Номер по Госреестру СИ: 57829-14
57829-14 Микроскопы электронные растровые настольные
(Phenom мод. Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX)
Назначение средства измерений:
Микроскопы электронные растровые настольные Phenom (модификаций Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX) (далее - микроскопы) предназначены для количественного морфологического анализа, измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур (все модификации) и локального электронно-зондового элементного анализа (модификация Phenom ProX).
Внешний вид.
Микроскопы электронные растровые настольные
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства - 22.07.2019
Номер записи - 148352
ID в реестре СИ - 370752
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
нет данных, нет, Микроскоп электронный растровый настольный Phenom, модификация Phenom ProX, Микроскоп электронный растровый настольный Phenom XL G2, Микроскоп электронный растровый настольный Phenom ProX, Phenom мод. Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX, Phenom ProX,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Phenom-World BV."
Страна - НИДЕРЛАНДЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
В отчете предоставлена информация по географии распределения эталонов единиц величин по территории РФ и видам измерений.
Предусмотрено выделение 11 видов измерений:
- Акустические величины
- Давление, вакуум
- Оптические и оптико-физические
- Теплофизика, температура
- Время, частота
- Ионизирующие излучения и ядерные константы
- Поток, расход, уровень, объем веществ
- Электрические и магнитные величины, радиоэлектроника
- Геометрические величины
- Механические величины
- Состав и свойства веществ
Географическая привязка эталонов осуществляется к конкретному городу, региону или федеральному округу РФ. Количественные данные об эталонах представлены как штуках, так и в процентном соотношении.
В качестве источника данных были использованы два реестра ФГИС АРШИН: реестр эталонов единиц величин - https://fgis.gost.ru/fundmetrology/registry/11 и реестр средств измерений, применяемых в качестве эталонов - https://fgis.gost.ru/fundmetrology/cm/etalons/296436.
Отчет состоит из 12 графиков и 2 таблиц, разнесённых по информационным блокам. Графики являются интерактивными с возможностью масштабирования и экспорта в сторонние программы. Первый блок содержит сводную статистическую информацию об эталонах. Отдельно для аттестованных эталонов и отдельно для средств измерений, применяемых в качестве эталонов. Далее, следуют два информационных блока с привязкой к региону РФ или Федеральному округу.
В завершении отчета приведена сводная таблица, данные из которой можно использовать для самостоятельной обработки данных.
Статистика
Кол-во поверок - 31
Выдано извещений - 4
Кол-во периодических поверок - 17
Кол-во средств измерений - 9
Кол-во владельцев - 8
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№2098 от 2023.10.06 ПРИКАЗ О внесении изменений в сведения об утвержденных типах СО (6)
№2255 от 2023.10.25 ПРИКАЗ О внесении изменений в сведения об утвержденных типах СО (3)
№148 от 2023.01.26 О закреплении документов национальной системы стандартизации за техническим комитетом по стандартизации "Химия" (ТК 060)
Наличие аналогов СИ: Микроскопы электронные растровые настольные (Phenom мод. Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Отчет MI_4 состоит из одной диаграммы и таблицы. Диаграмма является интерактивной, обладает свойством масштабирования и опцией выгрузки данных в эксель. Таблица оснащена поиском и функцией сортировки по любой из колонок.
Пузырьковая диаграмма "Области и разделы областей измерений" наглядно показывает разделы областей измерений в части количества типов СИ. Из диаграммы можно сделать выводы о величине областей изерений, количестве и размерах, входящих в них разделов СИ.
Каталог СИ, используемый в сервисе ОЕИ-Аналитика имеет трехуровневую структуру вида: области измерений (более 20), разделы областей измерений (более 250) и группы СИ (более 10 тыс.). При разработке каталога были использованы как существующие кодификаторы: МИ 2803-2014, МИ 2314-2006, МИ 2314-2022, так и собственные наработки. Перед применением каталог был адаптирован и обогащен данными из реального реестра, утвержденных типов СИ ФГИС АРШИН.
Кто поверяет Микроскопы электронные растровые настольные (Phenom мод. Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 16 | 2 | 1 | 14 | 4 | 11 | 0 | 11 | ||
| ФГУП «СНИИМ» (73) | РСТ | 2 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ФГУП «УНИИМ» (01.00258-2011) | РСТ | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| УРАЛЬСКИЙ НИИ МЕТРОЛОГИИ (RA.RU.311473) | РСТ | 4 | 0 | 3 | 0 | 1 | 0 | 1 | ||
| ФГУП "УНИИМ" (RA.RU.311285) | РСТ | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 2 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ОАО "НИЦПВ". (01.00317-2011) | 5 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Микроскопы электронные растровые настольные (Phenom мод. Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление микроскопами осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
|
Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений |
Phenomes |
4.Х.Х |
50480EFF3DE546B8C 587E8B8BB55E12E73 E32101AFC4514C35A 253A88DAC9B8F |
по ГОСТ Р 34.11-94 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель блока измерительного в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийМикроскопы электронные растровые настольные Phenom. Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам электронным растровым настольным Phenom (модификаций Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX)
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 57829-14 «Микроскопы электронные растровые настольные Phenom (модификации Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX) фирмы Phenom-World BV., Нидерланды. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в апреле 2014 г.
Основные средства поверки:
-
- мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры ± 0,05 мкм);
-
- мера длины концевая плоскопараллельная с номинальным значением 1 мм (кл. т. 3 по ГОСТ 9038-80);
-
- островковая пленка золота на углероде GOLD ON CARBON TEST SPEC SM 1501 фирмы SPI Supplies / Structure Probe, Inc., США;
-
- катодная медь марок М0к, М1к или М2к по ГОСТ 859-2001, алюминий марок А995, А98, А97 или A95 по ГОСТ 11069-2001, марганец марок Мн998 или Мн997 по ГОСТ 6008-90.
