Номер по Госреестру СИ: 91215-24
91215-24 Микроскопы сканирующие электронные
(ZEM)
Назначение средства измерений:
Микроскопы сканирующие электронные ZEM (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа (опционально, при комплектации энергодисперсионным рентгеновским спектрометром).
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные
Рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные
Рисунок № 2
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные
Рисунок № 3
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные
Рисунок № 4
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) NewBee.
ПО NewBee предназначено для управления микроскопом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО NewBee не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
NewBee |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
1.0 и выше |
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель модуля получения изображений в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Лист № 5 Всего листов 6Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в документе «Микроскопы сканирующие электронные ZEM. Руководство по эксплуатации», раздел 6 «Проведение измерений линейных размеров».Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измеренийГосударственная поверочная схема для средств измерения длины в диапазоне от 10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, утвержденная приказом Росстандарта от 29 декабря 2018 г. № 2840.
ПравообладательФирма «ZepTools Technology Co., Ltd.», Китай.
Юридический адрес: No.101, Building D, High-tech Entrepreneurship Service Center, Economic and Technological Development Zone, Tongling City, Anhui Province, China. Тел.:+86-562-2882800 E-mail: support@zeptools.com Сайт: http://www.zeptools.com
Изготовитель
не осуществляет пломбирование микроскопа. Заводской номер в буквенно-цифровом формате и год изготовления нанесены типографским способом на шильдик, закрепленный на задней панели модуля получения изображений. Нанесение знака поверки на микроскоп не предусмотрено. Общий вид модуля получения изображений микроскопов и место нанесения знака утверждения типа приведены на рисунках 1 - 3.Рисунок 1 - Общий видмодуля получения изображений микроскопов модификации ZEM15.
Рисунок 2 - Общий вид модуля получения изображений микроскопов модификации ZEM18.
место нанесения знака утверждения типа
место нанесения заводского номера
Рисунок 3 - Общий вид модуля получения изображений микроскопов модификации ZEM20.
Общий вид шильдика с заводским номером приведен на рисунке 4.
Рисунок 4 - Общий вид шильдика с заводским номером
Программное обеспечение Управление микроскопом осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) NewBee.
ПО NewBee предназначено для управления микроскопом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО NewBee не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
NewBee |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
1.0 и выше |
Метрологические и технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Модификация микроскопа | ||
ZEM15 |
ZEM18 |
ZEM20 | |
Диапазон измерений линейных размеров, |
от 0,3 до 500 |
от 0,3 до |
от 0,3 до |
мкм |
1000 |
1000 | |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
±5 |
±5 |
±5 |
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Ка марганца, эВ, не более (опционально) |
129 |
129 |
129 |
Наименование характеристики |
Модификация микроскопа | ||
ZEM15 |
ZEM18 |
ZEM20 | |
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ |
от 3 до 15 |
от 3 до 18 |
от 3 до 20 |
Пространственное разрешение, нм |
8 |
6 |
5 |
Максимальное увеличение, крат |
150000 |
150000 |
200000 |
Диапазон перемещений предметного столика по осям Х, Y, мм |
30х30 |
30x30 |
50x50 |
Максимальный размер образца в плоскости XY, мм |
50 |
50 |
80x100 |
Максимальная высота образца, мм |
35 |
35 |
75 |
Диапазон определяемых элементов (опционально) |
от B до Cf | ||
Габаритные размеры (длинахширинахвысота), мм, не более | |||
- модуль получения изображений |
290x560x510 |
380x660x660 | |
- насос форвакуумный |
340x160x140 |
340x160x140 | |
Масса, включая все комплектующие, кг, не более |
80 |
82 |
90 |
Потребляемая мощность, В^А, не более |
1000 |
1000 |
1000 |
Напряжение электрического питания от од- | |||
нофазной сети переменного тока, В |
от 207 до 253 | ||
Условия эксплуатации: | |||
- температура окружающего воздуха, 0С |
от +15 до +25 | ||
- относительная влажность воздуха, % |
от 5 до 70 |
Лист № 5 Всего листов 6 Комплектность средства измерений Таблица 4 - Комплектность средства измерений
Наименование |
Обозначение |
Количество |
Микроскоп сканирующий электронный |
ZEM15 (либо ZEM18, ZEM20) |
1 шт. |
Руководство по эксплуатации |
- |
1 шт. |
Методика поверки |
- |
1 шт. |
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измерений Государственная поверочная схема для средств измерения длины в диапазоне от 10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, утвержденная приказом Росстандарта от 29 декабря 2018 г. № 2840.
Правообладатель Фирма «ZepTools Technology Co., Ltd.», Китай.
Юридический адрес: No.101, Building D, High-tech Entrepreneurship Service Center, Economic and Technological Development Zone, Tongling City, Anhui Province, China. Тел.:+86-562-2882800 E-mail: support@zeptools.com Сайт: http://www.zeptools.com
Фирма «ZepTools Technology Co., Ltd.», Китай.
Юридический адрес: No.101, Building D, High-tech Entrepreneurship Service Center, Economic and Technological Development Zone, Tongling City, Anhui Province, China. Адрес места осуществления деятельности: D101, 1517 Lake Road, Tongling, Anhui, China.
