Номер по Госреестру СИ: 59432-14
59432-14 Стенды измерительные для СБИС
(Verigy V93000 Pin Scale 1600)
Назначение средства измерений:
Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 предназначены для контроля и измерения вольт-амперных параметров сверхбольших интегральных схем (СБИС) на пластине и в корпусе при разработке, испытаниях, производстве и эксплуатации изделий электронной техники в ЗАО «ПКК Миландр», г. Москва, Зеленоград.
Внешний вид.
Стенды измерительные для СБИС
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 150187
ID в реестре СИ - 372587
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
V93000 Pin Scale 1600,
Производитель
Изготовитель - Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen"
Страна - ГЕРМАНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
CREATE TABLE `foei_poverka` (`poverka_id` int(11) NOT NULL, `poverka_row` text NOT NULL) ENGINE=InnoDB DEFAULT CHARSET=utf8 ROW_FORMAT=COMPRESSED;
poverka_id - порядковый номер поверки в ФГИС АРШИН
poverka_row - данные о поверке в формате json
Данные в колонке poverka_row хранятся в HEX виде и для получения рабочего массива json их необходимо преобразовать из HEX в строку, приведенной ниже функцией.
function hexToStr($hex){
$string='';
for ($i=0; $i < strlen($hex)-1; $i+=2){
$string .= chr(hexdec($hex[$i].$hex[$i+1]));
}
return $string;
}
$arr =json_decode($homepage, true);
В случае, если архив дамп MySQL имеет приставку _bin, для преобразования следует использовать стандартную функцию hex2bin(), которая преобразует шестнадцатеричные данные в двоичные.
В разработке
Статистика
Кол-во поверок - 30
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 11
Кол-во средств измерений - 0
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№2071 от 2014.12.19 Об утверждении типов средств измерений (ГР 59369-14 - 59448-14)
№2765 от 2022.11.02 О закреплении документов национальной системы стандартизации за техническим комитетом по стандартизации "Дорожное хозяйство" (ТК 418)
Наличие аналогов СИ: Стенды измерительные для СБИС (Verigy V93000 Pin Scale 1600)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
59432-14 |
Стенды измерительные для СБИС, Verigy V93000 Pin Scale 1600 Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
65576-16 |
Стенд измерительный для СБИС, Verigy V93000 Pin Scale 1600 Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
77683-20 |
Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем, V93000 Pin Scale 1600/CTH Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
Кто поверяет Стенды измерительные для СБИС (Verigy V93000 Pin Scale 1600)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "АКТИ-МАСТЕР" (RA.RU.311666) | 15 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| АО "АКТИ-МАСТЕР" (RA.RU.311666) | 15 | 0 | 11 | 0 | 11 | 0 | 11 |
Стоимость поверки Стенды измерительные для СБИС (Verigy V93000 Pin Scale 1600)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Программное обеспечение выполняет функции создания, редактирования параметров функционального контроля, задания параметров параметрических измерений, источников питания, универсальных каналов и других устройств стенда, а также обработку и документирование измерительной информации.
Общие сведения о программном обеспечении приведены в таблице ниже.
|
уровень защиты (класс риска) идентификационное наименование идентификационный номер версии |
«низкий» по Р50.2.077-2014 (класс А по WELMEC 7.2) SmarTest 7.1.4.12 и выше |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типаЗнак утверждения типа наносится на панель корпуса измерительного головного блока в виде наклейки, и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Методы измерений изложены в разделе 3 руководства по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к стендам измерительным для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600
ГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
ГОСТ 8.027-2001. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.
ГОСТ 8.022-91. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1 •IO-16 30 А.
ГОСТ 8.129-2013. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений времени и частоты.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений
Выполнение работ по оценке соответствия продукции и иных объектов обязательным требованиям в соответствии с законодательством Российской Федерации о техническом регулировании.
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 076/551-2014 «Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600», утвержденному ГЦИ СИ ФБУ «Ростест-Москва» 28.10.2014 г.
