Сведения о средстве измерений: 63454-16 Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов

Номер по Госреестру СИ: 63454-16
63454-16 Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов
(MueTec 2010UV)

Назначение средства измерений:
Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV (далее - Установка) предназначена для измерений критических размеров элементов на фотошаблонах (CD-измерения).

сертификация программного обеспечения
Внешний вид. Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов, http://oei-analitika.ru рисунок № 1
Внешний вид.
Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов
Рисунок № 1

Общие сведения

Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 154653
ID в реестре СИ - 377053
Тип производства - единичное
Описание типа

Поверка

Интервал между поверками по ОТ - 3 года
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки

Модификации СИ

Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV,

Производитель

Изготовитель - Фирма "MueTec GmbH"
Страна - ГЕРМАНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да

Екатеринбург - четвертый по численности населения город в России, административный центр Свердловской области и Уральского федерального округа.

Екатеринбург - столица Уральского федерального округа, территория которого составляет около 2 млн. км2. На территории находится крупное месторождение нефти и газа, богатые запасы нефти и газа, богатые запасы железных и полиметаллических руд. Крупнейшие металлургические предприятия мира расположены на Урале, благодаря его огромному промышленному и интеллектуальному потенциалу. Екатеринбург экспортирует сырье и продукцию тяжелого машиностроения, а импортирует продукты питания и товары народного потребления. Бизнес и инвестиции в городе очень хорошо развиты.

Екатеринбург, как и вся Свердловская область, находится в часовом поясе, обозначаемом по международному стандарту как Екатеринбургский часовой пояс. Смещение от UTC составляет +5:00. Относительно московского времени часовой пояс имеет постоянное смещение +2 часа. Екатеринбургское время отличается от стандартного на один час, так как в России действует летнее время.

Основанный как город-крепость в 1723 году, Екатеринбург расположен в центральной части Евразийского континента, на границе Европы и Азии, в средней части Уральского хребта, под 56º 51' северной широты, 60º 36' восточной долготы. Город расположен на восточном склоне Уральских гор, в пойме реки Исеть (приток Тобола).

Отчет "Анализ рынка поверки в Екатеринбурге" предоставляет исчерпывающую информацию по деятельности организаций, аккредитованных в Национальной системе аккредитации на право поверки средств измерений в городе Екатеринбурге.

Площадь Екатеринбурга составляет 114289 гектаров или 1142,89 квадратных километров.

- Расстояние до Москвы - 1667 километров.
- Расстояние до Владивостока - 7635 километров.
- Разница во времени с Москвой составляет плюс 2 часа.

При проведении исследований были введены следующие ограничения:

  • в отчете присутствуют организации с первичными или периодическими поверками от 100 шт. с 2017 года и действующими аттестатами аккредитации на текущий год;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • место регистрации или осуществления деятельности организаций должно совпадать с выбранным городом;
  • топ типов СИ ограничен 500 позициями по каждой организации (сортировка по убыванию количества поверок);
  • топ типов СИ ограничен 100 позициями по каждой организации при поиске по видам измерений (сортировка по убыванию количества поверок).

Содержание отчета:

  • Список организаций-поверителей, осуществляющих поверку в городе Москва по данным ФСА и ФГИС АРШИН.
  • Объемы первичных и периодических поверок за период с 2017г. по н.в.
  • Информация о местах осуществления деятельности организаций-поверителей.
  • Доля рынка поверок в % среди всех организаций, исследуемого города (предоставление информации в графическом и табличном видах).
  • Детальный анализ по каждой из организации, работающей в выбранном городе.
  • Анализ деятельности в разрезе первичных, периодических поверок и видов измерений.
  • Количество поверок по типам СИ в динамике по годам.
  • Индикация импортных аналогов средств поверки (в соответствии с ПЕРЕЧЕНЕМ СИ ОТЕЧЕСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА, АНАЛОГИЧНЫХ СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ ИМПОРТНОГО ПРОИЗВОДСТВА от 09.2022г)
  • Индикация типов СИ по ПП РФ №250 от 20.04.2010 г.
  • Быстрый анализ контрагентов организаций-поверителей.
  • Анализ цен на поверку СИ по Фед. округу.

Стоимость 3 000 руб.

Статистика

Кол-во поверок - 2
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 1094 дн.

Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ

№346 от 2016.03.28 Об утверждении типов средств измерений

Наличие аналогов СИ: Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов (MueTec 2010UV)

ИМПОРТНОЕ СИ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель

Все средства измерений Фирма "MueTec GmbH"

№ в реестре
cрок св-ва
Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
63454-16

Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов, MueTec 2010UV
Фирма "MueTec GmbH" (ГЕРМАНИЯ )
ОТ
МП
3 года

Отчет "V_13 Поверки по производителю СИ (подробно)" будет крайне полезен руководителям организаций, оказывающих услуги поверки, при поиске новых клиентов, анализе рынка услуг при доминировании нескольких производителей СИ и оценке позиций конкурентов.