Тел.: +86-562-2882800
E-mail: support@zeptools.com
Сайт: http://www.zeptools.com
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)Адрес:119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, к. 1
Тел./Факс: (495) 935-97-77
E-mail: nicpv@mail.ru
Правообладатель
Фирма «ZepTools Technology Co., Ltd.», Китай.Юридический адрес: No.101, Building D, High-tech Entrepreneurship Service Center, Economic and Technological Development Zone, Tongling City, Anhui Province, China. Тел.:+86-562-2882800 E-mail: support@zeptools.com Сайт: http://www.zeptools.com
Принцип действия микроскопов основан на сканировании сфокусированным пучком ускоренных электронов поверхности исследуемого объекта, детектировании вторичных или обратно-рассеянных электронов для формирования изображения на экране персонального компьютера синхронно с разверткой электронного пучка. Отношение размера изображения на экране к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа. Опционально микроскопы комплектуются энергодисперсионным рентгеновским спектрометром (ЭДС) для регистрации характеристического рентгеновского излучения, возникающего при столкновении электронов пучка с исследуемым объектом. ЭДС позволяет проводить электронно-зондовый элементный анализ исследуемого объекта путем обработки спектра рентгеновского излучения, который включает в себя набор спектральных линий, специфичных для каждого химического элемента. ЭДС выполнен на основе кремниевого дрейфового детектора, охлаждаемого элементом Пельтье.
Микроскопы выпускается в следующих модификациях: ZEM15, ZEM18, ZEM20, которые различаются между собой в основном значениями ускоряющего напряжения и пространственного разрешения. Микроскопы выполнены в настольном варианте и представляют собой автоматизированные многофункциональные измерительные системы.
Микроскоп состоит из модуля получения изображений, отдельного мембранного вакуумного насоса, монитора и персонального компьютера, имеющего специализированное программное обеспечение для управления микроскопом.
Модуль получения изображений включает в себя электронно-оптическую систему (колонну) с электронной пушкой, оснащенной вольфрамовым катодом, камеру образцов, высоковольтный блок, формирующий ускоряющее напряжение, блок электроники, турбомолекуляр-ный насос, детекторы вторичных и обратно-рассеянных электронов. Камера образцов оборудована встроенной оптической цифровой навигационной камерой, позволяющей делать снимок загруженного столика с образцом, который в дальнейшем будет использоваться для навигации. Столик образцов имеет моторизованный механизм перемещения объектов по осям X и Y, ручную регулировку по оси Z и наклон образца.
Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.
Изготовитель не осуществляет пломбирование микроскопа. Заводской номер в буквенно-цифровом формате и год изготовления нанесены типографским способом на шильдик, закрепленный на задней панели модуля получения изображений. Нанесение знака поверки на микроскоп не предусмотрено. Общий вид модуля получения изображений микроскопов и место нанесения знака утверждения типа приведены на рисунках 1 - 3.
Рисунок 1 - Общий видмодуля получения изображений микроскопов модификации ZEM15.
Рисунок 2 - Общий вид модуля получения изображений микроскопов модификации ZEM18.
место нанесения знака утверждения типа
место нанесения заводского номера
Рисунок 3 - Общий вид модуля получения изображений микроскопов модификации ZEM20.
Общий вид шильдика с заводским номером приведен на рисунке 4.
Рисунок 4 - Общий вид шильдика с заводским номером
Таблица 4 -
Наименование |
Обозначение |
Количество |
Микроскоп сканирующий электронный |
ZEM15 (либо ZEM18, ZEM20) |
1 шт. |
Руководство по эксплуатации |
- |
1 шт. |
Методика поверки |
- |
1 шт. |
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Модификация микроскопа | ||
ZEM15 |
ZEM18 |
ZEM20 | |
Диапазон измерений линейных размеров, |
от 0,3 до 500 |
от 0,3 до |
от 0,3 до |
мкм |
1000 |
1000 | |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
±5 |
±5 |
±5 |
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Ка марганца, эВ, не более (опционально) |
129 |
129 |
129 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Модификация микроскопа | ||
ZEM15 |
ZEM18 |
ZEM20 | |
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ |
от 3 до 15 |
от 3 до 18 |
от 3 до 20 |
Пространственное разрешение, нм |
8 |
6 |
5 |
Максимальное увеличение, крат |
150000 |
150000 |
200000 |
Диапазон перемещений предметного столика по осям Х, Y, мм |
30х30 |
30x30 |
50x50 |
Максимальный размер образца в плоскости XY, мм |
50 |
50 |
80x100 |
Максимальная высота образца, мм |
35 |
35 |
75 |
Диапазон определяемых элементов (опционально) |
от B до Cf | ||
Габаритные размеры (длинахширинахвысота), мм, не более | |||
- модуль получения изображений |
290x560x510 |
380x660x660 | |
- насос форвакуумный |
340x160x140 |
340x160x140 | |
Масса, включая все комплектующие, кг, не более |
80 |
82 |
90 |
Потребляемая мощность, В^А, не более |
1000 |
1000 |
1000 |
Напряжение электрического питания от од- | |||
нофазной сети переменного тока, В |
от 207 до 253 | ||
Условия эксплуатации: | |||
- температура окружающего воздуха, 0С |
от +15 до +25 | ||
- относительная влажность воздуха, % |
от 5 до 70 |