Номер по Госреестру СИ: 39221-08
39221-08 Микроскопы сканирующие зондовые
(СмартСПМ-1000)
Назначение средства измерений:
Микроскопы сканирующие зондовые СмартСПМ - 1000 предназначены для измерений геометрических параметров топографии поверхности с субнанометровым пространственным разрешением на воздухе и в жидких средах.
Микроскопы сканирующие зондовые СмартСПМ - 1000 могут использоваться при проведении фундаментальных и прикладных научных исследований.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на Руководство по эксплуатации прибора типографским методом, на нижнюю панель процессорного блока методом наклейки.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в руководстве по эксплуатации на микроскопы сканирующие зондовые
СмартСПМ-1000.
Поверка
осуществляется по документу МП 39221-08 «Микроскопы сканирующие зондовые
СмартСПМ - 1000. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в октябре 2008 г.
Основные средства поверки: эталонные меры шероховатости по ГОСТ 8.296-78.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам сканирующим зондовым СмартСПМ-1000
Технические условия ТУ 1706-001-98300415-08
Изготовитель
ООО «АИСТ-НТ», г. Москва, Зеленоград
адрес: 124460, Москва, Зеленоград, 2-й Западный проезд, д. 1, стр. 1
телефон: (499) 995-09-54; эл. почта: info@aist-nt.com; http://www.aist-nt.com
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС») Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66;
E-mail: office@vniims.ru, www.vniims.ru
Действие сканирующих зондовых микроскопов СмартСПМ - 1000 основано на принципе сканирования исследуемой поверхности зондами, регистрации набора физических величин fi(x,y) и восстановлении по нему геометрии поверхности образца.
Сканирующие зондовые микроскопы СмартСПМ - 1000 состоят из персонального компьютера, электронного блока управления, измерительной головки, набора держателей кантилевера и набора держателей образца. В сканирующих зондовых микроскопах СмартСПМ - 1000 реализованы следующие режимы сканирующей зондовой микроскопии: полуконтактная АСМ; бесконтактная АСМ; контактная АСМ; метод латеральных сил; МСМ и методика зонда Кельвина; сканирующая емкостная микроскопия; электросиловая микроскопия.
______Поставляются в комплекте с принадлежностями в упаковке для хранения и переноски:
НЕ001 |
Головка СЗМ |
1 |
S001 |
XYZ пьезосканер с емкостными датчиками обратной связи |
1 |
АР001 |
Автоматизированная система подвода к образцу |
1 |
Лист № 2
Всего листов 2
Al110 |
Модульный, расширяемый цифровой контроллер |
1 |
РС001 |
Персональный компьютер в сборе |
1 |
SW001 |
Программное обеспечение, совместимое с Windows ХР |
1 |
PS001 |
Набор кантилеверов |
1 |
Калибровочная мера малой длины - дифракционная решетка производства "Holograte", 1000 - 3600 штрихов на мм, или аналогичная мера |
1 | |
Калибровочная мера малой высоты ступени - решетка "TGZ03" производства "MikroMash", номинальная высота 500 нм, или аналогичная мера |
1 |
приведены в руководстве по эксплуатации на микроскопы сканирующие зондовые
СмартСПМ-1000.
Диапазон измерений по осям X и Y, мкм |
0-90 |
Диапазон измерений по оси Z, мкм |
0-12 |
Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, % |
± 0,5 |
Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, % |
± 0,5 |
Тип сканирования |
неподвижный зонд |
Размеры образца, мм |
0=40; h=l 5 |
Нелинейность по осям X и Y, % |
0,03 |
Нелинейность по оси Z, % |
0,03 |
Резонансная частота по XY (без нагрузки), кГц |
7 |
Резонансная частота по Z (без нагрузки), кГц |
15 |
Масса, кг |
25 |
Напряжение питания, В |
220 |
Частота напряжения питания, Г ц |
50 |