Сведения о средстве измерений: 74813-19 Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный

Номер по Госреестру СИ: 74813-19
74813-19 Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный
(ToF.SIMS 5-100)

Назначение средства измерений:
Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный ToF.SIMS 5-100 (далее - прибор) предназначен для измерений массы вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов. Прибор применяется для контроля дозы имплантации, измерений глубин p-n переходов, послойного и трёхмерного элементного анализа в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях.

сертификация программного обеспечения

Общие сведения

Дата публикации -
Срок свидетельства -
Номер записи -
ID в реестре СИ - 582758
Тип производства - единичное
Описание типа

Поверка

Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки

Модификации СИ

Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный TOF.SIMS 5-100,

Производитель

Изготовитель - Фирма "ION-TOF GmbH"
Страна - ГЕРМАНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да

Хабаровск - город в России, административный центр Хабаровского края. Один из крупнейших политических, образовательных и культурных центров Дальнего Востока России. Крупнейший город на Дальнем Востоке с населением 617 441 человек.

Расположен в центре пересечения международных железнодорожных и воздушных транспортных путей на правом берегу Амурской протоки и реки Амур на Среднеамурской низменности, недалеко от границы с Китаем (на катере от речного вокзала до ближайшего китайского города Фуюань около 65 км).

Экономика Хабаровского края диверсифицирована, базируется на развитом и многоотраслевом промышленном производстве, транспортном обслуживании основных грузопотоков. Ведущими отраслями хозяйственного комплекса края являются промышленность (24,6% валового регионального продукта), транспорт и связь (17,3%), торговля (13,9%). В промышленном производстве доля обрабатывающих отраслей составляет более 79%. Основными отраслями промышленности региона являются металлургия, машиностроение, энергетика, нефтепереработка, добыча - угля и руд цветных металлов и производство продуктов питания.

Отчет "Анализ рынка поверки в Хабаровске" предоставляет исчерпывающую информацию по деятельности организаций, аккредитованных в Национальной системе аккредитации на право поверки средств измерений в городе Хабаровск.

При проведении исследований были введены следующие ограничения:

  • в отчете присутствуют организации с первичными или периодическими поверками от 100 шт. с 2017 года и действующими аттестатами аккредитации на текущий год;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • место регистрации или осуществления деятельности организаций должно совпадать с выбранным городом;
  • топ типов СИ ограничен 500 позициями по каждой организации (сортировка по убыванию количества поверок);
  • топ типов СИ ограничен 100 позициями по каждой организации при поиске по видам измерений (сортировка по убыванию количества поверок).

Содержание отчета:

  • Список организаций-поверителей, осуществляющих поверку в городе Москва по данным ФСА и ФГИС АРШИН.
  • Объемы первичных и периодических поверок за период с 2017г. по н.в.
  • Информация о местах осуществления деятельности организаций-поверителей.
  • Доля рынка поверок в % среди всех организаций, исследуемого города (предоставление информации в графическом и табличном видах).
  • Детальный анализ по каждой из организации, работающей в выбранном городе.
  • Анализ деятельности в разрезе первичных, периодических поверок и видов измерений.
  • Количество поверок по типам СИ в динамике по годам.
  • Индикация импортных аналогов средств поверки (в соответствии с ПЕРЕЧЕНЕМ СИ ОТЕЧЕСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА, АНАЛОГИЧНЫХ СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ ИМПОРТНОГО ПРОИЗВОДСТВА от 09.2022г)
  • Индикация типов СИ по ПП РФ №250 от 20.04.2010 г.
  • Быстрый анализ контрагентов организаций-поверителей.
  • Анализ цен на поверку СИ по Фед. округу.

Стоимость 3 000 руб.

Статистика

Кол-во поверок - 2
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.

Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ

№833 от 2019.04.17 Об утверждении типов средств измерений

Наличие аналогов СИ: Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный (ToF.SIMS 5-100)

ИМПОРТНОЕ СИ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель

Все средства измерений Фирма "ION-TOF GmbH"

№ в реестре
cрок св-ва
Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
74813-19

Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный, ToF.SIMS 5-100
Фирма "ION-TOF GmbH" (ГЕРМАНИЯ )
ОТ
МП
1 год

Отчет "V_20. Поверка по организации в динамике по дням" полезен для оценки объёмов количества поверок, проводимых аккредитованной организацией. Отчет строится в динамике по дням и представлен тремя графиками. Графики являются интерактивными с возможностью масштабирования и экспорта в сторонние программы. В зависимости от выбранного графика приводятся объёмы поверок (все поверки, периодические поверки, извещения о непригодности) по дням, конкретной организации или группы организаций.