Средства поверки
|
наименование |
метрологические характеристики |
|
частотомер электронносчетный Agilent 53132А с опциями 012 и 030 |
абсолютная погрешность измерения периода Т в диапазоне от 0,33 нс до 10 с не более ± 4- 10"9-Т |
|
осциллограф цифровой Tektronix DPO7254 с пробником Р6158А |
абсолютная погрешность измерения временных интервалов Т при частоте дискретизации 10 ГГц не более ± (3,5А0’6-Т + 6 пс) |
|
мультиметр цифровой Keithley 2000 |
абсолютная погрешность измерения напряжения U на пределах 10 В не более ± (3-10’5-U + 50 мкВ) 100 В не более ± (4,5-10’5-U + 0,6 мВ) |
|
калибратор-мультиметр цифровой Keithley 2420 |
абсолютная погрешность воспроизведения напряжения U на пределе 20 В не более ± (2 - 10’4 U + 2,4 мВ) |
|
абсолютная погрешность измерения силы тока I на пределах 10 мкА не более ± (3,340’44 + 0,7 нА) 100 мкА не более ± (3,140’44 + 6 нА) 1 мА не более ± (3,4^ 10’44 + 60 нА) 100 мА не более ± (6,6-10'41 + 6 мкА) | |
|
абсолютная погрешность воспроизведения силы тока I на пределах 10 мкА не более ± (3,3А0’44 + 2 нА) 100 мкА не более ± (3,140’44 + 20 нА) 1 мА не более ± (3,4А0’44 + 200 нА) 100 мА не более ± (6,6А0’44 + 20 мкА) | |
|
мультиметр Agilent 3458А |
абсолютная погрешность измерения силы тока I на пределах 10 мкА не более ± (1040’64 + 7 пА) 100 мкА не более ± (10^ 10’64 + 0,6 нА) 1 мА не более ± (1040’64 + 4 нА) 10 мА не более ± (1040’64 + 40 нА) 1 А не более ± (10-10’5-I + 10 мкА) |
|
калибратор-измеритель напряжения и силы тока Keithley 2651А |
абсолютная погрешность воспроизведения силы тока I в режиме электронной нагрузки при напряжении до 20 В на пределах 5 А не более ± (840’44 + 3,5 мА) 10 А не более ± (1,5-10’3-I + 6 мА) |
|
калибратор универсальный Fluke 9100 |
абсолютная погрешность установки силы тока I на пределах 320 мА не более ± (1,6-10’44 + 9,6 мкА) 3,2 А не более ± (6^ 10’44 + 118 мкА) 10,5 А не более ± (5,5-10’4-I + 0,94 мА) |
Изготовитель
Компания “Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen”, Германия;
Herrenberger Strasse 130, 71034, Boeblingen, Germany
Заявитель
ЗАО «АКТИ-Мастер», г. Москва; 127254, Москва, Огородный проезд, д. 5, стр. 5; тел./факс (495)926-71-85
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений Федеральное бюджетное учреждение «Государственный региональный центр стандартизации, метрологии и испытаний в Москве» (ГЦИ СИ ФБУ «Ростест-Москва»),117418 Москва, Нахимовский пр., 31; тел. (499)129-19-11, факс (499)129-99-96
Принцип работы стендов измерительных для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 основан на методах функционального и параметрического контроля.
Для проведения функционального контроля на измеряемую микросхему подается входной набор сигналов, при этом выходной набор сигналов от объекта контроля сравнивается с ожидаемым набором сигналов. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности или алгоритмическим генератором тестов и драйверами универсальных измерительных каналов Pin Scale 1600 (PS1600) в соответствии с заранее определенной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется компараторами универсальных измерительных каналов PS1600 в цифровой код, и производится его сравнение с ожидаемыми данными, с отображением результатов контроля.
Для проведения параметрического контроля используются источники-измерители и измерительные источники питания, при этом на объект подается заданное значение постоянного напряжения (силы тока), и измеряется соответствующее значение силы постоянного тока (напряжения).
Методы параметрического и функционального контроля реализуются с помощью программы, создаваемой пользователем для каждого тестируемого объекта. Создание и вызов программы контроля производятся средствами специализированного пакета программного обеспечения, входящего в комплект поставки.
