Номер по Госреестру СИ: 79934-20
79934-20 Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев
(КТ-1)
Назначение средства измерений:
Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев КТ-1 (далее по тексту - установка) предназначена для автоматизированного измерения толщин полупрозрачных пленок (полупроводниковые, диэлектрические, электрооптические, SOI или SOS материалы; многослойные, оптические антиотражающие покрытия; тонкие металлы; материалы планарных волноводов; стекло с покрытием; многослойные тонкопленочные структуры).
Внешний вид.
Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев
Рисунок № 1
Внешний вид.
Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев
Рисунок № 2
Общие сведения
Дата публикации - 26.12.2020
Срок свидетельства -
Номер записи - 179172
ID в реестре СИ - 1384438
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Нет модификации,
Производитель
Изготовитель - Общество с ограниченной ответственностью "Автоматизированная система контроля и диагностирования "ИБИС" (ООО "АСКД "ИБИС")
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - Московская обл., г. Мытищи
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Отчет MI_4 состоит из одной диаграммы и таблицы. Диаграмма является интерактивной, обладает свойством масштабирования и опцией выгрузки данных в эксель. Таблица оснащена поиском и функцией сортировки по любой из колонок.
Пузырьковая диаграмма "Области и разделы областей измерений" наглядно показывает разделы областей измерений в части количества типов СИ. Из диаграммы можно сделать выводы о величине областей изерений, количестве и размерах, входящих в них разделов СИ.
Каталог СИ, используемый в сервисе ОЕИ-Аналитика имеет трехуровневую структуру вида: области измерений (более 20), разделы областей измерений (более 250) и группы СИ (более 10 тыс.). При разработке каталога были использованы как существующие кодификаторы: МИ 2803-2014, МИ 2314-2006, МИ 2314-2022, так и собственные наработки. Перед применением каталог был адаптирован и обогащен данными из реального реестра, утвержденных типов СИ ФГИС АРШИН.
Статистика
Кол-во поверок - 2
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№1957 от 2020.12.02 Об утверждении типа средств измерений
Наличие аналогов СИ: Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев (КТ-1)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Общество с ограниченной ответственностью "Автоматизированная система контроля и диагностирования "ИБИС" (ООО "АСКД "ИБИС")
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
79934-20 |
Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев , КТ-1 Общество с ограниченной ответственностью "Автоматизированная система контроля и диагностирования "ИБИС" (ООО "АСКД "ИБИС") (РОССИЯ Московская обл., г. Мытищи) |
ОТ МП |
1 год |
Справочник государственных первичных эталонов РФ является копией соответствующего реестра ФГИС «АРШИН» (https://fgis.gost.ru/fundmetrology/registry/12) и содержит сведения о государственных первичных эталонов РФ.
Справочник содержит более 150 записей и актуализируется не реже 1 раза в месяц.
Кто поверяет Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев (КТ-1)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | РСТ | 1 | 0 | 0 | 0 | 1 | 0 | 0 | ||
| ФГБУ "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 |
Стоимость поверки Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев (КТ-1)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление процессом измерения в установке осуществляется с помощью специального программного обеспечения Rudolph Technologies: Operator. Программное обеспечение служит для настройки эллипсометра, проведения измерений, анализа и обработки полученных данных.
ПО имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью клавиатуры и мыши на персональном компьютере.
Программное обеспечение (ПО) имеет следующие идентификационные данные: Таблица 1
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
Rudolph Technologies: Operator |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 7.8431 S |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
Программное обеспечение устанавливается в определенную директорию жесткого диска персонального компьютера. Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя, а также наличием пароля.
Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия - изготовителя с помощью специального оборудования.
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «высокий» согласно Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к установке контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоёв КТ-1Локальная поверочная схема средств измерений толщины покрытий в диапазоне значений от 1 до 1000 нм, утвержденная ФГУП «ВНИИОФИ» 08.08.2019
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 030.М44-20 «ГСИ. Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев КТ-1. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 04 сентября 2020 г.
Основные средства поверки:
Рабочий эталон единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий в диапазоне значений от 10 до 1000 нм (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 3.1.ZZA.0123.2019).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Изготовитель
Общество с ограниченной ответственностью «Автоматизированная система контроля и диагностирования «ИБИС» (ООО «АСКД «ИБИС»)Адрес: 141018, Россия, Московская область, г. Мытищи, ул. Летная, стр. 19, помещ. 414
ИНН 5029226507
Тел: +7 (965) 308-45-45
E-mail: ackd-ibis@yandex.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Телефон: +7 (495) 437-56-33
Факс: +7 (495) 437-31-47
Web-сайт: www.vniiofi.ru
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Принцип действия установки основан на эллипсометрическом методе измерения тонких пленок. Установка состоит из измерительного модуля и SMIF-загрузчика для автоматического размещения измеряемых образцов пленок в измерительном модуле.
В установке реализованы методы эллипсометрического исследования тонких пленок - спектральная эллипсометрия с вращающимся компенсатором в диапазоне длин волн от 633 до 905 нм и многоракурсная поляризационная рефлектометрия в диапазоне длин волн от 190 до 905 нм.
Общий вид установки пред ставлен на рисунке 1.
Место пломбировки представлено на рисунке 2.
КТ-1зав. № 001
2
Места пломбировки
Рисунок 2 - Места пломбировки
Таблица 4
|
Наименование характеристики |
Обозначение |
Количество |
|
Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев КТ -1 |
зав.№ 001 |
1 шт. |
|
SMIF-загрузчик ARM 1150 |
- |
1 шт. |
|
SMIF-контейнер для пластин Asyst 9700-4950-01 |
- |
1 шт. |
|
Кассета для пластин FB15A100H02 |
- |
1 шт. |
|
Устройство открытия-закрытия SMIF-контейнеров Pod Opener |
- |
1 шт. |
|
Сосуд |
ГНДИ.307441.001 |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 030.М44-20 |
1 экз. |
|
Руководство по эксплуатации |
000.037.МК03 РЭ |
1 экз. |
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений толщины, нм |
от 10 до 1000 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины, нм |
±2 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон показаний толщины, нм |
от 1,5 до 30000 |
|
Спектральный диапазон длин волн, нм |
от 190 до 905 |
|
Напряжение электропитания, В |
220 ± 10 |
|
Частота сети питания, Гц |
50 ± 1 |
|
Мощность, 1ТА |
4900 |
|
Габаритные размеры, мм, не более |
1752x1041x1803 |
|
Масса, кг, не более |
832 |
|
Условия эксплуатации:
|
от +15 до +25 80 от 84 до 106,7 |