Для справки в шапке отчета приводится усредненная статистика по запросу:

  • максимальное количество поверок за день
  • среднее количество поверок в месяц и год
  • количество месяцев (в выбранном временном интервале)
  • количество годов (в выбранном временном интервале)
  • общее количество поверок за выбранный период

Для построения отчета необходимо предварительно сконфигурировать два параметра его отображения:
1- Выбрать интересующим временной интервал (в БД имеются данные начиная с 2010 г.)
2- Выбрать аккредитованную на поверку организацию (несколько организаций) из списка СИ (выпадающий список позволяет делать множественный выбор). Существование дубликатов организаций вызвано разницей в написании наименований и преобразовании форм собственности организаций за все время ведения федерального фонда. Для удобства выбора в скобках указано общее кол-во поверок в системе, приходящееся на конкретного поверителя.

Стоимость 200 руб. или по подписке

Кто поверяет Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный (ToF.SIMS 5-100)

Наименование организации Cтатус Поверенные модификации Кол-во поверок Поверок в 2024 году Первичных поверок Периодических поверок Извещений Для юриков Для юриков первичные Для юриков периодические
АО "НИЦПВ"
(RA.RU.311409)
  • Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный TOF.SIMS 5-100
  • 2 1 0 1 0 0 0 0

    Стоимость поверки Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный (ToF.SIMS 5-100)

    Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

    Программное обеспечение

    Управление прибором осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «SurfaceLab».

    ПО «SurfaceLab» предназначено для управления прибором, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «SurfaceLab» не может быть использовано отдельно от прибора.

    Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.

    Таблица 1 - Идентификационные данные ПО

    Идентификационные данные (признаки)

    Значение

    Идентификационное наименование ПО

    SurfaceLab

    Номер версии (идентификационный номер) ПО

    6.4.ХХХХХ

    Цифровой идентификатор ПО

    -

    Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.


    Знак утверждения типа

    Знак утверждения типа

    наносится на лицевую панель основного блока в виде наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.


    Сведения о методиках измерений

    Сведения о методиках (методах) измерений
    приведены в эксплуатационной документации.


    Нормативные и технические документы

    Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к масс-спектрометру времяпролетному вторично-ионному ToF.SIMS 5-100

    Техническая документация фирмы-изготовителя.

    Поверка

    Поверка

    осуществляется по документу МП 74813-19 «Масс-спектрометр времяпролетный вторичноионный ToF.SIMS 5-100. Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 25 октября 2018 г.

    Основные средства поверки:

    - стандартный образец карбида кремния типа КК (К9) ГСО 4302-88. Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого масс-спектрометра с требуемой точностью.

    Знак поверки наносится на лицевую панель прибора в виде наклейки, как показано на рисунке 1 и на свидетельстве о поверке.


    Изготовитель

    Фирма ION-TOF GmbH, Германия
    Адрес: Heisenbergstraee 15, 48149 Munster, Germany
    Тел./факс: +49(0)251-1622-100/+49(0)251-1622-199
    E-mail: sales@iontof.com

    Заявитель

    Общество с ограниченной ответственностью «ФОТИС» (ООО «ФОТИС»)
    Адрес: 248033, г. Калуга, ул. Генерала Попова, д. 22, кв. 29
    Тел./факс: +7 (910)-542-95-25
    E-mail: derbnik@yandex.ru

    Испытательный центр

    Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств
    поверхности и вакуума»
    Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1
    Тел./факс: +7 (495) 935-97-77
    E-mail: nicpv@mail.ru

    Принцип действия прибора основан на явлении вторичной эмиссии: испускании твердым телом ионов при облучении поверхности первичным ионным пучком. В результате взаимодействия первичного иона с энергией в несколько килоэлектронвольт с образцом возникает каскад атомных столкновений, некоторые из которых приводят к эмиссии из приповерхностных слоев как отдельных атомов, так и кластеров, состоящих из нескольких атомов. Определенная доля этих атомов в процессе эмиссии приобретает положительный или отрицательный заряд (вторичные ионы). Эти вторичные ионы несут в себе информацию об элементном и изотопном составе анализируемой области.

