).Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Принцип работы микроскопов сканирующих электронных EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS (далее по тексту - микроскопы) основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопов, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен, микроскопы формируют то или иное конкретное изображение.
Микроскопы измеряют длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.
Микроскопы укомплектованы тремя детекторами, позволяющими получать электронно-микроскопические изображения: два детектора вторичных электронов, которые отличаются друг от друга геометрическим расположением внутри рабочего объема колонны микроскопа, а также детектор отраженных электронов.
Микроскопы оснащены двумя вспомогательными телекамерами инфракрасного диапазона, которые позволяют в реальном времени и с увеличением около 1,5 раз контролировать перемещения и повороты объекта гониометрическим держателем препаратов.
В маркировке модификаций микроскопов применяются следующие обозначения:
-
- МА - микроскопы позволяют изменять давление до 400 Па;
-
- LS - микроскопы позволяют изменять давление до 3000 Па;
-
- 10, 15 и 25 - размеры рабочей камеры и столика, приведены в таблице 3;
-
- HD - микроскопы с более высокой разрешающей способностью, приведенной в таблице 4.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопов сканирующих электронных EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS .
Carl fnl-л M.ihjvdqv nd c.tmbrir.qi: ГЫ JjS Unite J Kingdom
4*~
Место нанесения маркировки
I
Рисунок 2 - Места нанесения маркировки на микроскоп.
Таблица 5
|
Наименование |
Количество, шт | |
|
Микроскопы электронные сканирующие EVO MA10, MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS * |
EVO EVO |
1 |
|
Компьютер с сетевым источником питания |
1 | |
|
Дисплей |
1 | |
|
Клавиатура |
1 | |
|
Манипулятор «мышь» |
1 | |
|
Руководство по эксплуатации |
1 | |
|
Методика поверки МП 125.Д4-13 |
1 | |
|
* - модификация по требованию заказчика | ||
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, нм/пиксель |
2,65 - 19531 |
|
Эффективный диаметр электронного зонда микроскопа не более, нм |
150 |
|
Диапазон измерений линейных размеров, нм |
20 - 2406 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных |
±(4+0,05L*) |
|
размеров, нм | |
|
Диапазон регулирования увеличения, крат |
5-1000000 |
|
Номинальное напряжение сети питания, В |
220 ± 5 % |
|
Масса, кг, не более |
650 |
|
Габаритные размеры, мм, не более |
980x774x1700 |
|
Условия эксплуатации: | |
|
Температура окружающего воздуха, °С |
22 ± 0,2 |
|
Относительная влажность воздуха при 25°С, % |
40 ± 2 |
|
Избыточное давление воздуха в помещении относительно | |
|
атмосферного давления, Па |
30 ± 0,3 |
|
* - L - длина измеряемого объекта, нм | |
Таблица 3
|
Модификация микроскопа |
Размер рабочей камеры, мм |
Размер столика, мм |
|
EVO MA 10 EVO LS 10 |
Диаметр 310 Высота 220 |
X = 80 Y = 100 Z = 35 |
|
EVO MA 15 EVO HD 15 MA EVO LS 15 EVO HD 15 LS |
Диаметр 365 Высота 275 |
X = 125 Y = 125 Z = 50 |
|
EVO MA 25 EVO HD 25 MA EVO LS 25 EVO HD 25 LS |
Диаметр 420 Высота 330 |
X = 130 Y = 130 Z = 50 |
Таблица 4
|
Модификация микроскопа |
Разрешающая способность |
|
EVO MA, LS |
3 нм (2 нм) при 30 кВ 4.5 нм при 30 кВ (VP режим) 15 нм при 30 кВ 20 нм (15 нм) при 1 кВ 10 нм при 3 кВ |
|
EVO HD |
1.9 нм при 30 кВ 3 нм при 30 кВ (VP режим) 10 нм при 30 кВ 5 нм при 3 кВ 8 нм при 1 кВ |