В режиме функционального контроля каждый из измерительных каналов выполняет измерения параметров СБИС в определенной тестовой последовательности. Максимальная частота смены векторов тестовой последовательности (ТП) 533 Мбит/с может быть повышена до 1600 Мбит/с путем задания на минимальную длительность вектора 2,5 нс до 8 временных меток, формирующих до 4 выходных импульсов драйвера канала, и до 8 временных меток, формирующих 8 стробирующих импульсов компараторов канала. Максимальная длина тестовой последовательности составляет 112 Мбайт векторов в линейном режиме. Во всем диапазоне частот каждый канал может быть сконфигурирован в режимы: формирование тестовой последовательности, контроль ожидаемых состояний, двунаправленный режим. В двунаправленном режиме каждый канал может переключаться из режима формирования воздействий в режим контроля и обратно в любых векторах тестовой последовательности. Для формирования тестовой последовательности в виде импульсов с регулируемыми параметрами на входе объекта контроля используется драйвер канала. Параметры тестовой последовательности по амплитуде, положению фронтов и спадов выходных импульсов на оси времени внутри вектора тестовой последовательности задаются независимо по каждому каналу. Амплитуда импульса определяется значениями напряжения двух уровней драйвера: верхним уровнем и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов импульса определяется временными метками, общим количеством до 8. Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов используются компараторы. Параметры компараторов (верхний и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо по каждому каналу.
Временные интервалы контроля уровней напряжения определяются метками (общим количеством до 8), формирующими стробирующие импульсы компаратора. Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по силе тока, уровням напряжения переключения полярности тока, и режимы работы задаются независимо по каждому каналу. При работе в динамическом режиме активная нагрузка автоматически отключается при переходе канала в режим формирования тестовой последовательности, и включается в режиме контроля. В статическом режиме активная нагрузка включена постоянно. Динамический режим применяется для каналов, сконфигурированных в двунаправленный режим. Статический режим применяется только для каналов, сконфигурированных в режим контроля.
В режиме параметрических измерений используется источник-измеритель PMU или прецизионный источник-измеритель HPPMU в режиме воспроизведения напряжения и измерения силы тока, или в режиме воспроизведения силы тока и измерения напряжения. Параметры источника-измерителя задаются независимо по каждому каналу.
Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначены измерительные источники питания MS DPS (E9711A/B) и DCS DPS32 (E8013CS).
Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 выполнены в виде измерительного головного блока, манипулятора, вспомогательной стойки, установки водяного охлаждения, и управляющей ПЭВМ. На верхнюю панель измерительного блока устанавливается измерительная оснастка с объектом контроля, или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой. В конструкции измерительного головного блока отсутствуют элементы подстройки и регулировки на панелях блока. Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 имеют два варианта исполнения измерительного головного блока: ATH (A-test head) и CTH (Compact test head). Внешний вид стендов измерительных для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 в исполнениях ATH и CTH представлен на рисунке ниже.
Внешний вид стенда измерительного для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600
В состав измерительного головного блока в зависимости от варианта исполнения входят следующие основные части:
- универсальные 128-ми канальные измерительные платы PS1600, максимальное количество 8 и 16 шт., всего до 1024 и 2048 универсальных измерительных каналов соответственно для вариантов исполнения АТН и СТН (каждый канал включает: драйвер, два компаратора, активную нагрузку, память векторов, средства управления тестовой последовательностью, источник-измеритель PMU; на каналах 1, 17, 33, 49, 65, 81, 97 и 113 имеются высоковольтный драйвер и два высоковольтных компаратора; также для каждых 16 каналов имеется общий АЦП BADC с большим входным сопротивлением, предназначенный для точного измерения напряжения);
-
- одноканальные платы прецизионных источников-измерителей напряжения и силы тока HPPMU, максимальное количество 1 и 2 шт. соответственно для вариантов исполнения АТН и СТН;
-
- платы источников питания MS DPS (E9711A/B) в зависимости от конфигурации 4-х или 8-ми канальные, максимальное количество 1 и 2 шт. соответственно для вариантов исполнения АТН и СТН;
-
- платы источников питания DCS DPS32 (E8013CS) 32-х канальные, максимальное количество 8 и 16 шт. соответственно для вариантов исполнения АТН и СТН.