Изготовитель
Фирма Phenom-World BV., Нидерланды.
Адрес фирмы-изготовителя: Dillenburgstraat 9Е, 5652 AM, Eindhoven The Netherlands.
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «Мелитэк».
Адрес: 117342, Москва, ул. Обручева, д. 34/63, строение 2.
Тел./факс: (495) 781-07-85, E-mail: info@melytec.ru.
Испытательный центр
ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ», аттестат аккредитации № 30036-10.Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
Тел. (495) 935-97-77, 935-97-66. Тел./Факс: 935-96-90. E-mail: fgupnicpv@mail.ru.
Микроскопы представляют собой настольные автоматизированные многофункциональные измерительные системы.
Микроскопы состоят из настольного моноблока, отдельного форвакуумного насоса и блока питания. Управление осуществляется интегрированной ПЭВМ.
Моноблок включает электронно-оптическую систему (колонну), камеру образцов, разделенную на два отсека, в первом из которых имеется возможность с помощью телевизионной камеры выбирать по оптическому изображению участок для исследования, затем образец с сохранением ориентации может быть перемещен в отсек для наблюдения электронно- микроскопических изображений. Камера образцов оборудована автоматизированным столиком с механизмом перемещения объектов. В электронно-оптическом отсеке камеры образцов внешним форвакуумным насосом обеспечивается остаточное давление от 10 Па до 30 Па (низкий вакуум). Микроскоп имеет четырехсегментный полупроводниковый детектор обратно-рассеянных электронов (все модификации) и интегрированный энергодисперсионный рентгеновский спектрометр (модификация Phenom ProX). Вакуумная система микроскопа состоит из встроенного в основной модуль турбомолекулярного насоса, обеспечивающего высокий вакуум в области электронной пушки с катодом из гексаборида церия и внешнего форвакуумного насоса для откачки камеры образцов. Камера образцов и колонна разделены диафрагмой, обеспечивающей необходимый перепад остаточных давлений.
Микроскоп обеспечивает получение электронно-микроскопических изображений в режиме регистрации обратно-рассеянных электронов. Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных электронов соответствующим детектором, при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Яркость изображения модулируется сигналом обратно-рассеянных электронов с полупроводникового детектора. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
В модификацию Phenom ProX интегрирован энергодисперсионный рентгеновский спектрометр с кремниевым дрейфовым детектором, охлаждаемым элементом Пельтье. Принцип действия детектора рентгеновского излучения основан на явлении генерации электронно-дырочных пар носителей тока в полупроводниках под воздействием фотонов рентгеновского диапазона спектра. В результате генерации пар носителей тока в области p-n перехода происходит их разделение и формирования импульса заряда, амплитуда которого пропорциональна энергии рентгеновского фотона. Далее импульс заряда преобразуется в импульс напряжения, амплитуда которого также пропорциональна энергии попавшего в детек-
тор фотона. В результате поток рентгеновских фотонов различной энергии преобразуется в последовательность импульсов напряжения с амплитудами, пропорциональными энергии попавших в детектор фотонов. Данная последовательность поступает на многоканальный анализатор напряжения, в результате чего формируется цифровая гистограмма амплитудного распределения импульсов. Пропорциональность амплитуды импульса энергии фотонов позволяет однозначно связать номер канала с энергией рентгеновских фотонов, а число попавших фотонов в данный канал отражает спектральную интенсивность поступающего на детектор рентгеновского излучения. Таким образом формируется цифровой спектр рентгеновского излучения. Обработка спектра по специальной программе позволяет получить сведения об элементном составе облучаемого микрообъема вещества (электронно-зондовый микроанализ).
Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.
При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронного растрового настольного PHENOM
В комплект поставки входят: микроскоп электронный растровый настольный Phenom; комплект технической документации фирмы-изготовителя.
Основные метрологические и технические характеристики микроскопов приведены в таблице 2.
Таблица 2.
|
Наименование характеристики |
Модификации прибора | ||
|
PHENOM Pure |
PHENOM Pro |
PHENOM Pro X | |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 1 до 1000 | ||
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %: | |||
|
- в диапазоне от 1 мкм до 100 мкм |
± 5 |
± 3 | |
|
- в диапазоне от 100 мкм до 1000 мкм |
± 1 |
± 1 | |
|
Пространственное разрешение: - при ускоряющем напряжении 5 кВ, нм; |
50 |
- |
- |
|
- при ускоряющем напряжении 10 кВ, нм; |
- |
17 |
17 |
|
Диапазон определяемых элементов |
- |
- |
от C до Am |
|
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Ka1;2 марганца, не более, эВ |
- |
- |
140 |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений положения линий характеристического излучения, эВ |
- |
- |
± 2 |
|
Относительное среднее квадратическое отклонение результата измерений интенсивности рентгеновского излучения, % |
- |
- |
± 3 |
|
Масса в транспортной упаковке, включая все комплектующие, не более, кг |
160 | ||
|
Напряжение питания от сети переменного тока частотой 50/60 Гц, В |
от 110 до 240 | ||
|
Потребляемая мощность, не более, Вт |
300 | ||
Продолжение таблицы 2.
|
Наименование характеристики |
Модификации прибора | ||
|
PHENOM Pure |
PHENOM Pro |
PHENOM Pro X | |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С |
от 15 до 30 | ||
|
- относительная влажность воздуха при температуре 20 °С, %, не более |
80 | ||
|
- атмосферное давление, кПа |
от 84 до 107 | ||