    Прибор использует принцип двух ионных пучков - синхронное чередование импульсных анализирующего и распыляющего пучков. Анализирующий пучок формируется жидкометаллической ионной пушкой с ионами Bi с очень низкой величиной тока (~1 пА), энергией 30 кэВ и очень короткими импульсами (длительностью менее 1 нс) с частотой повторения до 50 кГц. Для формирования распыляющего пучка используется сдвоенная ионная пушка с ионами О2+ и Cs+ с энергиями пучка от 200 эВ до 2 кэВ с возможностью варьирования в широких пределах угла падения ионного пучка.

    Измерение масс-спектра вторичных ионов осуществляется масс-анализатором времяпролетного типа с импульсным режимом работы. Масса вторичных ионов измеряется по времени их пролёта от распыляемого образца до детектора.

    В зависимости от поставленной задачи прибор может работать в следующих режимах:

    • - «Режим спектрометра». Используется для измерения масс-спектров поверхности и профилей распределения элементов по глубине. Отличается высоким разрешением по массе, но имеет невысокое латеральное разрешение.

    • -  «Режим изображения». Используется для получения сканирующих ионных изображений поверхности и карт трёхмерного распределения элементов. Отличается высоким латеральным разрешением, но имеет сниженное разрешение по массе.

    • - «Оптимальный режим изображения». За счет использования запатентованного пакетного режима первичного пучка сочетает высокое разрешение по массе с высоким латеральным разрешением.

    Прибор представляет собой автоматизированную многофункциональную измерительную систему. Прибор состоит из основного блока, включающего жидкометаллическую ионную пушку на основе сплава BiMn, сдвоенную распыляющую ионную пушку, рабочую камеру, времяпролетный масс-спектрометр, регистрирующую систему, вакуумную систему, систему управления, и рабочего стола с управляющим компьютером и блоком электроники.

    Внешний вид прибора и место нанесения знака поверки приведены на рисунке 1.

    Место нанесения знака

    Рисунок 1 - Внешний вид масс-спектрометра времяпролетного вторично-ионного

    ToF.SIMS 5-100

    Пломбирование прибора не предусмотрено.


    представлена в таблице 4.

    Таблица 4 -

    Наименование

    Обозначение

    Количество

    Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный

    ToF.SIMS 5-100

    -

    1 шт .

    Руководство по эксплуатации

    -

    1 экз.

    Методика поверки

    -

    1 экз.


    Таблица 2 - Метрологические характеристики

    Наименование характеристики

    Значение

    Масс-спектральное разрешение, не менее

    10000

    Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений массы положительных вторичных ионов, а.е.м.

    (Мном - номинальное значение массы соответствующего положительного вторичного иона, а.е.м.)

    ±(0,1+-Мном^10-3)

    Продолжение таблицы 2

    Наименование характеристики

    Значение

    Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений массы отрицательных вторичных ионов, а.е.м. (Мном - номинальное значение массы соответствующего отрицательного вторичного иона, а.е.м.)

    ±(0,1+-Мном^10-3)

    Таблица 3 - Основные технические характеристики

    Наименование характеристики

    Значение

    Максимальная энергия первичного пучка Bi+, кэВ

    30

    Максимальный ток первичного пучка Bi+ в режиме постоянного тока, нА, не менее

    30

    Ускоряющее напряжение первичных ионов цезия Cs , кВ

    от 0,2 до 2

    Максимальный ток ионов Cs+, нА, не менее: - энергия пучка 0,5 кВ

    40

    - энергия пучка 1 кВ

    75

    - энергия пучка 2 кВ

    150

    Ускоряющее напряжение первичных ионов кислорода О2+, кВ

    от 0,25до 2

    Максимальный ток ионов О2+, нА, не менее: - энергия пучка 0,5 кВ

    100

    - энергия пучка 1 кВ

    250

    - энергия пучка 2 кВ

    600

    Масса, кг, не более - основной блок

    900

    - рабочий стол с управляющим компьютером и блоком электроники

    300

    Габаритные размеры основных составных частей (ДххВ), мм, не более:

    - основной блок

    930х1820х2050

    - рабочий стол с управляющим компьютером и блоком электроники

    1650x1730x757

    Условия эксплуатации:

    - температура окружающей среды, °С

    от +18 до +22

    - относительная влажность воздуха, %

    от 20 до 80

    Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, В

    от 210 до 230

    Потребляемая мощность, не более, Вт

    3500


    Настройки внешнего вида
    Цветовая схема

    Ширина

    Левая панель