По условиям эксплуатации стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 соответствует группе 2 ГОСТ 22261-94 с рабочим диапазоном температур от 20 до 30 оС.
|
наименование и вариант исполнения |
обозначение |
кол-во |
|
измерительный головной блок АТН СТН |
E8015A зав. № MY04600968 118014АjaB” \|\'()4600777............ |
1 шт. 1 шт. |
|
манипулятор | ||
|
АТН |
E6979UC |
1 шт. |
|
СТН |
E6979LC |
1 шт. |
|
установка водяного охлаждения | ||
|
ATH |
E2760FU |
1 шт. |
|
СТН |
E2760FAL |
1 шт. |
|
программа управляющая |
SmarTest |
1 шт. |
|
компьютер |
HP xw4100 |
1 шт. |
|
Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600. Руководство по эксплуатации |
1 шт. | |
|
методика поверки |
МП 076/551-2014 |
1 шт. |
|
программа для поверки | ||
|
АТН |
PR POV 968 |
1 шт. |
|
СТН |
PRPOV777 |
1 шт. |
|
комплект оснастки для поверки в составе | ||
|
устройство согласования |
ТСКЯ.418133.251 (Вер.2) |
1 шт. |
|
устройство согласования устройство согласования устройство согласования |
ТСКЯ.418133.253 ТСКЯ.418133.254 (Вер. 1) тск>| 418133 256 (Вер ............................ |
1 шт. |
|
1 шт. | ||
|
1 шт. | ||
|
плата коммутационная |
Е7010Е |
1 шт. |
|
шлюз LAN/GPIB |
Agilent Е5810А |
1 шт. |
|
диапазон установки длительности Т вектора тестовой последовательности |
от 2,5 до 31250 нс |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности установки длительности Т вектора тестовой последовательности, нс |
± 1540’^Т |
|
диапазон установки временных меток формирования выходных импульсов D1-D8, стробирующих импульсов R1-R8, нс |
от минус 4-Т до + 12^Т |
|
крайние значения временных меток |
минус 6,3 мкс; + 19 мкс |
|
разрешение временных меток |
1 пс |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток D1-D8 и R1-R8 |
± 150 пс |
|
максимальная длительность фронта (спада) выходных импульсов д |
эайвера |
|
при амплитуде 1,0 В (по уровням 10 и 90 %) |
0,6 нс |
|
при амплитуде 1,8 В (по уровням 10 и 90 %) |
0,7 нс |
|
при амплитуде 3,0 В (по уровням 10 и 90 %) |
0,8 нс |
|
минимальная длительность выходных импульсов драйвера | |
|
при амплитуде 1,0 В |
0,7 нс |
|
при амплитуде 1,8 В |
0,8 нс |
|
при амплитуде 3,0 В |
0,9 нс |
|
максимальная длительность фронта выходных импульсов высоковольтного драйвера | |
|
при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
9 нс |
|
при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
250 нс |
|
максимальная длительность спада выходных импульсов высоковольтного драйвера | |
|
при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
10,5 нс |
|
при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
30 нс |
|
диапазон воспроизводимых уровней напряжения драйвера |
от минус 1,5 до + 6,5 В |
|
разрешение уровней напряжения драйвера |
1 мВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения драйвера |
± 5 мВ |
|
выходное сопротивление драйвера |
от 47,5 до 52,5 Ом |
|
диапазон воспроизводимых уровней напряжения высоковольтного драйвера | |
|
диапазон VIL/VIH |
от 0,0 до + 6,5 В |
|
диапазон VHH |
от + 6,0 до + 13,4 В |
|
разрешение уровней напряжения высоковольтного драйвера |
1 мВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения высоковольтного драйвера |
± 15 мВ |
|
выходное сопротивление высоковольтного драйвера | |
|
при уровнях напряжения от 0 до 6,5 В |
от 45 до 55 Ом |
|
