Номер по Госреестру СИ: 66804-17
66804-17 Эллипсометр
(FILMTEK 2000 PAR-SE)
Назначение средства измерений:
Эллипсометр FilmTek 2000 PAR-SE (далее по тексту - эллипсометр) предназначен для измерения оптических характеристик (эллипсометрические углы Пси и Дельта) полупрозрачных пленок (полупроводниковые, диэлектрические, электрооптические, SOI или SOS материалы; многослойные, оптические антиотражающие покрытия; тонкие металлы; материалы планарных волноводов; стекло с покрытием; многослойные тонкопленочные структуры).
Внешний вид.
Эллипсометр
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 158296
ID в реестре СИ - 380696
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Эллипсометр FILMTEK 2000 PAR-SE, Нет модификации,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Scientific Computing International"
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Данный отчет будет полезен для оценки объёмов производства средств измерений по конкретному производителю. Отчет строится в динамике по годам и представлен тремя графиками и таблицей. В зависимости от выбранного графика приводятся объёмы поверок (все поверки, периодические поверки, извещения о непригодности) по годам, конкретному производителю или группе производителей. В конце отчета приводится таблица с обобщёнными данными с функцией поиска и сортировки по любой из колонок.
Для справки в шапке отчета приводится усредненная статистика по запросу:
- максимальное количество поверок за год
- среднее количество поверок в месяц
- среднее количество поверок в год
- количество месяцев (в выбранном временном интервале)
- количество годов (в выбранном временном интервале)
- общее количество поверок за выбранный период
Для построения отчета необходимо предварительно сконфигурировать два параметра его отображения:
1- Выбрать интересующим временной интервал (в БД имеются данные начиная с 2010 г.)
2- Выбрать производителя СИ или нескольких производителей одновременно (выпадающий список позволяет делать множественный выбор). Список производителей формируется из реестра утвержденных типов СИ ФГИС АРШИН. Существование дубликатов организаций вызвано разницей в написании наименований и преобразовании форм собственности организаций за все время ведения федерального фонда. Для удобства выбора в скобках указано общее кол-во поверок в системе, приходящееся на конкретного производителя.
Статистика
Кол-во поверок - 3
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 2
Кол-во средств измерений - 2
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№418 от 2017.03.01 Об утверждении типов СИ (66 позиций)
№713 от 2017.04.06 Об утверждении типов средств измерений
Наличие аналогов СИ: Эллипсометр (FILMTEK 2000 PAR-SE)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Кто поверяет Эллипсометр (FILMTEK 2000 PAR-SE)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | РСТ | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | ||
| ФГУП "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | РСТ | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ФГБУ "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 |
Стоимость поверки Эллипсометр (FILMTEK 2000 PAR-SE)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление процессом измерения в эллипсометре осуществляется с помощью специального программного обеспечения Film Tek SE. Программное обеспечение служит для настройки эллипсометра, проведения измерений, включая визуальный анализ экспериментальных данных, анализ и обработку полученных данных.
ПО имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью клавиатуры и мыши на персональном компьютере.
Программное обеспечение (ПО) имеет следующие идентификационные данные:
Таблица 1
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
Film Tek SE |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
87.3.3 и выше |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
|
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
- |
Программное обеспечение устанавливается в определенную директорию жесткого диска персонального компьютера. Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя, а также наличием пароля.
Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия-изготовителя с помощью специального оборудования.
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к эллипсометру FILMTEK 2000 PAR-SE
1 ГОСТ 8.605-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов»
2 Техническая документация фирмы «Scientific Computing International», США
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 059.М44-16 «Государственная система обеспечения единства измерений Эллипсометр FilmTek 2000PAR-SE. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 28 декабря 2016 г.
Основные средства поверки:
Государственный рабочий эталон 2-го разряда единиц эллипсометрических углов в диапазоне от 0 до 360° по углу Дельта и от 0 до 90° по углу Пси согласно ГОСТ 8.605-2011.
Таблица 4 - Основные метрологические характеристики
|
Тип и серийный номер пластины |
Значение эллипсометрических углов на длине волны 632.6 нм, градус | |
|
Пси |
Дельта | |
|
L118SW-100, №1108-4ECS |
11.60 |
149.52 |
|
L118SW-2000, №1108-21ECS |
29.40 |
274.96 |
Расширенная неопределенность измерений угла Пси - 0,05 градус.
