Номер по Госреестру СИ: 46349-10
46349-10 Микроскоп сканирующий зондовый
(MultiMode V)
Назначение средства измерений:
Микроскоп сканирующий зондовый MultiMode V (далее - микроскоп), предназначен для измерения топографии поверхности.
Микроскоп применяется в научных исследованиях, в нанотехнологии, в лабораториях научно-исследовательских и учебных организаций.
Внешний вид.
Микроскоп сканирующий зондовый
Рисунок № 1
Заключение
Тип микроскопа сканирующего зондового MultiMode V утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при выпуске из производства и эксплуатации согласно государственной поверочной схеме.
СОГЛАСОВАНО
Приложение к свидетельству °б утверждении типа средств измерений.И.Реут
2010 г.
тель ГЦИ СИ -
УП ВНИИР
Микроскоп сканирующий зондовый MultiMode V |
Внесены в Государственный реестр средств измерений Регистрационный № 14(Ъ5Ч9- (0 |
Изготовлен по технической документации фирмы VEECO (США), заводской номер № 1124208.
НАЗНАЧЕНИЕ И ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯМикроскоп сканирующий зондовый MultiMode V (далее - микроскоп), предназначен для измерения топографии поверхности.
Микроскоп применяется в научных исследованиях, в нанотехнологии, в лабораториях научно-исследовательских и учебных организаций.
Микроскоп представляет собой автоматизированную многофункциональную измерительную систему.
Принцип действия микроскопа основан на измерении топографии поверхности методом сканирующей зондовой микроскопии.
В состав микроскопа входит микроскопа MuiltiMode V, контроллер, вспомогательные микроскопы и персональный компьютер.
Управление процессом измерений осуществляется от контроллера и персонального компьютера с помощью программного обеспечения. Управляющие сигналы от контроллера поступают в измерительную головку. Управление контроллером осуществляется с помощью компьютерного программного обеспечения. При помощи программного обеспечения осуществляется настройка прибора, оптимизация его параметров, управление режимами работы, выполнение сканирования, обработка результатов измерений и их хранение.
Конструктивно микроскоп выполнен в виде настольных приборов с отдельно устанавливаемым компьютером.
Условия эксплуатации микроскопа:
от плюс 10 до плюс 35; от 30 до 80;
от 84 до 106,7.
50± 1;
3000. периодический, от 1 до 1000
±0,5
200x200x350
3
-
- температура окружающей среды, °C
-
- относительная влажность при 25 °C, %
-
- атмосферное давление, кПа
Напряжение:
-
- от сети переменного тока, В
-
- частота питающей сети, Гц
-
- потребляемая мощность от источника питания, ВА, не более
Режим работы
Диапазон измерений, нм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности микроскопа, нм
Габаритные размеры микроскопа, не более, мм Масса, не более, кг