при уровнях напряжения от 6 до 13,4 В |
максимум 10 Ом |
|
диапазон установки уровней напряжения компаратора и допустимых уровней напряжения на входах компаратора |
от минус 1,5 до + 6,5 В |
|
разрешение уровней напряжения компаратора |
1 мВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения компаратором |
± 15 мВ |
|
диапазон установки уровней напряжения высоковольтного компаратора и допустимых уровней напряжения на входах высоковольтного компаратора |
от минус 3,0 до + 13,4 В |
|
разрешение уровней напряжения высоковольтного компаратора |
1 мВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения высоковольтным компаратором | |
|
при уровнях напряжения от 0 до 8 В |
± 20 мВ |
|
при уровнях напряжения от минус 3,0 до 13,4 В |
± 50 мВ |
|
диапазон допустимых уровней напряжения на входах дифференциального компаратора |
от минус 1,5 до + 6,5 В |
|
диапазон установки уровней напряжения дифференциального компаратора |
от минус 1,0 до + 1,0 В |
|
разрешение уровней напряжения дифференциального компаратора |
1 мВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения дифференциальным компаратором |
± 15 мВ |
|
диапазон воспроизведения силы тока I активной нагрузки (суммарный ток каналов платы PS 1600 не более 1,6 А) |
от минус 25 до + 25 мА |
|
разрешение силы тока активной нагрузки |
12,5 мкА |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы тока I активной нагрузки, мкА |
± (140-2 •I + 75 мкА) |
|
диапазон напряжения переключения, изменяющего направление тока в нагрузке, В | |
|
при силе тока в пределах ± 1 мА |
от минус 1,5 до + 6,5 В |
|
при силе тока в пределах ± 25 мА |
от минус 1,0 до + 5,5 В |
|
пределы воспроизведения и измерения напряжения U источником-измерителем PMU | |
|
при силе тока в пределах ± 1 мА |
от минус 2,0 до + 6,5 В |
|
при силе тока в пределах ± 40 мА |
от минус 2,0 до + 5,75 В |
|
разрешение воспроизведения напряжения PMU |
200 мкВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения источником-измерителем PMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА |
± (3 мВ + I'R), R = 1 Ом |
|
разрешение измерения напряжения PMU |
75 мкВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения U источником- | |
|
измерителем PMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА | |
|
в диапазоне от минус 2,0 до + 6,5 В |
± (4 мВ + I'R), R — 1 Ом |
|
в диапазоне от 0,0 до + 3,3 В |
± (2 мВ + I'R), R = 1 Ом |
|
пределы воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем PMU (суммарная сила тока каналов платы PS 1600 не более 1,6 А) |
2; 10; 100 мкА; 1; 40 мА |
|
разрешение воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем PMU | |
|
на пределе 2 мкА |
1 нА |
|
на пределе 10 мкА |
5 нА |
|
на пределе 100 мкА |
50 нА |
|
на пределе 1 мА |
0,5 мкА |
|
на пределе 40 мА |
20 мкА |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы тока I | |
|
источником-измерителем PMU, нА (мкА) | |
|
на пределе 2 мкА |
1 (5 10’3 1 1 40 нА) |
|
на пределе 10 мкА |
: (5 |()-' | . юо нА) |
|
на пределе 100 мкА |
; (510’31 • 500 нЛ) |
|
на пределе 1 мА |
: (5 10-'1 • 5 мкА) |
|
на пределе 40 мА |
1 (5 10’3 I 1 50 мкА) |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I | |
|
источником-измерителем PMU, нА (мкА) | |
|
на пределе 2 мкА |
1 (5 IO’3 I 1 10 нА) |
|
на пределе 10 мкА |
1 (5 И)’3 I I 50 нА) |
|
на пределе 100 мкА |
1 (5 Ю’3 1 1 200 нА) |
