Номер по Госреестру СИ: 80739-20
80739-20 Вакуумметры
(серии IKR)
Назначение средства измерений:
Вакуумметры серии IKR (далее - вакуумметры) предназначены для измерений абсолютного давления негорючих газов.
Внешний вид.
Вакуумметры
Рисунок № 1
Внешний вид.
Вакуумметры
Рисунок № 2
Внешний вид.
Вакуумметры
Рисунок № 3
Внешний вид.
Вакуумметры
Рисунок № 4
Внешний вид.
Вакуумметры
Рисунок № 5
Внешний вид.
Вакуумметры
Рисунок № 6
Внешний вид.
Вакуумметры
Рисунок № 7
Внешний вид.
Вакуумметры
Рисунок № 8
Внешний вид.
Вакуумметры
Рисунок № 9
Программное обеспечение
Входящие в состав вакуумметров (опционально) контроллеры TPG 361, TPG 362, TPG 366, DCU имеют встроенное программное обеспечение (далее - ПО), разработанное изготовителем специально для решения задач управления работой вакуумметров. ПО выполняет следующие функции:
-
- выбор единицы измерений давления;
-
- прием, обработка и отображение измерительной информации;
-
- формирование выходных сигналов;
-
- передача данных;
-
- включение/выключение реле блокировок для выключения вакуумметров при превышении допустимого давления;
-
- автоматическая диагностика состояния вакуумметров, вывод на экран контроллера сообщений об ошибках.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Информация о версии ПО доступна: для контроллеров TPG 361, TPG 362 - нажатием кнопки «Параметры» на панели контроллера, далее - «TEST» - вкладка «SOFTWARE»; для контроллеров TPG 366 - однократным нажатием кнопки «Параметры» на панели контроллера при включении контроллера либо удерживанием кнопки «Параметры» в процессе эксплуатации контроллера, далее - «TEST» - вкладка «SOFTWARE VERSION»; для контроллеров DCU - выводом на экран рабочих параметров при включении контроллера.
Влияние ПО учтено при нормировании метрологических характеристик вакуумметров.
Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений - «низкий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | ||
Идентификационное наименование ПО |
TPG 361; TPG 362 |
TPG 366 |
DCU |
Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже |
V010100 |
V010100 |
010100 |
Цифровой идентификатор ПО |
- |
- |
- |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наноситсяна титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в документе «Вакуумметры серии IKR. Руководство по эксплуатации» раздел 2.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к средству измеренийГОСТ 8.107-81 ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1 • 10-8 1 • 103 Па;
Стандарт предприятия. Вакуумметры IKR.
Изготовитель
Фирма Pfeiffer Vacuum GmbH, ГерманияАдрес: Berliner Strasse 43, 35614, Asslar, Germany
Телефон: +49 6441 802-0, факс: +49 6441 802-1202
W eb -сайт: www.pfeiffer-vacuum. com
E-mail: info@pfeiffer-vacuum.de
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологии им. Д.И.Менделеева»(ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева»)
Адрес: 190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., д. 19
Телефон: (812) 251-76-01, факс (812) 713-01-14
Web-сайт: www.vniim.ru
E-mail: info@vniim.ru
Принцип действия основан на зависимости тока самостоятельного газового разряда, возникающего в результате ионизации молекул газа в скрещенных магнитном и электрическом полях от давления.
Ионизация молекул газа происходит в результате столкновений электронов, вылетающих из катода в результате автоэлектронной эмиссии и движущихся по спиральной траектории в скрещенных электрическом и магнитном поле, с молекулами газа. Положительные ионы газа, образовавшиеся в результате столкновений с электронами, движутся к катоду, в результате чего возникает ионный ток. Количество ионизированных молекул газа, а, следовательно, и возникающий ионный ток, пропорциональны давлению.
Конструктивно вакуумметр состоит из магнитного электроразрядного датчика и электрического кабеля. В состав вакуумметров в соответствии с заказом могут входить контроллеры TPG 361, TPG 362, TPG 366, DCU (далее - контроллеры).
