Номер по Госреестру СИ: 80705-20
80705-20 Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые
(LX218)
Назначение средства измерений:
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые LX218 (далее - течеискатели) предназначены для измерений потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов.
Внешний вид.
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Течеискатели имеют встроенное программное обеспечение (ПО), разработанное изготовителем специально для решения задач измерения потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости, заполнение гелием либо смесью газов, содержащих гелий.
ПО течеискателей выполняет следующие функции:
-
- управление работой вакуумной системы течеискателя (работой вакуумных насосов, клапанов);
-
- управление работой масс-спектрометрического анализатора (определение чувствительности, настройка на пик гелия);
-
- сбор, обработка и передача измерительной информации на устройство вывода;
-
- отображение измерительной информации;
-
- автоматическая диагностика состояния течеискателя.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Информация о версии ПО доступна в меню «Setup» - «Information» - «System data».
Влияние ПО течеискателей учтено при нормировании метрологических характеристик.
Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений течеискателей - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
INFICON LX218 |
Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже |
V1.18 |
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Лист № 3
Всего листов 5
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на корпус течеискателя способом наклейки или иным способом, на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Лист № 4 Всего листов 5
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к течеискателям масс-спектрометрическим гелиевым LX218ГОСТ 28517-90 Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеискания. Общие требования
ГОСТ Р 53177-2008 Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности
Техническая документация компании INFICON GmbH, Германия
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 231-0079-2020 «ГСИ. Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые LX218. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева» 04 сентября 2020 г.
Основные средства поверки:
Государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме в диапазоне 10-12 - 1 Па^м3/с ГВЭТ 49-2-2006, СКО: в диапазоне от 10-12 до 10-9 Па^м3/с не более (0,1 - 0,015); в диапазоне свыше 10-9 до 1 Па^м3/с не более 0,015 в соответствии с локальной поверочной схемой для средств измерений потока газа в вакууме в диапазоне 10-13 - 1 Па-м3/с, утвержденной ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева» 19.07.2006.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Изготовитель
Компания INFICON GmbH, ГерманияАдрес: Bonner Strasse 498, D-50968 Cologne, Koln, Germany
Телефон: +49 (221) 56788-100
Web-сайт: www.inficon.com
E-mail: reach.germany@inficon.com
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «ЭРСТВАК»(ООО «ЭРСТВАК»)
ИНН 7717740996
Адрес: 107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д. 23, стр. 8, оф. 104
Телефон: +7 (499) 703-06-36, факс: +7 (499) 703-06-36
Web-сайт: www.erstvak.com
E-mail: info@erstvak.com
Лист № 5 Всего листов 5
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологии им. Д.И.Менделеева»Адрес: 190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., д. 19
Телефон: +7 (812) 251-76-01, факс: +7 (812) 713-01-14
Web-сайт: www.vniim.ru
E-mail: info@vniim.ru
Принцип действия течеискателей основан на измерении электрического сигнала от ионизированных молекул пробного газа (по умолчанию - гелия) в ионном коллекторе течеискателя. Молекулы газа, попадая в масс-спектрометр, ионизируются ионным источником. Данные положительно заряженные частицы ускоряются в магнитном поле по окружности, радиус которой зависит от относительной атомной массы иона. При выборе в качестве пробного газа гелия (по умолчанию) только ионы гелия могут проходить через фильтр и достигать ионного коллектора, на котором измеряется поток ионов, в виде электрического сигнала.
В корпусе течеискателя находятся масс-спектрометрический анализатор, настроенный на регистрацию ионов гелия в качестве пробного газа, вакуумная система, электроника течеискателя и интерфейс оператора (жидкокристаллический дисплей). Подключение испытуемого объекта к вакуумной системе течеискателя осуществляется с помощью присоединительного фланца (испытательный порт), расположенного на верхней панели корпуса течеискателя.
Течеискатели функционируют в следующих режимах работы: «Vacuum» (режимы «ULTRA», «FINE», «GROSS») и «Sniff» (режим «FINE»). В режиме «Vacuum» пробный газ поступает в проверяемый объект, давление в проверяемом объекте ниже окружающего давления. В режиме «Sniff» пробный газ выходит из проверяемого объекта и отсасывается ручкой-детектором, давление в проверяемом объекте выше окружающего давления.
Пломбирование течеискателей не предусмотрено. Общий вид течеискателей представлен на рисунке 1.
Лист № 2
Всего листов 5
Рисунок 1 - Общий вид течеискателей масс-спектрометрических гелиевых LX218
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон измерений потока газа в вакууме по входу течеискателя в режиме «Vacuum», Па^м3/с* |
от 140-12 до 1-10"1 |
Диапазон показаний потока газа в вакууме по входу течеискателя в режиме «Vacuum», 1 кгм3/с* |
от 5^10-13 до 1-10"1 |
Диапазон показаний потока газа в вакууме при работе в режиме «Sniff», Па^м3/с* |
от 1^10-9 до 1-10"1 |
1ределы допускаемой относительной погрешности измерений потока газа в вакууме по входу течеискателя в режиме «Vacuum», % (где Qнпи - значение нижнего предела измерений, Па^м3/с*; Qизм - значение измеренного потока, Па^м3/с*):
|
±(0,15 + Qнnи/Qизм)•100 ±50 не нормируется |
*Производная единица величины потока газа в вакууме Па^м3/с образована в соответствии с п. 5.2.1 ГОСТ 8.417-2002 на основании уравнения связи (измерений), полученного из уравнения состояния идеального газа. |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
1араметры электрического питания:
|
230±23; 115±11,5; 165±65 50; 60; 50/60 |
Потребляемая мощность, В^А, не более |
720 |
Габаритные размеры мм, не более (высота; ширина; длина) |
425; 305; 555 |
Масса, кг, не более |
42 |
Условия эксплуатации:
|
от +10 до +35 80 от 84 до 106,7 |
Средняя наработка на отказ, ч |
15000 |
Средний срок службы, лет |
10 |