|
на пределе 1 мА |
: (510’31 • 1.25 мкА) |
|
на пределе 40 мА |
: (510’31 • 50 мкА) |
|
пределы измерения напряжения АЦП BADC | |
|
в стандартном режиме |
от минус 3,0 до + 8,0 В |
|
в высоковольтном режиме |
от минус 6,0 до + 13,4 В |
|
разрешение измерения напряжения АЦП BADC | |
|
в стандартном режиме |
75 мкВ |
|
в высоковольтном режиме |
150 мкВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения АПП BADC | |
|
в стандартном режиме |
± 1 мВ |
|
в высоковольтном режиме |
± 10 мВ |
|
входное сопротивление АЦП BADC |
более 100 МОм |
|
пределы воспроизведения и измерения напряжения U прецизионным источником-измерителем | |
|
HPPMU | |
|
подключение через плату PSI600 |
от минус 1,5 до + 6 В |
|
подключение через разъем UTILITY pogo block |
от минус 5 до + 8 В |
|
разрешение воспроизведения и измерения напряжения HPPMU |
250 мкВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения напряжения источником-измерителем HPPMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА | |
|
подключение через плату PS1600 |
± (2 мВ + I R), R — 1 Ом |
|
подключение через разъем UTILITY pogo block |
± 2 мВ |
|
пределы воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем HPPMU |
5; 200 мкА; 5; 200 мА |
|
разрешение воспроизведения и измерения силы тока I источником-на пределе 5 мкА на пределе 200 мкА |
измерителем HPPMU .....250 нА............................................................................................................ 6 и А |
|
на пределе 5 мА |
250 нА |
|
на пределе 200 мА |
6 мкА |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем HPPMU, нА (мкА) | |
|
на пределе 5 мкА | |
|
при подключении через плату PS1600 |
1 (1 10’3 1 1 50 нА) |
|
при подключении через разъем UTILITY pogo block |
: (110’'1 • 10 нА) |
|
на пределе 200 мкА |
; (I IO’' I • 200 нА) |
|
на пределе 5 мА |
I (1 10’3 1 I 10 мкА) |
|
на пределе 200 мА |
; (I IO’' I • 200 мкА) |
|
пределы воспроизведения напряжения U измерительным источником питания MS DPS |
от минус 8 до + 8 В |
|
разрешение воспроизведения напряжения MS DPS |
300 мкВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения U, мВ, измерительным источником питания MS DPS при силе тока нагрузки I, А | |
|
в 4-х канальном режиме |
± (1-10-U + 4 мВ + UR), R = 4 мОм |
|
в 8-ми канальном режиме |
: (1 Ю 'т: 2 мВ 1 R). R = 4 мОм |
|
максимальная сила тока в нагрузке MS DPS в 4-х канальном режим при воспроизведении напряжения от 0 до + 7 В при воспроизведении напряжения от + 7 до + 8 В |
е от минус 1,5 до + 8,0 А от минус 1,5 до + 4,0 А |
|
при воспроизведении напряжения от 0 до минус 8 В |
от минус 4,0 до + 1,5 А |
|
максимальная сила тока в нагрузке MS DPS в 8-и канальном режиме | |
|
при воспроизведении напряжения от 0 до + 7 В |
от минус 1,5 до + 4,0 А |
|
при воспроизведении напряжения от +7 до + 8 В |
от минус 1,5 до + 2,0 А |
|
при воспроизведении напряжения от 0 до минус 8 В |
от минус 2,0 до + 1,5 А |
|
пределы измерения силы тока I измерительным источником питания MS DPS | |
|
в 4-х канальном режиме |
100 мкА; 1; 10 мА; 0,3; 8 А |
|
в 8-ми канальном режиме |
0,01; 0,1; 1; 10 мА; 0,3; 4 А |
|
разрешение измерения силы тока MS DPS в 4-х канальном режиме | |
|
на пределе 100 мкА на пределе 1 мА на пределе 10 мА |
5 нА 50 нА ......500 нА............................................................................................................ |