Контроллеры используются для выбора единицы измерений давления, приема, обработки и отображения измерительной информации, формирования выходных сигналов, передачи данных, включения/выключения реле блокировок с целью выключения прибора при превышении допустимого давления, автоматической диагностики состояния прибора, вывода на экран контроллера сообщений об ошибках. Допускается наряду с контроллерами для электропитания вакуумметра применять источник питания постоянного тока, при этом для приема, обработки и отображения измерительной информации использовать значение аналогового выходного сигнала напряжения постоянного тока. Для измерений аналогового сигнала применяется средство измерений напряжения постоянного тока.
Вакуумметры выпускаются в следующих модификациях:
IKR 251 PT R25 500, IKR 251 PT R25 501, IKR 251 PT R25 502, IKR 261 PT R25
IKR 261 PT R25 751, IKR 261 PT R25 761, IKR 270 PT R21 251, IKR 270 PT R21
IKR 360 PT T00 140 01х, IKR 360 PT T00 150 01х, IKR 360 PT T00 350
IKR 361 PT T01 140 01х, IKR 361 PT T01 150 01х, IKR 361 PT T01 350
(для всех модификаций: х = 0 - без защиты от коррозии; х = 1 - с защитой от коррозии).
Модификации отличаются диапазоном измерений, внешним видом, видом присоединительного фланца, габаритными размерами, массой, составом и характеристиками питания.
В качестве единицы измерений давления используется Па. При необходимости в качестве единиц измерений могут быть использованы: мбар, мм рт.ст., гПа, Торр (1 Торр = 1,3 -102 Па).
Пломбирование вакуумметров не предусмотрено. Нанесение знака поверки на вакуумметр не предусмотрено. Заводской номер вакуумметра в виде цифрового обозначения, состоящего из арабских цифр, наносится на корпус вакуумметра фотохимическим или иным способом. Заводской номер входящего в состав вакуумметра (опционально) контроллера в виде цифрового обозначения, состоящего из арабских цифр, наносится на корпус контроллера фотохимическим или иным способом.
Общий вид вакуумметров модификаций IKR 251 PT R25 500, IKR 251 PT R25 501, IKR 251 PT R25 502, IKR 261 PT R25 750, IKR 261 PT R25 751, IKR 270 PT R21 251 представлен на рисунке 1.
Общий вид вакуумметров модификаций IKR 261 PT R25 761, IKR 270 PT R21 261 представлен на рисунке 2.
Общий |
вид |
вакуумметров |
модификаций |
IKR |
360 |
PT |
T00 |
140 |
010, | ||||||||
IKR |
360 |
PT |
T00 |
140 |
011, |
IKR |
360 |
PT |
T00 |
150 |
010, |
IKR |
360 |
PT |
T00 |
150 |
011, |
IKR |
360 |
PT |
T00 |
350 |
010, |
IKR |
360 |
PT |
T00 |
350 |
011, |
IKR |
361 |
PT |
T01 |
140 |
010, |
IKR |
361 |
PT |
T01 |
140 |
011, |
IKR |
361 |
PT |
T01 |
150 |
010, |
IKR |
361 |
PT |
T01 |
150 |
011, |
IKR 361 PT T01 350 010, IKR 361 PT T01 350 011 представлен на рисунке 3.
Общий вид одноканального контроллера TPG 361 представлен на рисунке 4.
Общий вид двухканального контроллера TPG 362 представлен на рисунке 5.
Общий вид шестиканального контроллера TPG 366 представлен на рисунке 6.
Общий вид контроллера DCU с возможностью управления турбомолекулярным насосом представлен на рисунке 7.
Места нанесения заводского номера представлено на рисунке 8.
