Номер по Госреестру СИ: 90732-23
90732-23 Микроскопы сканирующие электронные
(CX-200 PLUS)
Назначение средства измерений:
Микроскопы сканирующие электронные CX-200 PLUS (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа (опционально, при комплектации энергодисперсионным рентгеновским спектрометром).
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные
Рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные
Рисунок № 2
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) NS.
ПО NS предназначено для управления микроскопом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО NS не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
NS |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
4.1.4 и выше |
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель основной консоли в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в документе «Микроскопы сканирующие электронные CX-200 PLUS. Руководство по эксплуатации», раздел 9.1 «Проведение измерений линейных размеров».
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измеренийГосударственная поверочная схема для средств измерения длины в диапазоне от 10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, утвержденная приказом Росстандарта от 29 декабря 2018 г. № 2840.
ПравообладательФирма «COXEM Co., Ltd.», Республика Корея.
Адрес: #201 199, Techno 2-ro(Migun Techno-World 1-cha), Yuseong-gu, Daejeon, KOREA 34025.
Тел.: +82-42-861-1686, факс: +82-42-861-1689
E-mail: overseas@coxem.com
Сайт: www.coxem.com
Изготовитель
не осуществляет пломбирование микроскопа. Заводской номер в буквенно-цифровом формате и год изготовления нанесены типографским способом на шильдик, закрепленный на задней панели основной консоли.Нанесение знака поверки на микроскоп не предусмотрено. Общий вид основной консоли микроскопа и место нанесения знака утверждения типа приведены на рисунке 1.
Рисунок 1 - Общий вид основной консоли микроскопов сканирующих электронных CX-200 PLUS
Общий вид шильдика с заводским номером приведен на рисунке 2.
Рисунок 2 - Общий вид шильдика с заводским номером
Программное обеспечение Управление микроскопом осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) NS.
ПО NS предназначено для управления микроскопом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО NS не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
NS |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
4.1.4 и выше |
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Метрологические и технические характеристики Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 0,3 до 1000 |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
±5 |
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Ка марганца, эВ, не более (опционально) |
133 |
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ |
от 1 до 30 |
Диапазон определяемых элементов (опционально) |
от С до U |
Габаритные размеры (длинахширинахвысота), мм, не более
|
650x685x1500 300Х200Х15О |
Масса, включая все комплектующие, кг, не более |
245 |
Потребляемая мощность, В^А, не более |
3000 |
Напряжение электрического питания от однофазной сети переменного тока частотой 50 Гц, В |
от 207 до 253 |
Условия эксплуатации:
|
от +15 до +25 70 |
Комплектность средства измерений Таблица 4 - Комплектность средства измерений
Наименование |
Обозначение |
Количество |
Микроскоп сканирующий электронный |
CX-200 PLUS |
1 шт. |
Руководство по эксплуатации |
- |
1 шт. |
Методика поверки |
- |
1 шт. |
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измерений Государственная поверочная схема для средств измерения длины в диапазоне от 10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, утвержденная приказом Росстандарта от 29 декабря 2018 г. № 2840.
Правообладатель Фирма «COXEM Co., Ltd.», Республика Корея.
Адрес: #201 199, Techno 2-ro(Migun Techno-World 1-cha), Yuseong-gu, Daejeon, KOREA 34025.
Тел.: +82-42-861-1686, факс: +82-42-861-1689
E-mail: overseas@coxem.com
Сайт: www.coxem.com
Фирма «COXEM Co., Ltd . », Республика Корея.
Адрес: #201 199, Techno 2-ro(Migun Techno-World 1-cha), Yuseong-gu, Daejeon, KOREA 34025.
Тел.: +82-42-861-1686, факс: +82-42-861-1689
E-mail: overseas@coxem.com
Сайт: www.coxem.com
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)
Адрес:119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, к. 1
Тел./Факс: (495) 935-97-77
E-mail: nicpv@mail.ru
Правообладатель
Фирма «COXEM Co., Ltd.», Республика Корея.Адрес: #201 199, Techno 2-ro(Migun Techno-World 1-cha), Yuseong-gu, Daejeon, KOREA 34025.
Тел.: +82-42-861-1686, факс: +82-42-861-1689
E-mail: overseas@coxem.com
Сайт: www.coxem.com
Принцип действия микроскопа основан на сканировании сфокусированным пучком ускоренных электронов поверхности исследуемого объекта, детектировании вторичных или обратнорассеянных электронов для формирования изображения на экране персонального компьютера синхронно с разверткой электронного пучка. Отношение размера изображения на экране к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа. Функция локального электронно-зондового элементного анализа реализуется посредством регистрации характеристического рентгеновского излучения, возникающего при столкновении электронов пучка с исследуемым объектом. Характеристическое рентгеновское излучение, включающее в себя набор спектральных линий, специфичных для каждого химического элемента, детектируется энергодисперсионным рентгеновским спектрометром, выполненным на основе кремниевого дрейфового детектора, охлаждаемого элементом Пельтье.
Микроскоп представляет собой напольную автоматизированную многофункциональную измерительную систему.
Микроскоп состоит из основной консоли, отдельно расположенного форвакуумного насоса и персонального компьютера, имеющего специализированное программное обеспечение для управления микроскопом.
Основная консоль микроскопа включает в себя электронно-оптическую систему (колонну) с электронной пушкой, оснащенной вольфрамовым катодом, камеру образцов, высоковольтный блок, формирующий ускоряющее напряжение в диапазоне от 1 до 30 кВ, блок электроники, турбомолекулярный насос, детекторы вторичных и обратнорассеянных электронов.
Камера образцов оснащена 5-осевым моторизированным столиком, реализующим перемещение по осям X, Y, Z, а также вращение и наклон образца.
Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.
Изготовитель не осуществляет пломбирование микроскопа. Заводской номер в буквенно-цифровом формате и год изготовления нанесены типографским способом на шильдик, закрепленный на задней панели основной консоли.
Нанесение знака поверки на микроскоп не предусмотрено. Общий вид основной консоли микроскопа и место нанесения знака утверждения типа приведены на рисунке 1.
Рисунок 1 - Общий вид основной консоли микроскопов сканирующих электронных CX-200 PLUS
Общий вид шильдика с заводским номером приведен на рисунке 2.
Рисунок 2 - Общий вид шильдика с заводским номером
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 0,3 до 1000 |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
±5 |
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Ка марганца, эВ, не более (опционально) |
133 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ |
от 1 до 30 |
Диапазон определяемых элементов (опционально) |
от С до U |
Габаритные размеры (длинахширинахвысота), мм, не более
|
650x685x1500 300Х200Х15О |
Масса, включая все комплектующие, кг, не более |
245 |
Потребляемая мощность, В^А, не более |
3000 |
Напряжение электрического питания от однофазной сети переменного тока частотой 50 Гц, В |
от 207 до 253 |
Условия эксплуатации:
|
от +15 до +25 70 |