Номер по Госреестру СИ: 48404-11
48404-11 Комплексы аппаратно-программные
(Solver Pipe)
Назначение средства измерений:
Комплексы аппаратно-программные Solver Pipe (далее - комплексы) предназначены для измерений геометрических расстояний на поверхности нанотехнологических и конструкционных материалов действующего оборудования методами атомно-силовой микроскопии в атмосферных условиях в диапазоне линейных размеров от 300 нм до 100 мкм при атмосферных условиях.
Комплексы предназначены для использования в условиях учебных учреждений, научных лабораторий и в условиях промышленных предприятий различного профиля.
Внешний вид.
Комплексы аппаратно-программные
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства - 06.12.2016
Номер записи - 137486
ID в реестре СИ - 359886
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
нет данных,
Производитель
Изготовитель - ЗАО "Инструменты нанотехнологии" (НТИ)
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Москва
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Оренбург - административный центр Оренбургской области России и Оренбургского района, составляющий вместе с 10 сельскими поселениями отдельное муниципальное образование - город Оренбург со статусом городского округа. Один из крупнейших городов Южного Урала. Город расположен в Южном Приуралье, на реке Урал (Яик), недалеко от впадения в нее реки Сакмара. Оренбург находится в 1475 км к юго-востоку от Москвы.
В промышленности Оренбурга ведущие места принадлежат газодобывающей и газоперерабатывающей промышленности, машиностроению и металлообработке. Также развиты предприятия химической, пищевой и легкой промышленности. Оренбург является крупным железнодорожным узлом, где пересекаются линии на Самару, Орск, Уральск, Актобе и Уфу.
Отчет "Анализ рынка поверки в Оренбурге" предоставляет исчерпывающую информацию по деятельности организаций, аккредитованных в Национальной системе аккредитации на право поверки средств измерений в городе Оренбург.
При проведении исследований были введены следующие ограничения:
- в отчете присутствуют организации с первичными или периодическими поверками от 100 шт. с 2017 года и действующими аттестатами аккредитации на текущий год;
- на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
- на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
- место регистрации или осуществления деятельности организаций должно совпадать с выбранным городом;
- топ типов СИ ограничен 500 позициями по каждой организации (сортировка по убыванию количества поверок);
- топ типов СИ ограничен 100 позициями по каждой организации при поиске по видам измерений (сортировка по убыванию количества поверок).
Содержание отчета:
- Список организаций-поверителей, осуществляющих поверку в городе Москва по данным ФСА и ФГИС АРШИН.
- Объемы первичных и периодических поверок за период с 2017г. по н.в.
- Информация о местах осуществления деятельности организаций-поверителей.
- Доля рынка поверок в % среди всех организаций, исследуемого города (предоставление информации в графическом и табличном видах).
- Детальный анализ по каждой из организации, работающей в выбранном городе.
- Анализ деятельности в разрезе первичных, периодических поверок и видов измерений.
- Количество поверок по типам СИ в динамике по годам.
- Индикация импортных аналогов средств поверки (в соответствии с ПЕРЕЧЕНЕМ СИ ОТЕЧЕСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА, АНАЛОГИЧНЫХ СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ ИМПОРТНОГО ПРОИЗВОДСТВА от 09.2022г)
- Индикация типов СИ по ПП РФ №250 от 20.04.2010 г.
- Быстрый анализ контрагентов организаций-поверителей.
- Анализ цен на поверку СИ по Фед. округу.
Статистика
Кол-во поверок - 1
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 0
Кол-во средств измерений - 0
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 366 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
Наличие аналогов СИ: Комплексы аппаратно-программные (Solver Pipe)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Кто поверяет Комплексы аппаратно-программные (Solver Pipe)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФБУ «Тюменский ЦСМ» (RA.RU.311494) | РСТ | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Комплексы аппаратно-программные (Solver Pipe)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийРуководство по эксплуатации. Разделы 8-10.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к комплексам аппаратно-программным Solver Pipe«Комплексы аппаратно-программные Solver Pipe. Технические условия» ШАРП.401163.001 ТУ
Лист № 4 всего листов 4
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 48404-11 «Комплексы аппаратно-программные Solver Pipe. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в ноябре 2011 года. Основными средствами поверки являются:
Мера периода и высоты линейная TGQ1 с характеристиками, приведенными в таблице 3. Таблица 3
|
Наименование |
Значение |
|
Номинальное значение шага периодической структуры меры, мкм |
3,00 |
|
Допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры не более, мкм |
± 0,01 |
|
Значение высоты выступов в шаговых структурах меры, нм |
20 |
|
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговых структурах не более, нм |
±2 |
Мера периода и высоты линейная TGZ3 с характеристиками, приведенными в таблице 4. Таблица 4
|
Наименование |
Значение |
|
Номинальное значение шага периодической структуры меры, мкм |
3,00 |
|
Допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры не более, мкм |
± 0,01 |
|
Значение высоты выступов в шаговой структуре меры, нм |
520 |
|
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговой структуре не более, нм |
±20 |
Мера периода линейно-угловая TGG1 с характеристиками, приведенными в таблице 5. Таблица 5
|
Наименование |
Значение |
|
Номинальное значение периода структуры меры, мкм |
3,00 |
|
Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более, мкм |
± 0,01 |
|
Угол в сечении при вершине треугольного профиля, градус |
50±20 |
Изготовитель
Закрытое акционерное общество «Инструменты нанотехнологии» (ЗАО «НТИ»), г. Москва, Зеленоград, адрес: 124482, Москва, Зеленоград, корп. 100.Тел.: (499) 735-77-77, факс: (499) 735-64-10,
E-mail: spm@ntmdt.ru
Принцип действия комплексов основан на сканировании поверхности методом ощупывания чувствительным датчиком - кантилевером. Комплексы обеспечивают работу в режиме атомно-силового микроскопа (АСМ) с использованием различных методик зондовой микроскопии. АСМ реализует принцип измерений силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности, как проводящих, так и диэлектрических сред. Поддерживая с помощью обратной связи постоянной силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет получить трехмерное изображение топографии поверхности.