Рисунок 1 - Общий вид
вакуумметров модификаций
IKR 251 PT R25 500, IKR 251 PT R25 501, IKR 251 PT R25 502, IKR 261 PT R25 750, IKR 261 PT R25 751, IKR 270 PT R21 251
Рисунок 2 - Общий вид вакуумметров модификаций
IKR 261 PT R25 761, IKR 270 PT R21 261
Рисунок 3 - Общий вид вакуумметров модификаций IKR 360 PT T00 140 010,
IKR 360 PT T00 140 011, IKR 360 PT T00 150 010, IKR 360 PT T00 150 011, IKR 360 PT T00 350 010, IKR 360 PT T00 350 011, IKR 361 PT T01 140 010, IKR 361 PT T01 140 011, IKR 361 PT T01 150 010, IKR 361 PT T01 150 011, IKR 361 PT T01 350 010, IKR 361 PT T01 350 011
Рисунок 4 - Общий вид контроллера TPG 361
Рисунок 5 - Общий вид контроллера TPG 362
Рисунок 6 - Общий вид контроллера TPG 366
Рисунок 7 - Общий вид контроллера DCU
Место нанесения заводского номера
Рисунок 8 - Место нанесения заводского номера
Таблица 2 - Метрологические характеристики вакуумметров
Наименование характеристики |
Значение | ||
IKR 251 PT R25 500 |
IKR 251 PT R25 501 |
IKR 251 PT R25 502 | |
Диапазон измерений абсолютного давления, Па |
от 1 •Ю-5 до 1-10’1 |
от 1 • 10-5 до 1 • 10-1 |
от 1 • 10-6 до 1 • 10-1 |
Диапазон показаний абсолютного давления, Па |
от 2^10"7 до 5^10-1 | ||
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % |
±50 |
Наименование характеристики |
Значение | ||
IKR 251 PT R25 500 |
IKR 251 PT R25 501 |
IKR 251 PT R25 502 | |
Аналоговый выходной сигнал * постоянного напряжения , В |
от 1,8 до 8,5 | ||
Параметры электрического питания: - напряжение постоянного тока, В |
от 16,0 до 30,0 | ||
Габаритные размеры, мм, не более (диаметр; длина) |
71,5; 111 | ||
Масса, кг, не более |
1,0 | ||
Условия эксплуатации:
|
от +10 до +30 80 от 84 до 106,7 | ||
Присоединительный фланец |
DN 25 ISO-KF |
DN 40 ISO-KF |
DN 40 CF-F |
Средняя наработка до отказа, ч, не менее |
15000 | ||
Средний срок службы, лет |
5 | ||
*При измерении аналогового выходного сигнала используется средство измерений напряжения постоянного тока с пределами допускаемой основной абсолютной погрешности не более ± (0,008/Пизм+6к) В, к - значение единицы младшего разряда, иизм - измеренное значение напряжения постоянного тока, В. |
Таблица 4 - Метрологические характеристики вакуумметров
Наименование характеристики |
Значение | ||
IKR 261 PT R25 750 |
IKR 261 PT R25 751 |
IKR 261 PT R25 761 | |
Диапазон измерений абсолютного давления, Па |
от 1 • 10’5 до 1-10’1 |
от 1 • 10’6 до 1 • 10’1 |
от 1 •Ю’6 до 1-10’1 |
Диапазон показаний абсолютного давления, Па |
от 2П0’7 до 5^10-1 | ||
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % |
±50 |
Наименование характеристики |
Значение | ||
IKR 261 PT R25 750 |
IKR 261 PT R25 751 |
IKR 261 PT R25 761 | |
Аналоговый выходной сигнал * постоянного напряжения , В |
от 1,8 до 8,5 | ||
Параметры электрического питания: - напряжение постоянного тока, В |
от 15,0 до 30,0 | ||
Габаритные размеры, мм, не более (диаметр; длина) |
71,5; 111 |
71,5; 111 |
71,5; 216,5 |
Масса, кг, не более |
1,2 | ||
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С |
от +10 до +30 | ||
- относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более |
80 | ||
- атмосферное давление, кПа |
от 84 до 106,7 | ||
Присоединительный фланец |
DN 40 ISO-KF |
DN 40 CF-F |
DN 40 CF-F |
Средняя наработка до отказа, ч, не менее |
15000 | ||
Средний срок службы, лет |
5 | ||
*При измерении аналогового выходного сигнала используется средство измерений напряжения постоянного тока с пределами допускаемой основной абсолютной погрешности не более ± (0,008^иизм+6к) В, к - значение единицы младшего разряда, иизм - измеренное значение напряжения постоянного тока, В. |
