Номер по Госреестру СИ: 90948-24
90948-24 Системы измерения параметров пластин
(ИУС-7Р)
Назначение средства измерений:
Системы измерения параметров пластин ИУС-7Р (далее - системы ИУС-7Р) предназначены для измерений удельного поверхностного электрического сопротивления (УПЭС) пластин полупроводниковых и диэлектрических материалов четырехзондовым методом с линейным расположением зондов.
Внешний вид.
Системы измерения параметров пластин
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 12.01.2024
Срок свидетельства - 11.01.2029
Номер записи - 192850
ID в реестре СИ - 1413463
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 2 года
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
ИУС-7Р,
Производитель
Изготовитель - Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро")
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г. Москва
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности -
Отчет "V_13 Поверки по производителю СИ (подробно)" будет крайне полезен руководителям организаций, оказывающих услуги поверки, при поиске новых клиентов, анализе рынка услуг при доминировании нескольких производителей СИ и оценке позиций конкурентов.
Для построения отчета необходимо предварительно сконфигурировать два параметра его отображения:
1- Выбрать интересующего производителя СИ или нескольких производителей одновременно. Список производителей формируется из реестра утвержденных типов СИ ФГИС АРШИН. Существование дубликатов организаций вызвано разницей в написании наименований и преобразовании форм собственности организаций за все время ведения федерального фонда. Для удобства выбора в скобках указано общее кол-во поверок в системе, приходящееся на конкретного производителя.
2- Указать минимальный объём поверок (организации, имеющие меньше поверок отображаться в отчете не будут).
Результаты обработки данных будут представлены в табличной форме. Таблица обладает функцией поиска и сортировки по любой из колонок.
Таблица содержит 6 колонок:
- Номер в госреестре типа СИ с ссылкой на соответствующий раздел реестра
- Ссылочное поле на описание типа СИ с наименованием средства измерений
- Количество средств измерений данного типа СИ, засветившихся в ФГИС АРШИН
- Количество уникальных владельцев СИ, имеющих на балансе СИ данного типа
- Организации, которые когда-либо поверяли СИ данного типа с указанием количества поверок (фильтр по кол-ву поверок устанавливается в настройках отчета)
- Организации, которые осуществляли поверки СИ данного типа за последний год с указанием количества поверок (фильтр по кол-ву поверок устанавливается в настройках отчета)
Статистика
Кол-во поверок - 2
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 0
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№9 от 2024.01.11 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (16)
Наличие аналогов СИ: Системы измерения параметров пластин (ИУС-7Р)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро")
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
86250-22 |
Системы контроля микросхем памяти, ДЕТЕРМИНАЛ-МАТРИЦА Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро") (РОССИЯ г. Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
86536-22 26.08.2027 |
Комплексы мобильные переносные, МПК-24 Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро") (РОССИЯ г. Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
88789-23 12.04.2028 |
Микроомметры, Е6-42 Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро") (РОССИЯ г. Москва) |
ОТ МП |
2 года |
|
90948-24 11.01.2029 |
Системы измерения параметров пластин, ИУС-7Р Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро") (РОССИЯ г. Москва) |
ОТ МП |
2 года |
|
91347-24 20.02.2029 |
Мегаомметры, Е6-46 Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро") (РОССИЯ г. Москва) |
ОТ МП |
2 года |
|
91444-24 |
Системы контроля монтажа, УЛЕЙ Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро") (РОССИЯ г. Москва) |
ОТ МП |
1 год |
Ввиду большого размера таблиц БД, связанных с средствами поверки, отчет строится в 2 этапа.
На первом этапе выбирается год производства СО (он указывается поверителем при вводе данных о СО, как средстве поверки). Ввиду того, что при вводе данных поверители допускают огромное количество опечаток (присутствую СО с датой производства от 1000 до 3000 годов производства) ограничена возможность выбора года производства СО периодом с 2000 по текущий год.
После выбора года производства строится сводная таблица по СО, применяемым в качестве средства поверки. Отчет строится очень долго!!!! (при построении задействованы 2 таблицы с суммарным количеством записей на конец 2023 года 1.5млд строк, много полей текстовых)!!!! При формировании таблицы из нее исключаются СО для которых не был указан год производства и/или серийный номер.
Таблица содержит следующие сведения: наименование организации поверителя, номер ГСО, заводской номер ГСО, описание ГСО и кол-во поверок за выбранный год.
Кто поверяет Системы измерения параметров пластин (ИУС-7Р)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ООО «ПРОММАШ ТЕСТ МЕТРОЛОГИЯ» (RA.RU.313740) | 2 | 2 | 2 | 0 | 0 | 2 | 2 | 0 |
Стоимость поверки Системы измерения параметров пластин (ИУС-7Р)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Идентификационные данные программного обеспечения (ПО) систем ИУС-7Р приведены в таблице 1.
Уровень защиты ПО систем ИУС-7Р «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Влияние метрологически значимой части ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
Кристалл |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже КР-0823-01 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист Руководства по эксплуатации и на маркировочные таблички измерителя поверхностного сопротивления Семизонд 4К и микроомметра Е6-42 типографским методом или в виде наклейки.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в Руководстве по эксплуатации ЛДПА.411-04.00.000РЭ, раздел 10 «Порядок работы».
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измерений ЛДПА.411-04.00.000ТУ «Система измерения параметров пластин ИУС-7Р.
Технические условия»;
Приказ Росстандарта от 30 декабря 2019 г. № 3456 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений электрического сопротивления постоянного и переменного тока»;
Приказ Росстандарта от 29 декабря 2018 г. № 2840 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений длины в диапазоне от 1^10“9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм».
