Номер по Госреестру СИ: 76481-19
76481-19 Микроскопы сканирующие электронные с приставкой для энергодисперсионного микроанализа
(Hitachi TM4000/TM4000Plus)
Назначение средства измерений:
Микроскопы сканирующие электронные Hitachi TM4000/TM4000Plus с приставкой для энергодисперсионного микроанализа (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров элементов микрорельефа и электроннозондового рентгеноспектрального качественного и количественного микроанализа состава образца.
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные с приставкой для энергодисперсионного микроанализа
Рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные с приставкой для энергодисперсионного микроанализа
Рисунок № 2
Общие сведения
Дата публикации - 05.01.2020
Срок свидетельства - 28.10.2024
Номер записи - 174818
ID в реестре СИ - 953373
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Микроскоп сканирующий электронный Hitachi TM4000Plus,
Производитель
Изготовитель - Фирма "HITACHI High-Technologies Corporation"
Страна - ЯПОНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Внимание!!
Отчет долго строится.
На первом этапе построения отчета необходимо выбрать одну из нескольких десятков областей СИ. Далее, в зависимости от выбранной области строятся три гистограммы и таблица по владельцам СИ и их поверкам.
На гистограммах владельцы СИ разбиты по группам в зависимости от количества поверок, приходящихся на их СИ. Графики дают наглядное представление о поверках и средствах измерений в зависимости от масштаба бизнеса владельца и специфики его деятельности. Для удобства отображения графики учитывают организации имеющие от 10 и более поверок.
Таблица отображает данные о наименовании владельца СИ, количестве поверок и количестве средств измерений у владельца в соответствии с выбранной областью измерений. Для ускорения генерации отчета в таблице приводятся данные о юридических лицах, имеющих 2 и более поверки.
Статистика
Кол-во поверок - 4
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 3
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№804 от 2012.09.26 Об утверждении государственных эталонов единиц величин (ФБУ "Саратовский ЦСМ им. Б.А.Дубовикова")
№2597 от 2019.10.28 Об утверждении типов средств измерений
Наличие аналогов СИ: Микроскопы сканирующие электронные с приставкой для энергодисперсионного микроанализа (Hitachi TM4000/TM4000Plus)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "HITACHI High-Technologies Corporation"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
48465-11 12.12.2016 |
Хроматографы жидкостные, LaChrom Elite Фирма "HITACHI High-Technologies Corporation" (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
76481-19 28.10.2024 |
Микроскопы сканирующие электронные с приставкой для энергодисперсионного микроанализа, Hitachi TM4000/TM4000Plus Фирма "HITACHI High-Technologies Corporation" (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
Кто поверяет Микроскопы сканирующие электронные с приставкой для энергодисперсионного микроанализа (Hitachi TM4000/TM4000Plus)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 4 | 0 | 3 | 0 | 3 | 0 | 3 |
Стоимость поверки Микроскопы сканирующие электронные с приставкой для энергодисперсионного микроанализа (Hitachi TM4000/TM4000Plus)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляют с помощью серверного компьютера, на котором установлено специализированное ПО TM4000 Tabletop Microscope. Управление работой приставки для энергодисперсионного микроанализа осуществляют с помощью серверного компьютера, на котором установлено специализированное ПО Esprit Compact.
Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «средний» по Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО микроскопа
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
TM4000 Tabletop Microscope |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 1.5 |
Таблица 2 - Идентификационные данные ПО приставки для энергодисперсионного микроанализа
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
Esprit Compact |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 2.1.1.17347 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации и на заднюю панель корпуса микроскопа.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационной документации.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам сканирующие электронные Hitachi TM4000/TM4000Plus с приставкой для энергодисперсионного микроанализа
ГОСТ Р 8.763-2011 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 140-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм
Техническая документация фирмы-изготовителя
Поверка
Поверкаосуществляется по документу 651-19-017 МП «Микроскопы сканирующие электронные Hitachi TM4000/TM4000Plus с приставкой для энергодисперсионного микроанализа. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИФТРИ» 15.01.2019 г.