Таблица 6 - Метрологические характеристики вакуумметров
Наименование характеристики |
Значение |
IKR 270 IKR 270 PT R21 251 PT R21 261 | |
Диапазон измерений абсолютного давления, Па |
от 1 • 10-7 до 1 • 10-1 |
Диапазон показаний абсолютного давления, Па |
от 540’9 до 5^10-1 |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % |
±50 |
Наименование характеристики |
Значение | |
IKR 270 PT R21 251 |
IKR 270 PT R21 261 | |
Аналоговый выходной сигнал * постоянного напряжения , В |
от 1,96 до 8,6 | |
Параметры электрического питания: - напряжение постоянного тока, В |
от 14,5 до 30,0 | |
Габаритные размеры, мм, не более (диаметр; длина) |
71,5; 111 |
71,5; 216,5 |
Масса, кг, не более |
1,2 | |
Условия эксплуатации:
|
от +10 до +30 80 от 84 до 106,7 | |
Присоединительный фланец |
DN 40 CF-F |
DN 40 CF-F |
Средняя наработка до отказа, ч, не менее |
15000 | |
Средний срок службы, лет |
5 | |
*При измерении аналогового выходного сигнала используется средство измерений напряжения постоянного тока с пределами допускаемой основной абсолютной погрешности не более ± (0,008^иизм+6к) В, к - значение единицы младшего разряда, иизм - измеренное значение напряжения постоянного тока, В. |
Таблица 8 - Метрологические характеристики вакуумметров
Наименование характеристики |
Значение | ||
IKR 360 PT T00 140 010 |
IKR 360 PT T00 140 011 |
IKR 360 PT T00 150 010 | |
Диапазон измерений абсолютного давления, Па |
от 1 • 10-5 до 1 • 10-1 | ||
Диапазон показаний абсолютного давления, Па |
от 1 • 10-7 до 5^10-1 | ||
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % |
±50 |
Наименование характеристики |
Значение | ||
IKR 360 PT T00 140 010 |
IKR 360 PT T00 140 011 |
IKR 360 PT T00 150 010 | |
Аналоговый выходной сигнал * постоянного напряжения , В |
от 1,5 до 8,5 | ||
Параметры электрического питания: - напряжение постоянного тока, В |
от 14,5 до 30,0 | ||
Габаритные размеры, мм, не более (высота; ширина; длина) |
102; 47; 47 | ||
Масса, кг, не более |
0,6 | ||
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С |
от +10 до +30 | ||
|
80 от 84 до 106,7 | ||
Присоединительный фланец |
DN 25 ISO-KF |
DN 25 ISO-KF |
DN 40 ISO-KF |
Средняя наработка до отказа, ч, не менее |
15000 | ||
Средний срок службы, лет |
5 | ||
*При измерении аналогового выходного сигнала используется средство измерений напряжения постоянного тока с пределами допускаемой основной абсолютной погрешности не более ± (0,008^иизм+6к) В, к - значение единицы младшего разряда, иизм - измеренное значение напряжения постоянного тока, В. |
Таблица 10 - Метрологические характеристики вакуумметров
Наименование характеристики |
Значение | ||
IKR 360 PT T00 150 011 |
IKR 360 PT T00 350 010 |
IKR 360 PT T00 350 011 | |
Диапазон измерений абсолютного давления, Па |
от 1 • 10'5 до 1-10’1 |
от 1 •Ю'6 до 1 • 10'1 |
от 1 •Ю'6 до 1 • 10'1 |
Диапазон показаний абсолютного давления, Па |
от 1 •Ю'7 до 540'1 | ||
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % |
±50 |
Наименование характеристики |
Значение | ||
IKR 360 PT T00 150 011 |
IKR 360 PT T00 350 010 |
IKR 360 PT T00 350 011 | |
Аналоговый выходной сигнал * постоянного напряжения , В |
от 1,5 до 8,5 | ||
Параметры электрического питания: - напряжение постоянного тока, В |
от 14,5 до 30,0 | ||
Габаритные размеры, мм, не более (высота; ширина; длина) |
102; 47; 47 | ||
Масса, кг, не более |
0,6 | ||
Условия эксплуатации:
|
от +10 до +30 80 от 84 до 106,7 | ||
Присоединительный фланец |
DN 40 ISO-KF |