ПравообладательОбщество с ограниченной ответственностью «Остек-Электро» (ООО «Остек-Электро») ИНН 7731483966
Юридический адрес: 121467, г. Москва, ул. Молдавская, д. 5, стр. 2
Испытательный центр
Уральский научно-исследовательский институт метрологии - филиал Федерального государственного унитарного предприятия «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии имени Д.И.Менделеева» (УНИИМ - филиал ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева»)Адрес: 620075, г. Екатеринбург, ул. Красноармейская, д. 4
Правообладатель
Общество с ограниченной ответственностью «Остек-Электро» (ООО «Остек-Электро») ИНН 7731483966Юридический адрес: 121467, г. Москва, ул. Молдавская, д. 5, стр. 2
Принцип действия систем ИУС-7Р основан на измерении разности потенциалов, возникающей между двумя зондами четырёхзондовой измерительной головки, установленной на поверхности образца полупроводникового (диэлектрического) материала, при пропускании электрического тока определённой величины и переменной полярности через два других точечных зонда, расположенных на той же поверхности. Для расчетов УПЭС образца используют усредненное значение сопротивления образца при прямом и обратном токе.
Конструктивно системы ИУС-7Р состоят из следующих блоков:
-
- измерителя поверхностного сопротивления Семизонд 4К;
-
- микроомметра Е6-42 (зарегистрирован в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений под № 88789-23).
Удельное поверхностное электрическое сопротивление вычисляется автоматически с помощью программного обеспечения (далее - ПО), исходя из измеренных значений электрического сопротивления и межзондового расстояния четырехзондовой головки с учетом размеров измеряемого образца. Персональный компьютер с установленным ПО подключается к микроомметру Е6-42 USB-кабелем. ПО систем ИУС-7Р на основе измеренных параметров позволяет рассчитать также удельное электрическое сопротивление пластины и сопротивление растекания.
Четырёхзондовая измерительная головка имеет номинальные значения межзондовых расстояний 1,59 мм. В комплект поставки входят два типа четырехзондовых измерительных головок: ТС с зондами, изготовленными из карбида вольфрама с остриями конусообразной формы (предназначены для измерений УПЭС пластин полупроводниковых материалов) и BeCu с зондами, изготовленными из бериллиевой бронзы с остриями шарообразной формы (предназначены для измерений УПЭС пластин диэлектрических материалов).
Конструкция систем ИУС-7Р обеспечивает ограничение доступа к частям, несущим первичную измерительную информацию, и местам настройки (регулировки).
Маркировочные таблички блоков системы ИУС-7Р с заводским номером, выполненным типографским методом в виде цифрового кода, наклеены на задние панели измерителя поверхностного сопротивления Семизонд 4К и микроомметра Е6-42.
Заводской номер системы ИУС-7Р присваивается по заводскому номеру измерителя поверхностного сопротивления Семизонд 4К. Информация о заводских номерах системы ИУС-7Р и входящих в ее состав блоков приведена в формуляре.
Пломбирование систем ИУС-7Р не предусмотрено.
Нанесение знака поверки на системы ИУС-7Р не предусмотрено.
Общий вид систем ИУС-7Р представлен на рисунке 1.
Места нанесения заводского номера и знака утверждения типа
Рисунок 1 - Общий вид систем ИУС-7Р
Таблица 4 -
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Система измерения параметров пластин ИУС-7Р в составе: |
ЛДПА.411-04.00.000 |
1 шт. |
|
Измеритель поверхностного сопротивления Семизонд 4К |
ЛДПА.411-09.00.000 |
1 шт. |
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроомметр Е6-42 |
ЛДПА.411 -08.00.000 |
1 шт. |
|
Четырехзондовые измерительные головки |
ВеСи_05_07_62.5 ТС 01 10 62.5 |
2 шт. |
|
Программное обеспечение (на флеш-карте) |
Кристалл |
1 шт. |
|
Кабель |
BNC-BNC |
4 шт. |
|
Кабель |
DSUB |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации системы измерения параметров пластин ИУС-7Р |
ЛДПА.411-04.00.000РЭ |
1 экз. |
|
Руководство по эксплуатации микроомметра Е6-42 |
ЛДПА.411-О8.00.000РЭ |
1 экз. |
|
Переходное устройство |
ЛДПА.411-09.00.999 |
1 шт. |
|
Формуляр |
ЛДПА.411-04.00.000ФО |
1 экз. |
Таблица 2 - Метрологические характеристики систем ИУС-7Р
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений удельного поверхностного электрического сопротивления (УПЭС) на квадрат поверхности, Ом |
от 4'10-3 до 9'108 |
|
Пределы допускаемой неисключенной составляющей относительной погрешности измерений УПЭС, % |
±1,0* |
|
Пределы допускаемого отклонения расстояний между линейно расположенными зондами четырехзондовой головки от номинальных значений (1,59 мм), мм:
|
±0,01 ±0,05 |
|
* - Пределы допускаемой неисключенной составляющей относительной погрешности измерений УПЭС установлены без учета влияния материала полупроводниковой (диэлектрической) пластины. Погрешность измерений УПЭС пластин конкретных полупроводниковых (диэлектрических) материалов устанавливается в методиках измерений, аттестованных в установленном порядке. | |
Таблица 3 - Технические характеристики систем ИУС-7Р
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Габаритные размеры (ВхШхД), мм, не более: - измеритель поверхностного сопротивления Семизонд 4К |
285x470x230 |
|
- микроомметр Е6-42 |
134x281x320 |
|
Масса, кг, не более: - измеритель поверхностного сопротивления Семизонд 4К |
18 |
|
- микроомметр Е6-42 |
4 |
|
Параметры электрического питания: - напряжение сетевого питания, В |
230±23 |
|
- частота питающей сети, Гц |
50±О,5 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха °С |
20±5 |
|
- относительная влажность воздуха, %, не более |
80 |