Номер по Госреестру СИ: 50413-12
50413-12 Микроскоп электронный растровый
(S-4800)
Назначение средства измерений:
Микроскоп электронный растровый S-4800 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.
Внешний вид.
Микроскоп электронный растровый
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 139865
ID в реестре СИ - 362265
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Микроскоп электронный растровый S-4800,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Hitachi"
Страна - ЯПОНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Статистика
Кол-во поверок - 5
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 3
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
Наличие аналогов СИ: Микроскоп электронный растровый (S-4800)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "Hitachi"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
20290-00 |
Спектрофотометр флуоресцентный, F 4500 Фирма "Hitachi" (ЯПОНИЯ ) |
1 год | |
|
25919-03 |
Спектрофотометр флуоресцентный специализированный, F-4500 Фирма "Hitachi" (ЯПОНИЯ ) |
1 год | |
|
28360-04 |
Спектрофотометр атомно-абсорбционный, Hitachi Z-6100 Фирма "Hitachi" (ЯПОНИЯ ) |
1 год | |
|
30255-05 |
Спектрофотометр двулучевой, U-2000 Фирма "Hitachi" (ЯПОНИЯ ) |
1 год | |
|
30420-05 |
Спектрофотометр атомно-абсорбционный, 170-30 Фирма "Hitachi" (ЯПОНИЯ ) |
1 год | |
|
50413-12 |
Микроскоп электронный растровый, S-4800 Фирма "Hitachi" (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
Отчет представляет собой таблицу с перечнем эталонов организаций, применяемых при поверке бытовых счетчиков воды. По каждому эталону приведена статистика поверок СИ по годам. В качестве эталона могут выступать ГЭТ, эталоны единиц величин или СИ, используемые в качестве эталонов.
Кто поверяет Микроскоп электронный растровый (S-4800)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 5 | 0 | 3 | 0 | 3 | 0 | 3 |
Стоимость поверки Микроскоп электронный растровый (S-4800)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1. Таблица 1.
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
|
Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений |
S-4800 Scanning Electron Microscope |
03.03 |
0142742361B2079CBF 1B35EBDD7055A166C 855EF41C884D8C8BF 0B3366E85AF4 |
ГОСТ Р 34.11 94 |
Поверка
Поверкаосуществляется по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».
Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.
Заявитель
Открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (ОАО «НИЦПВ»)Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
Тел./факс (495) 935-97-77. E-mail: fgupnicpv@mail.ru
Испытательный центр
ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ», аттестат аккредитации № 30036-10.
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
Тел./факс (495) 935-97-77. E-mail: fgupnicpv@mail.ru
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему и состоит из электронно-оптической системы (колонны), камеры объектов с механизмом перемещения объектов, двух детекторов вторичных электронов, детектора отраженных электронов, детектора прошедших электронов (для режима «на-просвет»), вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока питания.
Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных электронов соответствующим детектором, при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
Микроскоп обеспечивает работу в режимах регистрации вторичных и отраженных электронов и в режиме «напросвет».
При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.
Рис.1. Общий вид микроскопа электронного растрового S-4800
В комплект микроскопа входят: микроскоп электронный растровый S-4800, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
приведены в Таблице 2.
Таблица 2.
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 15 кВ (образец - кремний), нм, не более |
10 |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
0,05-1000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %: - в диапазоне от 0,05 до 0,1 мкм |
±10 |
|
- в диапазоне от 0,1 до 0,3 мкм |
±6 |
|
- в диапазоне от 0,3 до 1000 мкм |
±4 |
|
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В |
220+22-33 |
|
Потребляемая мощность, кВА |
4 |
|
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм: - стенд с колонной, агрегатом вакуумным, ВКУ |
840х966х1660 |
|
- видеоконтрольный блок |
1000х960х1200 |
|
Масса, кг |
860 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С |
20 ± 5 |
|
- относительная влажность воздуха, %, не более |
60 |
|
- атмосферное давление, кПа |
84-107 |