Микроскоп электронный растровый JSM-7401F представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему.

Микроскоп оснащен катодом с полевой эмиссией холодного типа.

Микроскоп состоит из электронно-оптической системы (колонны), камеры объектов с механизмом перемещения объектов и устройством шлюзования, двух детекторов вторичных и одного детектора отраженных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока электроники.

Вакуумная система включает в себя диффузионный и форвакуумный насосы для откачки рабочей камеры микроскопа и 3 ионных насоса для обеспечения вакуума в катодном узле и электронной колонне.

Микроскоп обеспечивает работу, как в режимах регистрации вторичных электронов, так и в режиме регистрации отраженных электронов.

Принцип получения изображения в микроскопе электронном растровом JSM-7401F заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных электронов, при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.

Создание изображения объектов в режиме «Gentle Beam» обеспечивается благодаря торможению первичного пучка полем держателя образца, в результате чего сохраняется возможность наблюдения объекта при пониженных ускоряющих напряжениях с достаточно высоким разрешением.

При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.

В комплект единичного экземпляра микроскопа электронного растрового JSM-7401F, зав. № SM18100077, входят:

• 1. Микроскоп электронный растровый JSM-7401F                                -1 шт.

• 2. Комплект ЗИП и расходные материалы                                     -1 шт.

• 3. Тест-объекты - образцы островковой пленки золота на углероде                 - 1шт.

• 4. Руководство по эксплуатации                                                  - 1 шт.

• I. Разрешение при ускоряющем напряжении 15кВ, нм

2.Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах

при 15 кВ не более, нм

3 .Диапазон регулировки увеличения, крат.......................................................25-5-1000000

• 4. Диапазон измерения линейных размеров, мкм.............................................0,05-5-1000

• 5. Погрешность измерений линейных размеров не более, %

• 6. Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ........................................0,1-5-30

• 7. Номинальное напряжение сети питания, В.........................................220 (+10/-15%)

• 8. Максимальная потребляемая мощность, кВА

• 9. Габаритные размеры основных составных частей не более, мм:

• - стенд с колонной, агрегатом вакуумным, ВКУ.................................990x790x1850

• - видеоконтрольный блок............................................................1200x1000x700

• - блок питания..............................................................................900x450x700

10.Общая масса без ЗИП и упаковки не более, кг...................................................1200

• II. Условия эксплуатации:

• - диапазон температуры окружающего воздуха, °C........................................20 ± 5

• - относительная влажность воздуха, %..........................................................................50^-80

• - диапазон атмосферного давления, кПа........................................................84-5-107