Расширенная неопределенность измерений угла Дельта - 0,08 градус.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде наклейки или оттиска поверительного клейма.
Изготовитель
«Scientific Computing International», США
Адрес: 6355 Corte Del Abeto, Suite C-105, Carlsbad, CA 92011 USA
Тел: (760) 634-3822
Факс: (760) 634-3826
E-mail: info@sci-soft.com
Заявитель
ЗАО «СКАН»
ИНН 7729431400
119330, г. Москва, ул. Дружбы 10Б
Тел: (495) 739-50-05
Факс: (495) 234-00-36
E-mail : office@scanru.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Телефон: (495) 437-56-33, факс: 437-31-47
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Принцип действия эллипсометра основан на комбинировании двух методов исследования тонких пленок - спектральной эллипсометрии с вращающимся компенсатором и многоракурсной поляризационной рефлектометрии. Оба метода рефлектометрия и эллипсометрия основаны на регистрации изменений параметров света, прошедшего или отраженного от исследуемого объекта. В методе рефлектометрии регистрируются изменения интенсивности отраженного света, а в методе эллипсометрии - изменения поляризационных параметров света, которые называются эллипсометрическими углами Пси и Дельта.
В эллипсометре сбор данных проводится по трем измерительным каналам: -рефлектометрия (спектрофотометрия) при нормальном падении света на объект; -рефлектометрия поляризованного света при отражении под углом 70 градусов; -спектральная эллипсометрия под углом 70 градусов.
В состав средства измерений входят спектральный эллипсометр, источник света Hamamatsu L10290 с размером пятна от 25 до 300 мкм (при нормальном падении) и 2 мм (при падении под углом 70°), приборный столик с тефлоновым покрытием, цифровая камера CCD STC-620CC, роботизированная система загрузки пластин Brooks с автофокусировкой, 6 встроенных калибровочных эллипсометрических пластин (сер.№ 1 - 6), фильтровентиляционный модуль типа HEPA, 8'' SMIF порт, ПК с многоядерным процессором и операционной системой Windows 7 ™.
Общий вид автоматизированного аппаратного оборудования эллипсометра представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Общий вид автоматизированного аппаратного оборудования эллипсометра FILMTEK 2000 PAR-SE: 1 - Рефлектометр PAR нормального освещения объекта, 2 - плечо освещения объекта под углом 70°, 3 - плечо регистрации излучения, отраженного от объекта под углом 70 °, 4 - видеокамера с регулировкой увеличения для наблюдения области измерения объекта
Схема пломбировки от несанкционированного доступа, маркировка и обозначение места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2.
(BiT-
Рисунок 2 - Внешний вид оборудования эллипсометра FILMTEK 2000 PAR-SE: 1 - место нанесения знака поверки, 2 - маркировка, 3 - пломбировка от несанкционированного доступа
Таблица 3
|
Наименование |
Количество, шт |
|
Эллипсометр FilmTek 2000 Par-SE зав. N 140917 в составе: -Спектральный эллипсометр (RCE) (70°, 380 нм-900 нм) -Источник света Hamamatsu L10290 -Приборный столик с тефлоновым покрытием -Цифровая камера CCD STC-620CC -Роботизированная система загрузки пластин Brooks -Фильтро-вентиляционный модуль (ФВМ) типа HEPA -8'' SMIF порт |
1 |
|
Встраиваемые калибровочные эллипсометрические пластины:
|
6 |
|
Персональный компьютер |
1 |
|
Методика поверки |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
1 |
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Метрологические характеристики | |
|
Диапазон измерения величины эллипсометрических углов, градус: -Пси -Дельта |
от 0 до 90 от 0 до 360 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения величин эллипсометрических углов, градус: -Пси -Дельта |
±0,2 ±0,3 |
|
Технические характеристики | |
|
Спектральный диапазон показаний, нм |
от 200 до 1700 |
|
Диапазон показаний толщин, мкм |
от 0,0001 до 150 |
|
Габаритные размеры, мм, не более |
1651x1397x1854 |
|
Электропитание осуществляется от сети переменного тока с напряжением, В частотой, Гц |
От 210 до 230 50/60 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
2,2 |
|
Условия эксплуатации: Температура окружающей среды, °С Относительная влажность, не более % |
от +15 до +35 80 |