В состав комплексов входит измерительная АСМ головка, платформа позиционирования, электронный блок (контроллер сканирования) и управляющий персональный компьютер.
В качестве зонда в АСМ используется чувствительный элемент - кантилевер, который представляет собой кремниевый монокристалл, на котором сформирована балочная структура с острием в виде микроиглы.
Сканирование в диапазоне линейных размеров от 3*10’7 до 10-4 м обеспечивается с помощью пьезосканера. Конструкция блока подвода и сканирования обеспечивает ручной и автоматический подвод зонда к образцу; установку АСМ головки на платформу позиционирования без дополнительных приспособлений; простую процедуру замены и установки кантилевера.
Комплексы позволяют проводить сканирование зондом на воздухе.
Управление процессом измерений осуществляется от контроллера и РС совместимого компьютера с помощью программного обеспечения. Управляющие сигналы от СЗМ контроллера поступают в измерительную головку. Управление СЗМ контроллером осуществляется с помощью компьютерного программного обеспечения посредством интерфейса USB 2.0. При помощи программного обеспечения осуществляется настройка прибора, оптимизация его параметров, управление режимами работы, выполнение сканирования, обработка результатов измерений и их хранение.
Конструктивно комплексы выполнены в виде настольных приборов с отдельно устанавливаемым компьютером.
Область применения - лабораторные и промышленные исследования трехмерной топологии и параметров рельефа в нанометровом диапазоне методом сканирования зондовым датчиком поверхности объекта. Комплексы могут применяться в микро-, опто-, наноэлектронике, нанотехнологии, микромеханике, создании наноструктурных материалов, запоминающих сред, химии и химической технологии, металлургии, в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организаций. Комплекс предназначен для использования в условиях учебных учреждений, научных лабораторий и в условиях промышленных предприятий различного профиля.
Рис. 1. Общий вид аппаратно-программного комплекса Solver Pipe
В состав комплекса входит специализированное программное обеспечение, идентификационные данные которого приведены в таблице 1.
Таблица 1.
|
Наименование программного обеспечения |
Идентификационное наименование программного обес печения |
№ версии ПО |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления идентификатора ПО |
|
ПО «NOVA» |
XY Calibration. dll ZCalibration.dll |
P9 |
9eb48340c656f5e545923ec839d60040 081da6dd16f81d05ba3c54e1de1a0f0f |
Программа md5sum |
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Комплекс аппаратно-программный Solver Pipe в составе:
Измерительная АСМ головка 1 шт
Платформа позиционирования 1 шт
Платформа установочная (крепежная) с притяжными ремнями 1 шт
Персональный компьютер (ПК) с видеомонитором и интерфейсным соединительным кабелем 1 шт
Пинцет для установки кантилевера 1 шт
Программное обеспечение “NOVA” 1 шт
Таблица 2
|
Наименование параметра |
Значение |
|
Диапазон сканирования по оси Z , мкм |
от 0 до 10 |
|
Диапазон сканирования по осям X и Y, мкм |
От 0,3 до 100 |
|
Предел допускаемой погрешности измерений по осям: X и Y (диапазон - 100 мкм, при количестве пикселей - 2048), нм |
50 |
|
Z (диапазон - 10 мкм, при количестве пикселей - 2048), нм |
5 |
|
Угол между осью Z и нормалью к плоскости XY не более, градус |
+5 |
|
Угол между осями сканирования X и Y, градус |
90+2 |
|
Диапазон перемещения в плоскости XY не менее, мм |
50x50 |
|
Диапазон перемещения по оси Z не менее, мм |
30 |
|
Диапазон изменения наклона измерительной головки относительно |
от минус 12 градусов, |
|
нормали к поверхности образца |
до плюс 12 градусов |
|
Установка на образце под углом к горизонту, градус |
от 0 до 180 |
|
Габаритные размеры (Д*Ш*В), не более, мм |
400x250x10 |