Номер по Госреестру СИ: 68915-17
68915-17 Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые
(серии MSE)
Назначение средства измерений:
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые серии MSE (далее по тексту -течеискатели) предназначены для измерений потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости, заполнение гелием или смесью газов, содержащих гелий.
Внешний вид.
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Течеискатели имеют встроенное программное обеспечение (ПО), разработанное изготовителем специально для решения задач измерения потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости или заполнение её гелием, либо смесью газов, содержащих гелий.
ПО служит для управления работой течеискателя. ПО выполняет следующие функции:
- управление работой вакуумной системы течеискателя (работой вакуумных насосов, клапанов) и масс-спектрометрического анализатора (определение чувствительности, настройка на пик гелия);
- прием и обработка измерительной информации от модуля масс-спектрометрического анализатора;
- формирование выходных сигналов, передача их на ЖК-дисплей течеискателя;
- автоматическая диагностика состояния течеискателя.
Идентификационные данные встроенного ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные встроенного ПО
Идентификационные данные (признаки) ПО |
Значение | ||||
Модификация течеискателя |
MSE-2200S |
MSE-2201S |
MSE-2203S |
MSE- 3200S |
MSE-4200S |
Идентификационное наименование ПО |
DLS-2000S | ||||
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 5.00A1 |
Информация о версии ПО доступна через меню прибора: номер версии отображается на дисплее течеискателя.
Влияние встроенного ПО течеискателей учтено при нормировании метрологических характеристик. Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений течеискателей - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации и методом наклейки или иным методом на корпус течеискателя.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к течеискателям масс-спектрометрическим гелиевым серии MSE
ГОСТ 28517-90 Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеискания. Общие требования
ГОСТ Р 53177-2008 Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности
Техническая документация Shimadzu Corporation, Япония
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 231-0043-2017 «Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые серии MSE. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 25.05.2017 г.
Основные средства поверки:
Государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме в диапазоне от 10-12 до 1 Па^м3/с ГВЭТ 49-2-2006, СКО: в диапазоне от 10-12 до 10-9 Па^м3/с не более (0,1 - 0,015); в диапазоне свыше 10-9 до 1 Па^м3/с не более 0,015.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на корпус течеискателя, если это позволяют условия эксплуатации и (или) на свидетельство о поверке.
Изготовитель
Shimadzu Corporation, Япония
Адрес: Nishinokyo-Kuwabara-cho, Nakagyo-ku, Kyoto 604-8511, Japan
Web-сайт: www.shimadzu.com
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «Современное вакуумное оборудование» (ООО «Современное вакуумное оборудование»)ИНН 7705965473
Адрес:115088, Москва, ул. Угрешская, д. 2, стр.22
Телефон: +7 (495) 663-30-39, факс:+7 (495) 663-30-67
Web-сайт: www.cryosystems.ru
E-mail: info@cryosystems.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева»Адрес: 190005, Санкт-Петербург, Московский пр., д.19
Телефон: (812) 251-76-01, факс: (812) 713-01-14
Web-сайт: www.vniim.ru
E-mail: info@vniim.ru
Течеискатель представляет собой высокочувствительный магнитный масс-спектрометр, настроенный на регистрацию потока пробного газа (гелия). Натекание (утечка) определяется потоком гелия, проникающего в испытуемый объём при вакуумных испытаниях, или вытекающего из испытуемого объёма при избыточном давлении в нём.
В корпусе течеискателя находятся масс-спектрометрический анализатор, настроенный на регистрацию ионов гелия в качестве пробного газа, вакуумная система в сборе, высоковакуумный насос. Подключение испытуемого объекта к вакуумной системе течеискателя осуществляется с помощью присоединительного фланца (испытательный порт), расположенного на верхней панели корпуса течеискателя. Молекулы газа, попадая в масс-спектрометр ионизируются ионным источником. Данные положительно заряженные частицы ускоряются в магнитном поле по окружности, радиус которой зависит от относительной атомной массы иона. При выборе массы гелия (по умолчанию) только ионы гелия могут проходить через фильтр и достигать ионного коллектора, на котором измеряется поток ионов, в виде электрического сигнала. При выборе другой массы, изменяется проводимость ионного фильтра на выбранный газ. Течеискатели настроены на регистрацию изотопа гелия 4He.
