Принцип действия спектрометров-толщиномеров основан на энерогодисперсионном рентгенофлуоресцентном методе анализа. Химические элементы, присутствующие в анализируемом образце, излучают характеристические спектральные линии под действием высокоэнергетического излучения рентгеновской трубки. Вторичное рентгеновское излучение классифицируется по энергии излученных квантов с последующей регистрацией энергетического спектра. Специальное программное обеспечение позволяет рассчитать толщину и элементный состав покрытия.

Конструктивно спектрометры-толщиномеры выполнены в виде настольных приборов с отдельно устанавливаемым компьютером и включают в себя следующие основные составные части:

• -  корпус, служащий для размещения агрегатов спектрометров-толщиномеров, стабилизации аналитических условий и для защиты пользователя от излучения;

• - микрофокусная рентгеновская трубка с вольфрамовым анодом и бериллиевым окном для генерирования первичного излучения;

• - источник питания для обеспечения всех частей спектрометров-толщиномеров электроэнергией с определенными характеристиками;

• - видеокамера для визуального наведения измерителя на определяемую область;

• - детектор для регистрации вторичного спектра, излучаемого образцом;

• - измерительная камера с платформой для размещения исследуемого образца;

• - диафрагма (коллиматор) для ограничения пучка первичного рентгеновского излучения;

• -  первичные фильтры для оптимизации спектрального состава первичного рентгеновского излучения в расчете на конкретный образец и блокировки нежелательных компонентов спектра флуоресценции.

Спектрометры-толщиномеры выпускаются в следующих моделях XUL220, XULM240, XAN 250, XDL 210, XDL 220, XDL 230, XDL 240, XDLM 237, XDV-ц, которые отличаются конструкцией измерительной платформы, направлением первичного рентгеновского излучения, типом детектора. У моделей XUL220, XULM240, XDL 210, XDL 220, XDL 230, XDL 240, XDLM 237, XDV-ц первичное рентгеновское излучение поступает на исследуемый образец сверху, у моделей XUL220, XULM240, XAN 250 - снизу. Модели XAN 250, XDL 210, XDL 220, XDL 230, XULM240 имеют измерительную платформу с ручным управлением; модели XDL 240 и XDLM 237 - автоматизированную измерительную платформу. Модель XDV-ц оснащена программируемым измерительным столиком с удлиняемым держателем для образцов. Модели спектрометров-толщиномеров XUL220, XULM240, XDL 210, XDL 220, XDL 230, XDL 240, XDLM 237 оснащены пропорциональным счетчиком, модели XAN 250, XDV-ц - кремниевым дрейфовым детектором, который обладает более высоким разрешением, что позволяет увеличить количество анализируемых прибором элементов. Модель XDV-ц также оснащена улучшенной поликапиллярной рентгеновской оптикой, позволяющей фокусировать рентгеновские лучи на сверхмалых исследуемых поверхностях. Поликапиллярная оптика используется вместо магазина коллиматоров и позволяет регулировать площадь измерения, доводя ее до диаметра 20 мкм.

Общий вид спектрометров-толщиномеров с обозначением места нанесения знака поверки представлен на рисунках 1 - 6.

Пломбирование не предусмотрено.

Места нанесения маркировки

Место нанесения знака поверки

Рисунок 1 - Общий вид Спектрометров-толщиномеров рентгенофлуоресцентных

FISCHERSCOPE X-RAY модели XULM240

Рисунок 2 - Общий вид Спектрометров-толщиномеров рентгенофлуоресцентных

FISCHERSCOPE X-RAY модели XUL220

Место нанесения знака

поверки

Место нанесения

маркировки

Рисунок 3 - Общий вид Спектрометров-толщиномеров рентгенофлуоресцентных

FISCHERSCOPE X-RAY модели XDLM 237

Место нанесения знака

поверки

Рисунок 4 - Общий вид Спектрометров-толщиномеров рентгенофлуоресцентных

FISCHERSCOPE X-RAY модели XAN 250

Место нанесения знака поверки

Рисунок 5 - Общий вид Спектрометров-толщиномеров рентгенофлуоресцентных

FISCHERSCOPE X-RAY моделей XDL 210, XDL 220, XDL 230, XDL 240

Рисунок 6 - Общий вид Спектрометров-толщиномеров рентгенофлуоресцентных

FISCHERSCOPE X-RAY модели XDV-ц

Таблица 4 -

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Таблица 3 - Основные технические характеристики

Продолжение таблицы 3