|
на пределе 0,3 А |
15 мкА |
|
на пределе 8 А |
150 мкА |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным источником питания MS DPS в 4-х канальном режиме, нА (мкА) | |
|
на пределе 100 мкА |
± (1-10-I + 100 нА) |
|
на пределе 1 мА на пределе 10 мА на пределе 0,3 А |
±(110’31 + 1 мкА) ± (1 10’3 1 + 10 мкА) .....1 (1 • 10'3• 1 1 300 мкА)................................ |
|
на пределе 8 А |
; (110’31 • 20 мА) |
|
разрешение измерения силы тока MS DPS в 8-ми канальном режиме | |
|
на пределе 10 мкА |
500 пА |
|
на пределе 100 мкА |
5 нА |
|
на пределе 1 мА |
50 нА |
|
на пределе 10 мА |
500 нА |
|
на пределе 0,3 А |
15 мкА |
|
на пределе 4 А |
150 мкА |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным | |
|
источником питания MS DPS в 8-ми канальном режиме, нА (мкА) | |
|
на пределе 10 мкА |
1 (1 10’3 1 1 10 нА) |
|
на пределе 100 мкА |
±(110’31 + 100 нА) |
|
на пределе 1 мА |
±(110’3I + 1 мкА) |
|
на пределе 10 мА |
±(110’31 + 10 мкА) |
|
на пределе 0,3 А |
1 (1 10’3 1 1 300 мкА) |
|
на пределе 4 А |
±(110’31 + 10 мА) |
|
пределы воспроизведения напряжения измерительным источником питания DCS DPS32 |
от 0 до + 7 В |
|
разрешение воспроизведения напряжения DCS DPS32 |
200 мкВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения измерительным источником питания DCS DPS32 |
± 3 мВ |
|
максимальная сила тока в нагрузке DCS DPS32 | |
|
при воспроизведении напряжения до + 3,0 В |
от минус 1,5 до + 1,5 А |
|
при воспроизведении напряжения до + 3,6 В |
от минус 1,2 до + 1,2 А |
|
при воспроизведении напряжения до + 7,0 В |
от минус 0,5 до + 0,5 А |
|
пределы измерения силы тока DCS DPS32 |
100 мкА; 2; 50 мА; 1,5 А |
|
разрешение измерения силы тока DCS DPS32 | |
|
на пределе 100 мкА |
5 нА |
|
на пределе 2 мА |
100 нА |
|
на пределе 50 мА |
2,5 мкА |
|
на пределе 1,5 А |
100 мкА |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным | |
|
источником питания DCS DPS32, нА (мкА) |
± (1 10’3 1 + 100 нА) |
|
на пределе 100 мкА | |
|
на пределе 2 мА |
1 (1 10’3 1 1 2 мкА) |
|
на пределе 50 мА |
; (110’31 • 50 мкЛ) |
|
на пределе 1,5 А |
±(110’31 + 1,59 мА) |
|
ОБЩИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ | |
|
габаритные размеры головного блока с манипулятором в зависимости от варианта исполнения | |
|
(высота х ширина х глубина), мм | |
|
АТН |
1850 х 880 х 1920 |
|
СТН |
1880 х 1290 х 2270 |
|
габаритные размеры установки водяного охлаждения в зависимости от варианта исполнения | |
|
(высота х ширина х глубина), мм | |
|
E2760FU |
440х 240 х 650 |
|
E2760FAL |
950 х 520 х 870 |
|
масса головного блока с манипулятором в зависимости от варианта исполнения, не более | |
|
ATH |
610 кг |
|
СТН |
1118 кг |
|
масса установки водяного охлаждения в зависимости от варианта исполнения, не более | |
|
E2760FU |
50 кг |
|
E2760FAL |
185 кг |
|
напряжение питания частотой от 50 Гц | |
|
ATH (сеть однофазного тока) |
от 200 до 240 В |
|
CTH (сеть трехфазного тока) |
от 360 до 440 В |
|
потребляемая мощность в зависимости от варианта исполнения, не более | |
|
ATH |
7 кВ^А |
|
СТН |
15 кВ-А |
|
температура окружающей среды |
от 20 до 30 °С |
|
относительная влажность при температуре 30 °С, не более |
70 % |
|
электромагнитная совместимость |
по ГОСТ Р 51522-99 |
|
безопасность |
по ГОСТ Р 52319-2005 |