Управление работой течеискателя и цифровой контроль результатов измерений осуществляется с помощью панели управления, состоящей из ЖК-дисплея и пленочной клавиатуры.
Течеискатели могут применяться для обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости или заполнение её гелием, либо смесью газов, содержащих гелий.
В течеискателях предусмотрены режимы измерений по входу: «Точный тест», «Грубый тест» переключение между которыми осуществляется как в ручном, так и в автоматическом режиме. Также в течеискателях реализован режим поиска течей способом щупа.
Течеискатели имеют 5 модификаций, отличающиеся конструктивным исполнением, массой, габаритными размерами, скоростью форвакуумной откачки насосов, входящих в состав вакуумной системы течеискателя.
Модификация MSE-2200S является базовой. Модификация MSE-2203S дополнительно оснащена внешним форвакуумным насосом и тележкой. Модификация MSE-3200S и MSE-4200S могут быть дополнительно дооснащены форвакуумными насосами. Модификация MSE-2201S оснащена встроенным сухим форвакуумным насосом.
Пломбировка корпуса течеискателя не предусмотрена.
Внешний вид и место нанесения знака поверки течеискателей приведены на рисунках 1 - 3.
Место знака
поверки
Рисунок 2 - Внешний вид течеискателей модификаций MSE-2200S и MSE-2201S
Рисунок 1 - Внешний вид течеискателя модификации MSE-2203S
Рисунок 3 - Внешний вид течеискателей модификаций MSE-3200S и MSE-4200S
Таблица 2 - течеискателей
Наименование характеристики |
Значения |
MSE- MSE- MSE- MSE- MSE- 2200S 2201S 2203S 3200S 4200S | |
Диапазон измерений потока газа в вакууме по входу течеискателя, Па^м3/с* |
от 140-12 до 140-2 |
Диапазон показаний потока газа в вакууме по входу течеискателя, Па^м3/с* |
от 1 • 10-13 до 1 |
Диапазон показаний потока газа в вакууме при работе способом щупа, Па^м3/с |
от 1 •Ю-8 до 1 |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % от измеряемой величины (где Qmu -значение нижнего предела измерений, Qkjm - значение измеренного потока, Па^м3/с)
|
±(0,30 + Qнпи/Qизм)•100 ±50 |
* Производная единица величины потока газа в вакууме Па^м3/с образована в соответствии с п.5.2.1. ГОСТ 8.417-2002 на основании уравнения связи (измерений), полученного из уравнения состояния идеального газа. |
Таблица 3 - Основные технические характеристики течеискателей
Наименование характеристики |
Значения | ||||
MSE-2200S |
MSE-2201S |
MSE-2203S |
MSE-3200S |
MSE- 4200S | |
Время установления выходного сигнала, мин, не более |
10 | ||||
Питание от сети переменного тока - напряжение, В |
220±10 | ||||
- частота, Гц |
50±1 | ||||
Скорость форвакуумной откачки, м3/ч (л/мин) |
1,8(30) |
6,6(110) |
15(250) |
1,8(30) |
1,8(30) |
Габаритные размеры, мм, не более ширина |
280 |
280 |
340 |
600 |
600 |
высота |
508 |
575 |
980 |
1008 |
1008 |
глубина |
529 |
529 |
750 |
725 |
870 |
Масса, кг, не более |
45 |
58 |
100 |
170 |
240 |
Потребляемая мощность, В • А, не более |
660 | ||||
Средняя наработка до метрологического |
24000 | ||||
отказа, ч | |||||
Средний срок службы, лет |
8 | ||||
Условия эксплуатации: - диапазон рабочих температур | |||||
окружающего воздуха, °С |
от +8 до +38 | ||||
- относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более |
80 | ||||
- атмосферное давление, кПа |
от 84,0 до 106,7 |