Номер по Госреестру СИ: 79069-20
79069-20 Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда
(УВЭ-3)
Назначение средства измерений:
Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3 (далее по тексту -установка) предназначена для воспроизведения и точных измерений абсолютного давления негорючих и неагрессивных газов с целью поверки и калибровки средств измерений низких абсолютных давлений и вакуума.
Внешний вид.
Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда
Рисунок № 1
Внешний вид.
Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда
Рисунок № 2
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации, фотохимическим или иным методом на корпус установки.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установке вакуумметрической эталонной 2-го разряда УВЭ-3
ГОСТ 8.107-81 ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1 10-8-1 103 Па
Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1-10-1 - 1407, утвержденная Приказом Росстандарта № 2900 от 06.12.2019 г.
Техническая документация изготовителя
Поверка
Поверка (калибровка) вакуумметров осуществляется непосредственным сличением их показаний с показаниями эталонных вакуумметров установки: в диапазоне от 1 10-5 до 1 10-2 Па с вакуумметром AIGX, в диапазоне свыше 1 10-2 до 1,06 105 Па с вакуумметром ВДТО-3.Пломбировка корпуса установки не предусмотрена.
Общий вид установки приведен на рисунке 1.
Маркировка
УВЭ-3
Рисунок 1 - Общий вид установки вакуумметрической эталонной 2-го разряда УВЭ-3
На рисунке 2 изображена шильда маркировки установки.
Рисунок 2 - Шильда маркировки установки вакуумметрической эталонной 2-го разряда УВЭ-3
Программное обеспечение отсутствует.
Метрологические и технические характеристикиТаблица 1 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон измерений давления, Па |
от 1-10"5 до 1,06 • 105 Па |
Пределы допускаемой относительной погрешности | |
измерений, % в диапазоне от 1 10-5 до 1 10-2 Па включ. |
±15 |
в диапазоне свыше 1 10-2 до 6,65 103 Па включ. |
±10 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности | |
измерений, Па в диапазоне свыше 6,65 103 до 1,06 105 Па |
±665 |
Остаточное давление, Па, не более |
1Л0’6 |
Таблица 2 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Параметры электрического питания: | |
- напряжение переменного тока, В |
220±22 |
- частота переменного тока, Гц |
50±1 |
Потребляемая мощность, кВ^А, не более |
2,5 |
Габаритные размеры, мм, не более | |
- длина |
1300 |
- ширина |
780 |
- высота |
1400 |
Масса, кг, не более |
200 |
Условия эксплуатации: | |
- температура окружающей среды, !С |
от +15 до +30 |
- относительная влажность, %, не более |
80 |
- атмосферное давление, кПа |
от 84 до 106,7 |
Средняя наработка на отказ, ч |
10000 |
Средний срок службы, лет |
10 |
наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации, фотохимическим или иным методом на корпус установки.
Комплектность средства измеренийТаблица 3 - Комплектность средства измерений
Наименование |
Обозначение |
Кол-во |
Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда |
УВЭ-3 |
1 шт. |
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
Комплект запасных частей и принадлежностей |
- |
1 компл. |
Методика поверки |
МП 231-0078-2020 |
1 экз. |
осуществляется по документу МП 231-0078-2020 «ГСИ. Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 29 апреля 2020 г.
Основные средства поверки:
Вакуумметр ионизационный AIGX-S, диапазон измерений абсолютного давления в диапазоне от 6,6^10-8 до 6,6 Па, допускаемая относительная погрешность "15 %
(регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 44388-10).
Рабочий эталон 1 разряда единицы абсолютного давления по ГОСТ 8.107-81 «ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1 10-8-1 103 Па», в диапазоне измерений абсолютного давления от 1,0-10-7 до 1,0-103 Па, пределы допускаемой относительной погрешности "(7-3) % (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 3.1.ZZB.0050.2015).
Рабочий эталон 1 разряда единицы абсолютного давления по Государственной поверочной схеме для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1-10’1 - V107», утвержденной Приказом Росстандарта № 2900 от 06.12.2019 г., диапазон абсолютного давления от 5 до 1300 гПа, пределы допускаемой абсолютной погрешности 10 Па (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 3.1.ZZB.0084.2015).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке и (или) корпус.