Основные средства поверки:
-
- меры периода линейные TDG01 (рег. № 41679-09), номинальное значение шага шаговой структуры меры 0,278 мкм, допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры ±0,001 мкм, пределы допускаемой относительной погрешности при формировании периодической структуры ±0,03 %;
-
- меры периода и высоты линейные TGZ1 (рег. № 41678-09), номинальное значение шага шаговой структуры меры 3,00 мкм, допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры ±0,01 мкм;
-
- меры длины концевые плоскопараллельные Holex модификаций 480450 и 481050 (рег. 35997-07), мера с номинальным значением длины 3,0 мм (набор 480450 - 103), допускаемое отклонение от номинального значения длины ±0,20 мкм;
-
- стандартные образцы сталей легированных типов 12Х18Н9Т, 12Х18Н10Т, 17Х18Н9, 12Х18Н12Т (комплект СО ЛГ32 - ЛГ36), ГСО 4506-92П/4510-92П, интервал аттестованных значений массовой доли элементов от 0,002 до 21 %, интервал границ абсолютной погрешности аттестованных значений от ±0,0012 % до ±0,24 % при доверительной вероятности 0,95;
-
- стандартные образцы состава латуни оловянно-свинцовой ЛЦ25С2 (комплект М171), ГСО 6319-92/6323-92, интервал аттестованных значений массовой доли элементов от 0,045 % до 72,5 %, интервал границ абсолютной погрешности аттестованных значений от ±0,005 % до ± 0,7 % при доверительной вероятности 0,95.
Допускается применение других средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых микроскопов с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде наклейки .
Изготовитель
Фирма «Hitachi High-Technologies Corporation», Япония
Адрес: 24-14, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo, 105-8717, Japan
Телефон (факс): +81-3-3504-7111
Web-сайт: www.hitachi-hightech.com
E-mail: contact@hitachi-hightech.com
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «ИНТЕРЛАБ» (ООО «ИНТЕРЛАБ»)
ИНН 7743082052
Адрес: 143441, Московская область, Красногорский район, дер. Гаврилково,
ЭЖК Эдем, квартал V, д.12
Юридический адрес: 125212, г. Москва, ул. Адмирала Макарова, д. 21, кв. 33
Телефон (факс): +7 (495) 788-09-83/+7 (495) 755-77-61
Web-сайт: www.interlab.ru
E-mail: interlab@ interlab.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский
научно-исследовательский институт физико-технических и радиотехнических измерений» Адрес: 141570, Московская область, Солнечногорский р-н, р.п. Менделеево
Юридический адрес: 141570, Московская область, Солнечногорский р-н,
рабочий поселок Менделеево, промзона ВНИИФТРИ
Телефон (факс): +7 (495) 526-63-00
Web-сайт: www.vniiftri.ru
E-mail: office@vniiftri.ru
Принцип действия микроскопа основан на взаимодействии сфокусированного электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч по точкам сканирует участок поверхности исследуемого объекта, изображение которого формируется микроскопом. Каждая точка поверхности объекта в границах поля зрения микроскопа отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта одновременно возникает сразу несколько типов ответного сигнала и, в зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент используется, происходит формирование того или иного конкретного изображения.
Конструктивно микроскоп представляет собой стационарный лабораторный прибор, который состоит из основной консоли, включающей в себя электронно-оптическую колонну, камеру образцов и вакуумную систему, отдельного безмасляного форвакуумного насоса, а также управляющего компьютера с программным обеспечением (ПО). Микроскоп измеряет длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, то есть расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности.
Микроскопы выпускаются в двух модификациях Hitachi TM4000 и Hitachi TM4000Plus, которые отличаются тем, что модификация TM4000Plus оснащена дополнительным низковакуумным детектором вторичных электронов, который позволяет более эффективно исследовать поверхность образцов, имеющих низкий контраст в обратно-отраженных электронах.
Источником электронов является электронная пушка микроскопа с термо-эмиссионным вольфрамовым катодом. Микроскоп оборудован детекторами вторичных и отраженных электронов, позволяющими получать электронно-микроскопические изображения. Микроскоп оснащен моторизированным предметным столиком SEMover с двумя осями перемещения (X, Y), который предназначен для перемещения образца в микроскопе с помощью двух шаговых двигателей, смонтированных на передней панели камеры микроскопа. Вакуумная система микроскопа полностью автоматизирована и включает в себя безмасляный форвакуумный насос и турбо-молекулярный насос. Микроскоп работает в трёх операционных вакуумных режимах: высокого, среднего и низкого вакуума.