DN 40 CF-F |
DN 40 CF-F |
Средняя наработка до отказа, ч, не менее |
15000 | ||
Средний срок службы, лет |
5 | ||
*При измерении аналогового выходного сигнала используется средство измерений напряжения постоянного тока с пределами допускаемой основной абсолютной погрешности не более ± (0,008^иизм+6к) В, к - значение единицы младшего разряда, иизм - измеренное значение напряжения постоянного тока, В. |
Таблица 12 - Метрологические характеристики вакуумметров
Наименование характеристики |
Значение | ||
IKR 361 PT T01 140 010 |
IKR 361 PT T01 140 011 |
IKR 361 PT T01 150 010 | |
Диапазон измерений абсолютного давления, Па |
от 1 •10-5 до 1-10’1 | ||
Диапазон показаний абсолютного давления, Па |
от 1 •Ю’7 до 5И0"1 | ||
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % |
±50 |
Наименование характеристики |
Значение |
IKR 361 IKR 361 IKR 361 PT T01 140 010 PT T01 140 011 PT T01 150 010 | |
Аналоговый выходной сигнал * постоянного напряжения , В |
от 1,5 до 8,5 |
Параметры электрического питания: - напряжение постоянного тока, В |
от 14,5 до 30,0 |
Габаритные размеры, мм, не более (высота; ширина; длина) |
102; 47; 47 |
Масса, кг, не более |
0,6 |
Условия эксплуатации:
|
от +10 до +30 80 от 84 до 106,7 |
Присоединительный фланец |
DN 25 ISO-KF DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF |
Средняя наработка до отказа, ч, не менее |
15000 |
Средний срок службы, лет |
5 |
*При измерении аналогового выходного сигнала используется средство измерений напряжения постоянного тока с пределами допускаемой основной абсолютной погрешности не более ± (0,008^иизм+6к) В, к - значение единицы младшего разряда, иизм - измеренное значение напряжения постоянного тока, В. |
Таблица 14 - Метрологические характеристики вакуумметров
Наименование характеристики |
Значение | ||
IKR 361 PT T01 150 011 |
IKR 361 PT T01 350 010 |
IKR 361 PT T01 350 011 | |
Диапазон измерений абсолютного давления, Па |
от 1 • 10'5 до 1-10’1 |
от 1 •Ю'6 до 1 • 10'1 |
от 1 • 10'6 до 1-10’1 |
Диапазон показаний абсолютного давления, Па |
от 1 •Ю'7 до 540'1 | ||
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % |
±50 |
Наименование характеристики |
Значение | ||
IKR 361 PT T01 150 011 |
IKR 361 PT T01 350 010 |
IKR 361 PT T01 350 011 | |
Аналоговый выходной сигнал * постоянного напряжения , В |
от 1,5 до 8,5 | ||
Параметры электрического питания: - напряжение постоянного тока, В |
от 14,5 до 30,0 | ||
Габаритные размеры, мм, не более (высота; ширина; длина) |
102; 47; 47 | ||
Масса, кг, не более |
0,6 | ||
Условия эксплуатации:
|
от +10 до +30 80 от 84 до 106,7 | ||
Присоединительный фланец |
DN 40 ISO-KF |
DN 40 CF-F |
DN 40 CF-F |
Средняя наработка до отказа, ч, не менее |
15000 | ||
Средний срок службы, лет |
5 | ||
*При измерении аналогового выходного сигнала используется средство измерений напряжения постоянного тока с пределами допускаемой основной абсолютной погрешности не более ± (0,008^иизм+6к) В, к - значение единицы младшего разряда, иизм - измеренное значение напряжения постоянного тока, В. |
Таблица 16 - Основные технические характеристики контроллеров
Наименование характеристики |
Значение | |||
TPG 361 |
TPG 362 |
TPG 366 |
DCU | |
Количество каналов |
1 |
2 |
6 |
1 |
Параметры электрического питания:
|
от 100 до 240 от 50 до 60 |
от 115 до 230 от 50 до 60 | ||
Потребляемая мощность, В^А, не более |
45 |
65 |
200 |
450 |
Габаритные размеры, мм, не более (высота; ширина; длина) |
128,5; 70,8; 227 |
128,5; 213; 161,5 |
128,5; 106,7; 245,0 | |
Масса, кг, не более |
1,1 |
2,2 |
2,3 |