Номер по Госреестру СИ: 48278-11
48278-11 Мера динамическая вертикального перемещения
(ДКВ-01)
Назначение средства измерений:
Мера динамическая вертикального перемещения ДКВ-01 (далее - мера) предназначена для воспроизведения перемещений при испытаниях, поверке и калибровке растровых измерительных микроскопов, сканирующих зондовых микроскопов, оптических интерферометров, контактных систем измерения размеров и перемещений в нанометровом диапазоне.
Внешний вид.
Мера динамическая вертикального перемещения
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Мера динамическая вертикального перемещения ДКВ-01 оснащена программным обеспечением DAC Generator версии V 1.8, предназначенным для подачи на меру импульсов напряжения с электронной системы управления (ЭСУ).
Вычислительный алгоритм DAC Generator расположен в заранее скомпилированных бинарных файлах и не может быть модифицирован. ПО DAC Generator блокирует редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Идентификационные данные п |
рограммного обеспечения приведены в таблице | |||
Наименование программного обеспечения |
Идентификационное наименование программного обеспечения |
Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
DAC Generator |
DAC Generator.exe |
V 1.8 |
8286A214266346C6F E9E263C45E534A3 |
MD5 |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Защита программного обеспечения меры динамической вертикального перемещения ДКВ-01 соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
«Динамические меры нанометрового диапазона. Руководство по эксплуатации». ТС.500.000.000 РЭ.
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к мере динамической вертикального перемещения ДКВ-01ГОСТ 8.296-78. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025.. .3000 мкм
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений.
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 48278-11 «Мера динамическая вертикального перемещения ДКВ-01. Методика поверки», разработанному и утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2011 года.
Основное поверочное оборудование: прибор Talystep («TAYLOR HOBSON Ltd», Великобритания).
Изготовитель
ЗАО «Техносистема Н» Юр.адрес и почт. 101000, Москва, ул. Покровка, д.14/2, стр. 1, тел./факс. (495) 673-26-22, Эл.почта: nanofactory@mail.ru
Заявитель
ФГУП «ВНИИМС», г. Москва, Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46, Тел./факс: (495) 437-55-77 / 437-56-66.E-mail: office@vniims.ru , адрес в Интернет: www.vniims.ru
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений (ГЦИ СИ) ФГУП «ВНИИМС», г.МоскваВ основе принципа действия меры лежит управляемая электрическим напряжением деформация исполнительного пьезоэлемента, выполненного из пьезокристаллического материала, характеризуемого пренебрежительно малым гистерезисом и ползучестью. Конструктивно мера выполнена в виде корпуса, внутри которого установлен исполнительный пьезоэлемент с зеркальной отсчетной поверхностью. Для устранения влияния внешних влияющих факторов (температурный дрейф, низкочастотные колебания, ползучесть элементов конструкции и др.) управление перемещением меры осуществляется амплитудно - модулированным сигналом в виде прямоугольных импульсов напряжения, подаваемым с электронной системы управления (ЭСУ), что позволяет отсчитывать перемещения по результатам измерения амплитуды переднего или заднего фронта импульса перемещения.
Рисунок 1 - Общий вид меры динамической вертикального перемещения ДКВ-01
Наименование характеристики прибора |
Значение |
Сопротивление электрической изоляции |
не менее 5 МОм |
Диапазон перемещений при изменении управляющего напряжения в пределах -2000 2000 В |
не менее 100 нм |
Чувствительность |
(25 - 40) х 10-3 нм / В |
Уровень собственных шумов |
не более 0,2 нм |
Разрешающая способность |
не хуже 0,2 нм |
Пределы допускаемой основной абсолютной погрешности воспроизведения перемещений |
±1 нм |
Погрешность измерения амплитуды генерируемых импульсов напряжения |
<0,1 % |
Диапазон рабочих температур: 20 ± 3 °С.