Принцип действия микроскопов основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта в границах поля зрения микроскопа отображается сразу точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает несколько ответных сигналов. Микроскопы формируют конкретное изображение в зависимости от того, какой детектор сигнала (SE и inLens) включен на момент измерений.

Микроскопы измеряют длину проекции геометрических расстояний на горизонтальныю плоскость, а именно расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.

Конструктивно микроскопы состоят из камеры для образца, электроннооптической колонны, статического демпфера, насоса предварительного вакуумирования и персонального компьютера. Микроскопы серий GeminiSEM, Crossbeam и SIGMA в базовой комплектации включают два детектора вторичных электронов (SE и inLens), которые отличаются друг от друга геометрическим расположением внутри рабочего объема колонны микроскопа. Микроскопы серии EVO в базовой комплектации включают один детектор вторичных электронов (SE).

Микроскопы серии EVO - это микроскопы применяются для исследований и анализа, как на промышленных предприятиях, так и в научно-исследовательских лабораториях и позволяют автоматически получать изображения партий образцов.

Микроскопы серий GeminiSEM и SIGMA - это микроскопы с автоэмиссионным катодом. Микроскопы серии SIGMA имеют намного более стабильные значения токов пучка, что позволяет получать изображения непроводящих образцов без необходимости предварительной пробоподготовки. Микроскопы серии GeminiSEM имеют высокое разрешение при низком ускоряющем напряжении с возможностью проведения исследований в режиме переменного давления, что позволяет получать четкие изображения наноструктур, чувствительных к электронному пучку образцов.

Микроскопы серии Crossbeam - это система интеграции колонны сфокусированного ионного пучка, обеспечивающего структурирование в наномасштабе, с высокоразрешающей технологией растрового электронного микроскопа в единую рабочую станцию.

Микроскопы GeminiSEM выпускаются в модификациях GeminiSEM 300, GeminiSEM 450, GeminiSEM 500, которые отличаются размерами рабочей камеры.

Микроскопы Crossbeam выпускаются в модификациях Crossbeam 340, Crossbeam 350, Crossbeam 540, Crossbeam 550, Crossbeam 550L, которые отличаются наличием или отсутствием функции низкого вакуума и моделью колонны, маркировка L говорит о том, что размеры рабочей камеры увеличены.

Микроскопы EVO выпускаются в модификациях EVO 10, EVO 15, EVO 25, EVO 18, которые отличаются размерами рабочей камеры и столика.

Микроскопы SIGMA выпускаются в модификациях SIGMA 300, SIGMA 300VP, SIGMA 500, SIGMA 500 VP, которые отличаются размерами рабочей камеры, маркировка VP говорит о наличии функции низкого вакуума.

На корпус микроскопов устанавливается шильдик с указанием наименования изготовителя и заводского номера.

Общий вид микроскопов представлен на рисунках с 1 по 4. По заявлению владельца микроскопа или лица, представившего его на поверку, на корпус микроскопа наносится знак поверки (место нанесения указано на рисунках с 1 по 4).

Пломбирование микроскопов не предусмотрено.

Рисунок 1 - Общий вид микроскопов сканирующих электронных серий GeminiSEM с обозначением места нанесения знака поверки

Место нанесения маркировки

Рисунок 2 - Общий вид микроскопов сканирующих электронных серий Crossbeam с обозначением места нанесения знака поверки

Место нанесения маркировки

Рисунок 3 - Общий вид микроскопов сканирующих электронных серий EVO с обозначением места нанесения знака поверки

Место нанесения маркировки

Рисунок 4 - Общий вид микроскопов сканирующих электронных серий SIGMA с обозначением места нанесения знака поверки

Таблица 7 -

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Таблица 3 - Основные технические характеристики микроскопов серии GeminiSEM