Номер по Госреестру СИ: 48173-11
48173-11 Профилометр
(Alpha-Step 200)
Назначение средства измерений:
Профилометр Alpha-Step 200 (далее профилометр) предназначен для измерения профиля поверхности в микро- и нанодиапазоне.
Внешний вид.
Профилометр
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Профилометр Alpha-Step 200 имеет в своем составе программное обеспечение TENCOR INSTRUMENTS ALPHA-STEP V3.6-2, встроенное в аппаратное устройство средства измерений, разработанное для конкретной измерительной задачи, осуществляющей измерительные функции, функции расчета параметров и функции индикации.
ПО СИ имеет следующие идентиф |
икационные данные: | |||
Наименование программного обеспечения |
Идентификационное наименование программного обеспечения |
Номер версии (идентификаци онный номер) программного обеспечения |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
TENCOR INSTRUMENTS |
ALPHA-STEP |
V3.6-2 |
- |
- |
Лист № 2 всего листов 3 Операционная система, имеющая оболочку доступную пользователю, отсутствует. Программное обеспечение и его окружение являются неизменными, средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Уровень защиты программного обеспечения оценивается как «А» согласно МИ 32862010.
Программное обеспечение приборов может быть установлено или переустановлено только на заводе-изготовителе с использованием специальных программно-технических устройств.
Знак утверждения типа
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийМетод измерений изложен в документе «Профилометр Alpha-Step 200 Руководство по эксплуатации»
Лист № 3 всего листов 3
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к профилометру Alpha-Step 200
-
- ГОСТ 8.296 - 78 «ГСИ. Государственный специальный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax и Rz в диапазоне 0,025-1600 мкм»
-
- ГОСТ 19300-86 «Средства измерений шероховатости поверхности профильным методом. Профилографы - профилометры. Типы и основные параметры»
-
- Техническая документация фирмы KLA-Tencor Corporation, США
Поверка
Поверкаосуществляется в соответствии с документом по поверке МП 48173-11 «Профилометр AlphaStep 200. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2011. Основные средства поверки: Эталонные меры шероховатости 2-го разряда по ГОСТ 8.296-78
Изготовитель
Фирма «KLA-Tencor Corporation», США One Technology Drive; Milpitas, California 95035; U.S.A. Phone: +1-408-875-3000; Corporate Fax: +1-408-875-4144 Информация и техническая поддержка: info@kla-tencor.com
Заявитель
ФГУП «НИИФП им. Ф. В. Лукина»
Адрес: 124460, Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.6
Тел./факс (499) 731-13-06 / (499) 731-55-92 e-mail: admin@niifp.ru
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений (ГЦИ СИ) ФГУП «ВНИИМС», г. Москва
Принцип работы профилометра заключается в последовательном ощупывании точек поверхности иглой, перпендикулярной к контролируемой поверхности, преобразовании колебаний иглы в сигнал, количественно характеризующий поверхностные неровности. Зависимость сигнала от координаты записывается в память прибора и может выводиться на экран, принтер и внешний компьютер.
Рисунок 1 - Внешний вид профилометра Alpha-Step 200
Наименование |
Значение | |
Измеряемый параметр шероховатости |
Rz | |
Диапазон измеряемых значений в вертикальном направлении |
В режиме «кА» |
от - 160 кА до 160 кА |
В режиме «мкм» |
от - 160 мкм до 160 мкм | |
Диапазон измеряемых значений в горизонтальном направлении |
от 0 до 10 мм | |
Вертикальное разрешение |
В режиме «кА» |
5 А |
В режиме «мкм» |
5 нм | |
Г оризонтальное разрешение |
400 А | |
Радиус закругления иглы |
от 1,5 до 25 мкм | |
Измерительное усилие |
от 10 до 250 мкН | |
Диапазон перемещения рабочего столика |
Ось X |
от 0 до 150 мм |
Ось Y |
от 0 до 81 мм | |
Ось Z |
от 0 до 21 мм | |
Предел допускаемой основной погрешности по параметру Rz, % |
5 | |
Г абаритные размеры |
Ширина |
330 мм |
Высота |
427 мм | |
Глубина |
684 мм | |
Масса |
26,5 кг | |
Условия эксплуатации |
Напряжение питания |
180-260 В |
Частота, Гц |
50/60 Гц | |
Диапазон рабочих температур, |
20 ± 3 °С | |
Относительная влажность |
65 ± 15 % |