Управление микроскопом, его настройка и обработка данных измерений осуществляются с помощью серверного компьютера со специализированным ПО TM4000 Tabletop Microscope, подключаемым к блоку электроники. Все данные и изображения могут быть выведены на монитор серверного компьютера.
Дополнительно микроскоп может быть укомплектован приставкой для энергодисперсионного микроанализа Quantax 75 на базе безазотного (Пельтье-охлаждаемого) кремний-дрейфового детектора, которая позволяют проводить рентгеновское картирование, элементный анализ по линии и мультиэлементный анализ в точке. Принцип действия приставки для энергодисперсионного микроанализа основан на методе рентгеновского микроанализа, сущность которого заключается в возбуждении атомов анализируемого вещества электронным пучком (зондом) высокой энергии с одновременной регистрацией характеристического рентгеновского излучения атомов, входящих в состав этого вещества. Управление работой приставки для энергодисперсионного микроанализа, выбор режимов измерений и контроль параметров, обработка спектров и получение результатов измерений осуществляется с помощью компьютера под управлением ПО Esprit Compact.
Общий вид микроскопа и приставки для энергодисперсионного микроанализа представлен на рисунках 1 и 2.
Рисунок 2 - Приставка для энергодисперсионного микроанализа Quantax 7 5. Слева - детектор, справа - блок контроля сканирования
Таблица 5 - Комплектность микроскопа
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроскоп сканирующий электронный Hitachi TM4000/TM4000Plus с приставкой для энергодисперсионного микроанализа в составе: | ||
|
- микроскоп сканирующий электронный |
Hitachi TM4000 или Hitachi TM4000Plus* |
1 шт. |
|
- моторизованный столик образца |
SEMover |
1 шт. |
|
- приставка для энергодисперсионного микроанализа Quantax 75** |
- |
1 шт. |
|
Микроскоп сканирующий электронный Hitachi TM4000/TM4000Plus. Руководство по эксплуатации |
1 экз. | |
|
Приставка для энергодисперсионного микроанализа Quantax 75. Руководство по эксплуатации** |
1 экз. | |
|
Микроскопы сканирующие электронные Hitachi TM4000/TM4000Plus с приставкой для энергодисперсионного микроанализа. Методика поверки |
651-19-017 МП |
1 экз. |
|
* Модификация по согласованию с заказчиком ** Комплектация по согласованию с заказчиком | ||
Таблица 3 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 0,278 до 3000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
±5 |
|
Диапазон измерений массовой доли, % |
от 0,5 до 100 |
|
Энергетическое разрешение приставки для энергодисперсионного микроанализа на линии характеристического излучения Mn Ka1,2, эВ, не более |
129 |
|
Предел допускаемого СКО случайной составляющей относительной погрешности измерений массовой доли элементов в диапазоне, %: - от 0,5 до 1,5 % включ. |
20 |
|
- св. 1,5 до 10 % включ. |
15 |
|
- св.10 до 20 % включ. |
10 |
|
- св. 20 до 100 % включ. |
5 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений массовой доли элементов в диапазоне, %: - от 0,5 до 1,5 % включ. |
±40 |
|
- св. 1,5 до 10 % включ. |
±30 |
|
- св.10 до 20 % включ. |
±10 |
|
- св. 20 до 100 % включ. |
±5 |
Таблица 4 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон регулирования увеличения, крат |
от 10 до 100 000 |
|
Масса основной консоли, кг, не более |
60 |
|
Напряжение сети переменного тока, В |
от 198 до 242 |
|
Габаритные размеры основной консоли, мм, не более: - высота |
550 |
|
- ширина |
330 |
|
- длина |
620 |
|
Рабочие условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °C |
от +15 до +30 |
|
- относительная влажность окружающего воздуха, % |
от 20 до 70 |
|
- атмосферное давление, кПа |
от 84 до 106 |