Номер по Госреестру СИ: 71147-18
71147-18 Интерферометры лазерные
(ФТИ)
Назначение средства измерений:
Интерферометры лазерные ФТИ (далее интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей.
Внешний вид.
Интерферометры лазерные
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 26.08.2018
Срок свидетельства - 21.05.2024
Номер записи - 167226
ID в реестре СИ - 396110
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
ФТИ-11, ФТИ-100 PS-GbE-R, ФТИ-100,
Производитель
Изготовитель - ЗАО "Дифракция"
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Новосибирск
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Отчет представляет собой таблицу с перечнем эталонов организаций, применяемых при поверке cредств измерений биоанализа. По каждому эталону приведена статистика поверок СИ по годам. В качестве эталона могут выступать ГЭТ, эталоны единиц величин или СИ, используемые в качестве эталонов.
Статистика
Кол-во поверок - 19
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 15
Кол-во средств измерений - 4
Кол-во владельцев - 5
Усредненный год выпуска СИ - 2019
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№977 от 2018.05.21 Об утверждении типов средств измерений
Наличие аналогов СИ: Интерферометры лазерные (ФТИ)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Кто поверяет Интерферометры лазерные (ФТИ)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП "ВНИИМС" (01.00225-2011) | РСТ | 2 | 0 | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ФГУП "ВНИИМС" (RA.RU.311493) | РСТ | 3 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| АО "НИИ ОЭП" (RA.RU.311965) | 4 | 1 | 0 | 4 | 0 | 4 | 0 | 4 | ||
| Западно-Сибирский филиал ФГУП "ВНИИФТРИ" (RA.RU.311579) | РСТ | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | ||
| ФГБУ "ВНИИМС" (RA.RU.311493) | РСТ | 9 | 2 | 0 | 9 | 0 | 7 | 0 | 7 |
Стоимость поверки Интерферометры лазерные (ФТИ)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Интерферометры оснащены программным обеспечением (ПО) DiOpto. Програмное обеспечение позволяет вычислять отклонения формы контролируемой поверхности от эталонной плоскости методами трассирования полос (TS) или спектральным методом (SM) и при наличии блока фазового сдвига - методом фазового сдвига (PS).
Вычислительные алгоритмы ПО расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО интерферометров
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
DiOpto |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
v.3.17 и выше |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Для защиты ПО от несанкционированного доступа используют USB-ключ.
Защита программного обеспечения интерферометров соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационных документах.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к интерферометрам лазерным ФТИ
ЮТ.60826752.001ТУ Интерферометр лазерный ФТИ. Технические условия
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП № 203-65-2017 «Интерферометры лазерные ФТИ. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМС» 22 сентября 2017 г.
Основное средство поверки: мера отклонений от плоскостности 0 120 мм, рег. № 48279-11.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Изготовитель
Закрытое Акционерное общество «Дифракция» (ЗАО «Дифракция»)
ИНН 5408270404
Адрес: 630128, u/ Новосибирск, ул. Кутателадзе, д. 4Г, оф.218
Тел./факс: +7 (383)-332-50-60
E-mail: www.diffraction.ru
Web-сайт: v.n.homutov@gmail.com
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы»Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Тел.: +7 (495) 437-55-77, факс: +7 (495) 437-56-66 E-mail: office@vniims.ru
Web-сайт: www.vniims.ru
Измерение отклонений от плоскостности оптических поверхностей основано на анализе деформации формы интерференционных полос возникающих в промежутке между поверхностью контролируемой детали и эталонной поверхностью сравнения в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.
Интерферометр состоит из следующих основных блоков: оптико-механического блока, блока байонетного крепления эталонной пластины и компьютера с программным обеспечением (ПО) для управления интерферометром и анализа интерферограм. Опционально интерферометр может оснащаться блоком фазового сдвига с пъезоприводом.
В качестве источника света в интерферометре может использоваться He-Ne лазер с длиной волны 632 нм или DPSS лазер с длиной волны 532 нм. Оптико-механический блок преобразует лазерное излучение и формирует плоский волновой фронт. Далее волновой фронт с помощью эталонной пластины, закрепленной в байонетном креплении, делится на два. Один волновой фронт - опорный - отражается от поверхности эталонной пластины непосредственно назад в интерферометр. Другой - рабочий волновой фронт - проходит эталон и искажается контролируемой деталью. Он также возвращается в интерферометр и интерферирует с опорным. Анализ получаемой интерференционной картины дает информацию об отклонениях от плоскостности измеряемой оптической поверхности.
Интерферометры в зависимости от диаметра эталонной пластины изготавливают двух модификаций: ФТИ-50 и ФТИ-100 (таблица 2).
Внешний вид интерферометров приведен на рисунке 1.
Пломбирование интерферометров лазерных ФТИ от несанкционированного доступа не предусмотрено.
Рисунок 1 - Внешний вид интерферометров лазерных ФТИ
Таблица 4 -
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Интерферометр лазерный |
ФТИ |
1 шт. |
|
Блок фазового сдвига с пьезоприводом* |
1 шт. | |
|
Компьютер с ПО |
1 шт. | |
|
Технические условия |
ЮТ.60826752.001ТУ |
1 экз. |
|
Руководство по эксплуатации |
ЮТ.60826752.001РЭ |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП № 203-65-2017 |
1 экз. |
*поставляется опционально
Таблица 2 - Метрологические характеристики интерферометров
|
Модификация |
ФТИ-50 |
ФТИ-100 |
|
Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм |
от 0,03 до 2,00 |
от 0,03 до 2,00 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм |
±0,025 |
±0,025 |
|
Воспроизводимость измерений, мкм, не более |
0,005 |
0,005 |
Таблица 3 - Технические характеристики интерферометров
|
Модификация |
ФТИ-50 |
ФТИ-100 |
|
Максимальный диаметр измеряемых оптических поверхностей, мм |
50 |
100 |
|
Класс лазера по ГОСТ 31581-2012 |
3А | |
|
Длина волны лазера, нм, не более | ||
|
- He-Ne лазер |
632 | |
|
- DPSS лазер |
532 | |
|
Мощность, не более, мВт |
4 | |
|
Допустимое значение частоты возмущающих гармонических | ||
|
вибраций, не более, Гц |
30 | |
|
Параметры электропитания | ||
|
Напряжение переменного тока, В |
от 200 до 240 | |
|
Частота, Гц |
от 49 до 51 | |
|
Масса, кг, не более |
18 | |
|
Габаритные размеры, не более, мм | ||
|
- длина |
270 | |
|
- ширина |
205 | |
|
- высота |
500 | |
|
Условия эксплуатации | ||
|
- температура окружающей среды, °С |
От +18 до +22 | |
|
- относительная влажность, % |
От 50 до 90 | |