Номер по Госреестру СИ: 50369-12
50369-12 Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые
(UL1000, UL1000Fab, UL5000)
Назначение средства измерений:
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые UL1000, UL1000Fab, UL5000 (далее по тексту - течеискатели) предназначены для измерений потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости или заполнение гелием, либо смесью газов, содержащих гелий.
Внешний вид.
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Течеискатели имеют встроенное программное обеспечение, разработанное изготовителем специально для решения задач измерения потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости или заполнение гелием, либо смесью газов, содержащих гелий
Программное обеспечение течеискателя - MC68, служит для управления работой вакуумной системы и масс-спектрометрического анализатора течеискателя.
ПО выполняет следующие функции:
-
- управление работой вакуумной системой течеискателя (работой вакуумных насосов, клапанов);
-
- управление работой масс-спектрометрического анализатора (определение чувствительности, настройка на пик гелия);
-
- прием, обработка и отображение измерительной информации;
-
- формирование выходных сигналов;
-
- автоматическая диагностика состояний течеискателя.
Идентификационные данные встроенного ПО представлены в таблице 1. Таблица 1
Наименование программного обеспечения |
Идентификационное наименование программного обеспечения |
Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
MC68 |
MC68 |
4.40 |
BF79 |
CRC16 |
5.0 |
1871 |
Влияние встроенного программного обеспечения течеискателей учтено при нормировании метрологических характеристик.
Течеискатели имеют защиту встроенного программного обеспечения от преднамеренных или непреднамеренных изменений. Уровень защиты соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010
Знак утверждения типа
Знак утверждения типаЗнак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист руководств по эксплуатации и методом наклейки или иным методом на корпус течеискателей.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийСведения о методе измерений приведены в документах «Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые UL1000 и UL1000Fab. Руководство по эксплуатации» и «Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые UL5000. Руководство по эксплуатации».
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к течеискателям масс-спектрометрическим гелиевым UL1000, UL1000Fab, UL5000
-
1 ГОСТ 28517-90 «Масс-спектрометрический метод течеискания»
-
2 Техническая документация компании «INFICON GmbH», Германия
Поверка
Поверка осуществляется по МП 231-0018-2012 «Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые UL1000, UL1000Fab, UL5000. Методика поверки», утвержденной ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева» 14.02.2012 г. Основным средством поверки является рабочий эталон единицы потока газа в вакууме ВЭТ 49-2-06, диапазон измерений от 10-13 до 1 Па^м3/с; СКО не более 0,015.Изготовитель
компания «INFICON GmbH», ГерманияАдрес: Боннер Штр. 498, 50968 Кельн, Германия
Тел.: + 49 221 56788-100 Факс:+ 49 221 56788-9100
Заявитель
ООО «ЭмЭсЭйч Техно»
Юридический и почтовый адрес: 109044, г. Москва, Лавров пер., д.5
Фактический адрес: 111024, Москва, 2-ая ул. Энтузиастов, д.5, к.3
Тел./факс: +7 (495) 660-88-97, +7 (495) 543-60-25, www.msht.ru
Испытательный центр
ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева», регистрационный номер 30001-10,Адрес: 190005, Санкт-Петербург, Московский пр., д.19,
тел.: (812) 323-96-29, факс: (812) 323-96-30, www.vniim.ru
Течеискатель выполнен в виде в виде передвижной стойки закрытого типа, в которой расположены масс-спектрометрический анализатор, настроенный на регистрацию ионов гелия в качестве пробного газа, вакуумная система в сборе и блоки питания. На верхней панели корпуса стойки установлен фланец для подключения испытуемого объекта к вакуумной системе течеискателя и панель управления работой течеискателя с встроенным жидкокристаллическим дисплеем. Испытуемый объект подсоединяют к фланцу течеискателя и создают вакуум не более 1,5 кПа. Молекулы гелия, проникающие через места нарушения герметичности объекта, попадают в масс-спектрометрический анализатор. Ионный источник анализатора ионизирует эти молекулы газа. Образующиеся положительные ионы ускоряются, фокусируются магнитным полем анализатора и, после разделения, попадают на коллектор (приемник ионов). При этом образуется ионный ток, пропорциональный количеству попадающего в течеискатель гелия, который является критерием степени негерметичности испытуемого объекта. Ионный ток поступает для преобразования на электронный блок течеискателя. Значение измеряемого потока отображается на дисплее панели управления.
В течеискателях предусмотрены режимы измерений по входу: ULTRA (сверхчувствительный), FINE (микроскопический) и GROSS (макроскопический), переключения между которыми осуществляется как в ручном, так и в автоматическом режиме. Также в течеискателях реализован режим поиска течей способом щупа.
Течеискатели имеют 3 исполнения, отличающихся массой, габаритами и скоростью форвакуумной откачки, которая определяется количеством и типом насосов, входящих в состав вакуумной системы течеискателя.
Внешний вид течеискателя приведен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Внешний вид течеискателя
Диапазон измерений по входу течеискателя, Па-м3/с
от 5-10-13 до 10-2
от 5-10-9 до 10-2
Диапазон показаний при работе способом щупа, Па-м3/с
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений по входу течеискателя, %
- режим измерения ULTRA (сверхчувствительный) ±(0,15 + Q^/Q^)-100,
гДе Qflll[l - нижний преДел измерений ^<0нпи = 5-10-13 Па-м3/с); 0[|з,, - значение измеренного потока, Па-м3/с
- режим измерения FINE (микроскопический)
± 50
погрешность не нормируется
- режим измерения GROSS (макроскопический)
Время установления выходного сигнала, мин, не более
Параметры электропитания сети переменного тока 230 В, 50 Гц
Средняя наработка до метрологического отказа, ч 15000
Средний срок службы, лет____________________________________________________________10
Исполнение течеискателя |
Скорость форвакуумной откачки, м3/ч |
Габариты (длинахширинах Хвысота), мм |
Масса, кг |
Потребляемая мощность, кВ •А, не более |
UL1000 |
16 |
1068x525x850 |
110 |
1,3 |
UL1000Fab |
25 |
1068x525x850 |
110 |
1,3 |
UL5000 |
25 |
1068x525x1083 |
140 |
1,5 |
Условия эксплуатации:
Диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С
от 10 до 35 от 84 до 106,7 до 80
Атмосферное давление, кПа
Относительная влажность воздуха, %