Номер по Госреестру СИ: 70152-18
70152-18 Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые
(HELIOT 900)
Назначение средства измерений:
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые HELIOT 900 (далее по тексту -течеискатели) предназначены для измерений потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости, заполнение гелием или смесью газов, содержащих гелий.
Внешний вид.
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые
Рисунок № 1
Внешний вид.
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые
Рисунок № 2
Программное обеспечение
Течеискатели имеют встроенное программное обеспечение (ПО), состоящее из двух частей: встроенного в течеискатель и встроенного в планшет.
ПО встроенное в течеискатель разработано изготовителем специально для управления работой вакуумной системы течеискателя (работой вакуумных насосов, клапанов) и масс-спектрометрического анализатора (определение чувствительности, настройка на пик гелия); автоматической диагностики состояния течеискателя; приема и обработки измерительной информации от модуля масс-спектрометрического анализатора; формирование выходных сигналов и передача их планшет. ПО встроенное в планшет, позволяет обрабатывать и отображать поступающую с течеискателя информацию, а так же задавать пользовательские настройки.
Идентификационные данные встроенного и автономного ПО представлены в таблице 1.
Информация о версиях ПО отображается на планшете при включении течеискателя, следующим образом: «SOFTWARE версия ПО течеискателя - версия ПО планшета».
Влияние встроенного ПО течеискателей учтено при нормировании метрологических характеристик. Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений течеискателей - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки) ПО |
Значение | |
Идентификационное наименование ПО |
HELIOT 900 | |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
течеискателя |
планшета |
не ниже 1.00 |
не ниже 037 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации и методом наклейки или иным методом на корпус течеискателя.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к течеискателям масс-спектрометрическим гелиевым HELIOT 900
ГОСТ 28517-90 Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеискания. Общие требования
ГОСТ Р 53177-2008 Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности
Техническая документация «Ulvac, Inc.», Япония
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 231-0044-2017 «Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые HELIOT 900. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 04.10.2017 г.
Основные средства поверки:
Государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме в диапазоне 10-12 - 1 Па^м3/с ГВЭТ 49-2-2006, СКО: в диапазоне от 10-12 до 10-9 Па^м3/с не более (0,1 - 0,015); в диапазоне свыше 10-9 до 1 Па^м3/с не более 0,015.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на корпус течеискателя, если это позволяют условия эксплуатации и (или) на свидетельство о поверке.
Изготовитель
«Ulvac, Inc.», Япония
Адрес: 2500 Hagisono, Chigasaki, Kanagawa 253-8543, Japan
Телефон: +81-467-89-2033
Web-сайт: www.ulvac.co.jp/en
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «Вактрон» (ООО «Вактрон») ИНН 7806527500
Адрес:197342, г. Санкт-Петербург, ул. Торжковская, д. 5, офис 2-009 Телефон: +8 (812) 989-04-49
E-mail: info@vactron.org
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева»Адрес: 190005, Санкт-Петербург, Московский пр., д.19
Телефон: (812) 251-76-01, факс: (812) 713-01-14
Web-сайт: www.vniim.ru
E-mail: info@vniim.ru
Течеискатель представляет собой высокочувствительный магнитный масс-спектрометр, настроенный на регистрацию потока пробного газа (гелия). Натекание (утечка) определяется потоком гелия, проникающего в испытуемый объём при вакуумных испытаниях, или вытекающего из испытуемого объёма при избыточном давлении в нём.
В корпусе течеискателя находятся масс-спектрометрический анализатор, настроенный на регистрацию ионов гелия в качестве пробного газа, вакуумная система в сборе, высоковакуумный насос. Подключение испытуемого объекта к вакуумной системе течеискателя осуществляется с помощью присоединительного фланца (испытательный порт), расположенного на верхней панели корпуса течеискателя. Молекулы газа, попадая в масс-спектрометр ионизируются ионным источником. Данные положительно заряженные частицы ускоряются в магнитном поле по окружности, радиус которой зависит от относительной атомной массы иона. При выборе в качестве пробного газа гелия (по умолчанию) только ионы гелия могут проходить через фильтр и достигать ионного коллектора, на котором измеряется поток ионов, в виде электрического сигнала.
Управление работой течеискателя и цифровой контроль результатов измерений осуществляется с помощью панели управления (планшета).
В течеискателях предусмотрены режимы измерений по входу течеискателя: «Высокая чувствительность», «Средняя чувствительность», «Низкая чувствительность», переключения между которыми осуществляются в автоматическом или в ручном режиме. Также в течеискателях реализован режим поиска течей способом щупа.
Течеискатели имеют 5 модификаций, отличающихся конструктивным исполнением, массой, габаритными размерами, скоростью форвакуумной откачки насосов, входящих в состав вакуумной системы течеискателя.
Модификации 901W1 и 901D2 оснащены встроенным пластинчато-роторным или спиральным безмасляным форвакуумным насосом соответственно. Модификации 901W1 и 901D2 могут быть оснащены тележкой. Модификация 904W2 дополнительно оснащена внешним пластинчато-роторным форвакуумным насосом и тележкой. Модификации 904D3 и 904D4 дополнительно оснащены внешним спиральным безмасляным форвакуумным насосом и тележкой.
Пломбировка корпуса течеискателя не предусмотрена.
Внешний вид и место нанесения знака поверки течеискателей приведены на рисунках 1 - 2.
Место знака
поверки
"И'Л..
Рисунок 2 - Внешний вид течеискателей
модификаций 904W2, 904D3 и 904D4
Рисунок 1 - Внешний вид течеискателей модификаций 901W1 и 901D2
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Значения | |||
901W1 |
901D2 | 904W2 |
904D3 |
904D4 | |
Диапазон измерений потока газа в вакууме по входу течеискателя, Па^м3/с* |
от 540-13 до 1 • |
10-2 | ||
Диапазон показаний потока газа в вакууме при работе способом щупа, Па^м3/с |
от 540-9 до 140-2 | |||
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % от измеряемой величины (где Онпи - значение нижнего предела измерений, - значение измеренного потока, Па^м3/с):
|
±(0,15 + Рнпи/Ризм>100 ±50 погрешность не нормируется | |||
* Производная единица величины потока газа в вакууме Па^м3/с образована в соответствии с п.5.2.1. ГОСТ 8.417-2002 на основании уравнения связи (измерений), полученного из уравнения состояния идеального газа. |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Значения | ||||||
901W1 |
901D2 |
904W2 |
904D3 |
904D4 | |||
Время установления выходного сигнала, мин, не более |
3 | ||||||
Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В |
220±22 | ||||||
- частота переменного тока, Гц |
50±1 | ||||||
Скорость форвакуумной откачки, м3/ч (л/мин) |
1,8(30) |
5,4(90) |
8,1(135) |
15(250) |
30(500) | ||
Скорость высоковакуумной откачки, м3/ч (л/мин) |
111,6(1860) | ||||||
Габаритные размеры, мм, не более | |||||||
- высота |
480 |
660 | |||||
- ширина |
320 |
444 | |||||
- длина |
505 |
991 | |||||
Масса, кг, не более |
33 |
37 |
77 |
74 |
96 | ||
Потребляемая мощность, В • А, не более |
600 |
500 |
1100 |
650 |
1150 | ||
Средняя наработка на отказ, ч |
15000 | ||||||
Средний срок службы, лет |
10 | ||||||
Условия эксплуатации: - диапазон рабочих температур | |||||||
окружающего воздуха, °С |
от +10 до +35 | ||||||
- относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более |
80 | ||||||
- атмосферное давление, кПа |
от 84 до 106,7 |