Номер по Госреестру СИ: 72859-18
72859-18 Вакуумметры мембранно-емкостные
(CDG)
Назначение средства измерений:
Вакуумметры мембранно-емкостные CDG (далее по тексту - вакуумметры) предназначены для измерений абсолютного давления негорючих газов.
Вакуумметры могут применяться в качестве рабочих эталонов 2-го разряда по ГОСТ 8.107-81.
Внешний вид.
Вакуумметры мембранно-емкостные
Рисунок № 1
Внешний вид.
Вакуумметры мембранно-емкостные
Рисунок № 2
Программное обеспечение
Вакуумметры мембранно-емкостные CDG оснащены встроенным программным
обеспечением (далее - ПО). Его характеристики приведены в таблице 1.
Встроенное ПО (микропрограмма) - внутренняя программа микропроцессора для нормального функционирования вакуумметра по сбору, обработке и отображению результатов измерений, управления интерфейсом и т.д. ПО реализовано аппаратно и является метрологически значимым. Микропрограмма заносится в программируемое постоянное запоминающее устройство (ППЗУ) вакуумметра предприятием-изготовителем.
Уровень защиты встроенного ПО от преднамеренных и непреднамеренных изменений «средний» по Р 50.2.077-2014.
Влияние ПО учтено при нормировании метрологических характеристик вакуумметров мембранно-емкостных CDG.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
«VGC50Х Firmware» |
Номер версии (идентификационный номер) ПО* |
V1.00 |
* - номер версии ПО должен быть не ниже указанного в таблице |
Уровень защиты встроенного ПО от преднамеренных и непреднамеренных изменений «средний» по Р 50.2.077-2014. Влияние ПО учтено при нормировании метрологических характеристик вакуумметров мембранно-емкостных CDG.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится типографским способом на титульный лист паспорта, на корпус контроллера знак наклеивается.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к вакуумметрам мембранно-емкостным CDG
ГОСТ Р 8.840-2013 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1 - 1-106 Па
ГОСТ 8.107-81 ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне от 140"8 до Ы03 Па
МИ 140-89 «Рекомендация. ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки»
Техническая документация компании «INFICON AG», Лихтенштейн
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МИ 140-89 «Рекомендация. ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки».
Основные средства поверки:
Датчики давления мембранно-емкостные Баратрон 690А и 698А, регистрационный номер 31851-06;
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Изготовитель
Компания «INFICON AG», Лихтенштейн
Адрес: Alte Landstrasse 6, LI-9496 Balzers, Liechtenstein
Телефон: 423/3883111, факс: 423/3883700
Web-сайт: www.inficon.com
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «ЭмЭсЭйч Техно Москва»
(ООО «ЭмЭсЭйч Техно Москва»)
ИНН 7720730540
Адрес: 111024, г. Москва, ул. 2-ая Энтузиастов, д.5, корп.3
Телефон: +7 (495) 722-12-90, факс: +7 (495) 543-60-25
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно
исследовательский институт метрологии им. Д. И. Менделеева»
Адрес: 190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., 19
Телефон: +7 (812) 251-76-01, факс: +7 (812) 713-01-14
Web-сайт: www.vniim.ru
Принцип действия вакуумметров основан на зависимости между измеряемым давлением и изменением электрической емкости, вызванной упругой деформацией чувствительного элемента.
Конструктивно вакуумметр состоит из двух блоков - преобразователя абсолютного давления (далее - преобразователь) CDG025D или CDG045D и контроллера VGC50Х, соединенных кабелем.
Преобразователь подсоединяется непосредственно к вакуумной системе, измерительный сигнал от него передается по кабелю к контроллеру, где он обрабатывается и отображается на экране.
В преобразователях CDG045D, в отличии от преобразователей CDG025D, измерение давления производится при поддержании чувствительного элемента при постоянной температуре 45°C, что приводит к компенсации изменений в условиях окружающей среды и пониженному осаждению продуктов обработки и побочных продуктов, применяемых в процессе работы.
Контроллер VGC50Х выполнен в трех модификациях: VGC501- одноканальный, VGC502 - двухканальный, VGC503 - трехканальный.
Пломбирование вакуумметра мембранно-емкостного CDG не предусмотрено.
Внешний вид преобразователей приведен на рисунках 1-2, внешний вид контроллеров приведен на рисунке 3.
Рисунок 1 - Внешний вид Рисунок 2 - Внешний вид
преобразователей CDG025D преобразователей CDG045D
VGC501 VGC502 VGC503
Рисунок 3 - Внешний вид контроллеров VGC501, VGC502, VGC503
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Значение | |
CDG025D |
CDG045D | |
Диапазон измерений давления, Па |
от 0,001 до 10 |
от 0,01 до 13 |
от 0,001 до 13,3 |
от 0,01 до 33,3 | |
от 0,001 до 33,3 |
от 0,01 до 66,66 | |
от 0,01 до 100 |
от 0,01 до 133 | |
от 0,01 до 133 |
от 0,1 до 266,66 | |
от 0,1 до 1000 |
от 0,1 до 666,6 | |
от 0,1 до 1333 |
от 0,1 до 1333 | |
Пределы допускаемой основной | ||
относительной погрешности измерений давления, % |
±10 |
Таблица 3 — Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Значение | |||
CDG025D |
CDG045D | |||
Напряжение питания постоянного тока, В |
от 14 до 30 | |||
Потребляемая мощность, В • А, не более - преобразователя |
1 |
12*; 8** | ||
- контроллера | ||||
VGC501 |
45 | |||
VGC502 |
65 | |||
VGC503 |
90 | |||
Габаритные размеры, мм, не более преобразователя | ||||
- диаметр |
55 |
82 | ||
- высота |
73 |
115 | ||
контроллера VGC501 | ||||
- высота |
84 | |||
- ширина |
107 | |||
- длина |
204 | |||
контроллеров VGC502, VGC503 |
129 | |||
- высота |
107 | |||
- ширина |
204 | |||
- длина | ||||
Масса, кг, не более, -преобразователя |
0,4 |
0,9 | ||
-контроллера VGC501 VGC502 VGC503 |
0,9 1,1 1,2 |
Продолжение таблицы 3
Наименование характеристики |
Значение | |
CDG025D |
CDG045D | |
Условия эксплуатации:
|
от +15 до +35 |
от +15 до +35 |
80 от 84 до 106,7 | ||
Средний срок службы, лет |
10 | |
Средняя наработка на отказ, ч |
35000 | |
Примечания: * при нагревании; ** при рабочей температуре |