Газоанализаторы THERMOX модели CG1000 (далее - газоанализаторы) представляют собой переносные одноканальные автоматические измерительные приборы непрерывного действия.

Газоанализаторы выпускаются в двух исполнениях: CG1000 (базовое) и CG1000-RTP (для применения в процессах Rapid Thermal Processing (RTP) в производстве полупроводниковых чипов и микросхем). Газоанализатор исполнения CG1000-RTP имеет встроенную систему пробоот-бора, разработанную с учетом требований процессов RTP.

В основу принципа действия газоанализаторов положен электрохимический метод с использованием циркониевого чувствительного элемента.

Г азоанализатор имеет в своем составе микропроцессор, который управляет всеми режимами работы и преобразует выходной сигнал чувствительного элемента в показания в единицах измерений.

Результаты измерений, а также сообщения о параметрах функционирования внутренних блоков газоанализатора (расход анализируемой газовой смеси, температура в измерительной ячейке, ЭДС термопары или напряжение на чувствительном элементе), о наличии неисправностей и о срабатывании пороговых устройств отображаются на многофункциональном жидкокристаллическом дисплее.

На лицевой панели расположена клавиатура для управления работой прибора.

Способ отбора пробы - принудительный, с помощью встроенного побудителя расхода (поставляется по дополнительному заказу), с помощью внешнего побудителя расхода или за счет избыточного давления в точке отбора пробы. Электронный первичный преобразователь расхода позволяет контролировать расход анализируемой смеси.

Газоанализатор имеет цифровой канал передачи данных RS-485 и два унифицированных токовых выхода, предназначенных для дистанционной передачи информации о содержании объемной доли кислорода в анализируемой смеси, температуре в измерительной ячейке, ЭДС термопары или напряжения на чувствительном элементе (по выбору потребителя).

Газоанализатор обеспечивает выдачу выходного унифицированного аналогового сигнала (0-20) мА или (4-20) мА.

Г азоанализатор имеет две цепи сигнализации, каждая из которых может быть запрограммирована на срабатывание при достижении порогового значения содержания кислорода или расхода анализируемой смеси.

Комплект поставки газоанализатора указан в таблице 2.

Таблица 2

• 1) Диапазоны показаний и измерений объемной доли кислорода и пределы допускаемой ос

  новной погрешности газоанализатора приведены в таблице 1.

  Таблица 1

  Диапазон показаний объемной доли кислорода	Диапазон измерений объемной доли кисло-рода	Пределы допускаемой основной погрешности
  		приведенной, %	относительной,%
  0 - 5000 млн’1	0-5 млн’1	± 10	-
  	5-50 млн’1	±10	-
  	50 - 5000 млн'1	-	±10
  0,5-100%	0,5 - 2,5 %	±2	-
  	2,5-100%	-	±2

  2) Пределы допускаемой вариации выходного сигнала газоанализатора,

в долях от пределов допускаемой основной погрешности

• 3) Номинальное время установления показаний Точном (при расходе

анализируемой газовой смеси 150 см³-мин’¹), с

• 4) Пределы допускаемой дополнительной погрешности газоанализато

ра от изменения температуры окружающей среды на каждые 10 °C в диапазоне рабочих условий эксплуатации, в долях от пределов допускаемой основной погрешности

• 5) Пределы допускаемой дополнительной погрешности газоанализатора от изменения атмосферного давления на каждые 3,3 кПа в диапазоне рабочих условий эксплуатации, в долях от пределов допускаемой основной

погрешности

• 6) Предел времени работы газоанализатора без корректировки показа

ний, сут, не более:

• - в диапазоне измерений объемной доли кислорода от 0 до 50 млн’¹

• - в диапазонах измерений объемной доли кислорода

от 50 до 5000 млн’¹, от 0,5 до 2,5 % и от 2,5 до 100 %

• 7) Время прогрева, не более, мин

• 8) Габаритные размеры, не более, мм:

высота

ширина

длина

• 9) Масса, не более, кг

• 10) Напряжение питания переменного тока частотой 50 Гц или 60 Гц, В             220^{+ 33}

• 11) Потребляемая мощность, не более, ВА:

без встроенного насоса

с встроенным насосом

• 12) Срок службы газоанализатора, не менее, лет

Рабочие условия эксплуатации

• - диапазон температуры окружающей среды, °C:

CG1000 без встроенного насоса

CG1000 с встроенным насосом

CG1000-RTP

• - диапазон атмосферного давления, кПа

• - относительная влажность окружающего воздуха при 35 °C, %, не более

• - температура анализируемой газовой смеси, не более, °C

• - диапазон объемного расхода анализируемой газовой смеси, см³-мин'¹

• - диапазон избыточного давления анализируемой газовой смеси, кПа:

CG1 ООО без встроенного насоса                                             3,8-138

CG1000 с встроенным насосом                                       минус 2,5-138

CG1000-RTP                                                       80-108

- объемная доля неизмеряемых компонентов, не более, %:

диоксид углерода (СОг)                                                          15

пары воды (НгО)                                                             20