Изготовитель
Общество с ограниченной ответственностью «Оптимальный Вакуум» (ООО «ОптиВак»)
ИНН 7814554709
Адрес: 165299, г. Санкт-Петербург, ул. Киришская, дом 4, кв. 48
Телефон: +7 (905) 221-24-12, факс: +7 (812) 339-45-60
Web-сайт: www.optivac.ru
Заявитель
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева»
Адрес: 190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., д.19
Телефон: +7 (812) 251-76-01, факс: +7 (812) 713-01-14
Web-сайт: www.vniim.ru
E-mail: info@vniim.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева»
Адрес: 190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., д.19
Телефон: +7 (812) 251-76-01, факс: +7 (812) 713-01-14
Web-сайт: www.vniim.ru
Установка представляет собой вакуумную откачную систему с измерительной камерой, на которой установлены два эталонных вакуумметра - ионизационный AIGX и деформационно-термопарный ВДТО-3.
Принцип действия установки основан на непосредственном измерении эталонными вакуумметрами, входящими в состав установки, абсолютного давления, создаваемого форвакуумным и турбомолекулярным насосами в измерительной камере. Регулирование давления в камере установки осуществляется при помощи вакуумных клапанов и натекателя.
Конструктивно установка выполнена в общем металлическом передвижном корпусе. На передней панели корпуса расположены органы управления установкой и лицевые панели электронного блока вакуумметра ВДТО-3 и контроллера TIC, который предназначен для управления турбомолекулярным насосом и отображения значений давления, измеряемого вакуумметром AIGX. К измерительной камере, кроме эталонных вакуумметров, подключен вакуумметр сопротивления APG, предназначенный для индикации давления в форвакуумной линии турбомолекулярного насоса, и вакуумметр тепловой CVM211 для контроля давления в измерительной камере установки. При поверке (калибровке) на установке рабочих средств измерений низких абсолютных давлений (вакуумметров) их измерительные преобразователи подключают к соответствующим клапанам измерительной камеры установки. Поверка (калибровка) вакуумметров осуществляется непосредственным сличением их показаний с показаниями эталонных вакуумметров установки: в диапазоне от 1 10-5 до 1 10-2 Па с вакуумметром AIGX, в диапазоне свыше 1 10-2 до 1,06 105 Па с вакуумметром ВДТО-3.
Пломбировка корпуса установки не предусмотрена.
Общий вид установки приведен на рисунке 1.
Маркировка
УВЭ-3
Рисунок 1 - Общий вид установки вакуумметрической эталонной 2-го разряда УВЭ-3
На рисунке 2 изображена шильда маркировки установки.
Рисунок 2 - Шильда маркировки установки вакуумметрической эталонной 2-го разряда УВЭ-3
Программное обеспечение отсутствует.
Таблица 1 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон измерений давления, Па |
от 1-10"5 до 1,06 • 105 Па |
Пределы допускаемой относительной погрешности | |
измерений, % в диапазоне от 1 10-5 до 1 10-2 Па включ. |
±15 |
в диапазоне свыше 1 10-2 до 6,65 103 Па включ. |
±10 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности | |
измерений, Па в диапазоне свыше 6,65 103 до 1,06 105 Па |
±665 |
Остаточное давление, Па, не более |
1Л0’6 |
Таблица 2 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Параметры электрического питания: | |
- напряжение переменного тока, В |
220±22 |
- частота переменного тока, Гц |
50±1 |
Потребляемая мощность, кВ^А, не более |
2,5 |
Габаритные размеры, мм, не более | |
- длина |
1300 |
- ширина |
780 |
- высота |
1400 |
Масса, кг, не более |
200 |
Условия эксплуатации: | |
- температура окружающей среды, !С |
от +15 до +30 |
- относительная влажность, %, не более |
80 |
- атмосферное давление, кПа |
от 84 до 106,7 |
Средняя наработка на отказ, ч |
10000 |
Средний срок службы, лет |
10 |