Номер по Госреестру СИ: 75287-19
75287-19 Дифрактометр рентгеновский
(SmartLab)
Назначение средства измерений:
Дифрактометр рентгеновский SmartLab (далее - дифрактометр) предназначен для измерений параметров кристаллической решетки, качественного и количественного фазового состава кристаллических и поликристаллических тонких пленок, дисперсных систем и структур на их основе.
Программное обеспечение
Управление дифрактометром осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «SmartLab Guidance».
ПО «SmartLab Guidance» предназначено для управления прибором, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «SmartLab Guidance» не может быть использовано отдельно от прибора.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки) ПО |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
SmartLab Guidance |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
2.1.0.0 |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) | |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
- |
Уровень защиты ПО соответствует уровню «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Лист № 3 Всего листов 4
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель основного блока в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационной документации.Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к дифрактометру рентгеновскому SmartLabТехническая документация фирмы-изготовителя
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 75287-19 «Дифрактометр рентгеновский SmartLab. Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 11 декабря 2018 г.
Основные средства поверки:
- стандартный образец дифракционных свойств кристаллической решетки (оксид алюминия) ГСО 10475-2014.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого дифрактометра с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на лицевую панель прибора в виде наклейки, как показано на рисунке 1 и на свидетельстве о поверке.
Изготовитель
Фирма Rigaku Corporation, ЯпонияАдрес: 3-9-12, Matsubara-cho, Akishima-shi, Tokyo 196-8666, Japan
Тел./факс: 81-42-545-8111/81-42-544-9795
E-mail: info@rigaku.com
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «ФОТИС» (ООО «ФОТИС»)Адрес: 248033, г. Калуга, ул. Генерала Попова, д. 22, кв. 29
Тел./факс: +7 (910) 542-95-25
E-mail: derbnik@yandex.ru
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1
Тел./факс: +7 (495) 935-97-77
E-mail: nicpv@mail.ru
Принцип действия дифрактометра основан на дифракции рентгеновских лучей от атомных плоскостей кристаллической решетки исследуемого вещества в соответствии с законом Вульфа-Брегга.
Дифрактометр представляет собой многоцелевую автоматизированную стационарную систему. Конструктивно дифрактометр состоит из основного блока, системы охлаждения рентгеновкой трубки, понижающего трансформатора и управляющего персонального компьютера.
Основной блок состоит из рентгеновской трубки в защитном кожухе с анодом из меди, гониометра с предметным столиком, обеспечивающим трехмерное перемещение и вращение образца по азимутальному и полярному углам, высоковольтного источника питания рентгеновской трубки, блока регистрации рентгеновского излучения, дифрагированного от образца, блока электроники, системы управления прибором и блока обработки данных.
В дифрактометре реализовано собранное в одном узле запатентованное техническое решение «Cross Beam Optics», которое позволяет одновременное использование двух схем фокусировки: расходящегося (по Брэггу-Брентано) и параллельного пучка. Переключение на нужную геометрию осуществляется поворотом оптического модуля без перенастройки оптических компонентов. Установка и юстировка различных видов оптических систем
высокого разрешения полностью автоматизированы, в том числе в автоматическом режиме осуществляется юстировка по высоте исследуемого образца.
Фокусировка зондирующего квазипараллельного пучка осуществляется на основе щелей Ge(220) кристаллов-Для фокусировки
Гёбеля, регистрация
Соллера, а монохроматизация - при помощи
монохроматоров с двукратным и четырехкратным отражением. дифрагированного пучка используется многослойное зеркало осуществляется быстросчетным сцинтилляционным детектором.
Специализированное программное обеспечение дифрактометра «SmartLab Guidance» позволяет проводить качественный и количественный фазовый анализ, в том числе в тонкопленочных структурах и дисперсных системах, определять межплоскостные расстояния в кристаллах и кристаллических пленках, микро- и макронапряжения в тонкопленочных структурах.
Пломбирование дифрактометра не предусмотрено. Общий вид дифрактометра и место нанесения знака поверки приведены на рисунке 1.
Место нанесения знака поверки
Рисунок 1 - Общий вид дифрактометра рентгеновского SmartLab
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон измерений углов дифракции 29, градус |
от +20 до +160 |
Предел абсолютной погрешности измерений параметров кристаллической решетки в диапазоне от 0,3 до 1,5 нм, нм |
0,001 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон сканирования по углу 29, градус |
от -3 до +162 |
Минимальный угловой шаг сканирования, градус |
0,0001 |
Максимальная мощность генератора рентгеновского излучения, кВт |
3 |
Напряжение на рентгеновской трубке, кВ |
от 20 до 60 |
Ток рентгеновской трубки, мА |
от 2 до 60 |
Масса, кг, не более: - основной блок |
750 |
- система охлаждения рентгеновской трубки |
240 |
- понижающий трансформатор |
50 |
Габаритные размеры основных составных частей (ДхШ*В), мм, не более: - основной блок |
1200x1230x1930 |
- система охлаждения |
900x600x1250 |
- понижающий трансформатор |
350x460x480 |
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С |
от +18 до +22 |
-относительная влажность воздуха, %, не более |
70 |
Напряжение питания от трехфазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, В |
380±38 |
Потребляемая мощность, кВт, не более |
3 |