Для построения отчета необходимо предварительно сконфигурировать два параметра его отображения:
1- Выбрать интересующего производителя СИ или нескольких производителей одновременно. Список производителей формируется из реестра утвержденных типов СИ ФГИС АРШИН. Существование дубликатов организаций вызвано разницей в написании наименований и преобразовании форм собственности организаций за все время ведения федерального фонда. Для удобства выбора в скобках указано общее кол-во поверок в системе, приходящееся на конкретного производителя.
2- Указать минимальный объём поверок (организации, имеющие меньше поверок отображаться в отчете не будут).

Результаты обработки данных будут представлены в табличной форме. Таблица обладает функцией поиска и сортировки по любой из колонок.

Таблица содержит 6 колонок:

  • Номер в госреестре типа СИ с ссылкой на соответствующий раздел реестра
  • Ссылочное поле на описание типа СИ с наименованием средства измерений
  • Количество средств измерений данного типа СИ, засветившихся в ФГИС АРШИН
  • Количество уникальных владельцев СИ, имеющих на балансе СИ данного типа
  • Организации, которые когда-либо поверяли СИ данного типа с указанием количества поверок (фильтр по кол-ву поверок устанавливается в настройках отчета)
  • Организации, которые осуществляли поверки СИ данного типа за последний год с указанием количества поверок (фильтр по кол-ву поверок устанавливается в настройках отчета)

Стоимость 200 руб. или по подписке

Кто поверяет Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов (MueTec 2010UV)

Наименование организации Cтатус Поверенные модификации Кол-во поверок Поверок в 2024 году Первичных поверок Периодических поверок Извещений Для юриков Для юриков первичные Для юриков периодические
АО "НИЦПВ"
(RA.RU.311409)
  • Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV
  • 2 0 1 0 1 0 1

    Стоимость поверки Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов (MueTec 2010UV)

    Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

    Программное обеспечение

    Программное обеспечение (ПО) Установки является специализированным ПО и представляет собой программный продукт управления пользователя с набором микрокоманд Dialog C Compiler (N418_54j2.exe, версия 5.0.6.0; диалоговое окно «NanoStar»).

    ПО Dialog C Compiler (диалоговое окно «NanoStar») предназначено для управления Установкой и не может быть использовано отдельно от установки.

    Влияние метрологически значимой части ПО Dialog C Compiler на метрологические характеристики Установки не выходит за пределы согласованного допуска.

    Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО Dialog C Compiler указаны в таблице 1.

    Таблица 1

    Наименование ПО

    Идентификационное наименование ПО

    Номер версии (идентификационный номер) ПО

    Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

    Алгоритм вычисления иден-тифика-тора ПО

    Управляющая программа пользователя с набором микрокоманд «NanoStar»

    Dialog C Compiler

    5.0.6.0

    701a88b3bbe3db0c

    280c41defcfb9150

    6f4acf12d007eeb3f 620040e083a063f

    ГОСТ Р

    34.11-94

    Метрологически значимая часть ПО Установки и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Уровень защиты ПО Установки Dialog C Compiler (N418_54j2.exe, версия 5.0.6.0; диалоговое окно «NanoStar») соответствует уровню «Средний» в соответствии с п. 4.5 рекомендации Р 50.2.077-2014.


    Знак утверждения типа

    Знак утверждения типа

    наносится на лицевую панель Установки в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.


    Сведения о методиках измерений

    Сведения о методиках (методах) измерений

    Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV. Руководство по эксплуатации.


    Нормативные и технические документы

    Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установке измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV

    Техническая документация фирмы-изготовителя.

    Поверка

    Поверка

    осуществляется по документу МП 63454-16 «Инструкция. Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ АО «НИЦПВ» 19.06.2015 г.

    Основные средства поверки:

    • - набор мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов (№ Госреестра 60717-15).


    Изготовитель


    Фирма MueTec GmbH (Германия)
    Адрес: Германия, г. Мюнхен, Huns-Bunte-Str. 5

    Заявитель

    Закрытое акционерное общество «СКАН» (ЗАО «СКАН»)
    Адрес: 119330, г. Москва, ул. Дружбы, д. 10 «Б»
    Тел.: (495) 739-5005 факс: (495) 234-0036
    Е-mail: a.vilkin@scanru.ru

    Испытательный центр


    Государственный центр испытаний средств измерений акционерное общество «Научноисследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума»
    (ГЦИ СИ АО «НИЦПВ»)
    Адрес:119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1
    Тел. (495) 935-97-77, 935-97-66, Тел./Факс: 935-96-90
    E-mail: nicpv@mail.ru

    Принцип действия Установки основан на оптическом измерении ширины линий на фотошаблонах. Установка представляет собой измерительно-вычислительный комплекс, в состав которого входит измерительная система и контроллер управления ПЭВМ.

    Перед проведением измерений с помощью специальной калибровочной меры (фотошаблона) в Установке формируется информация о калибровочных поправках при измерениях критических размеров элементов топологии шаблонов, что позволяет исключить систематическую погрешность измерений.

    Конструктивно контроллер управления выполнен в виде шкафа на котором расположены органы управления. Внешний вид Установки приведен на рисунке 1.

    Внешний вид. Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов (MueTec 2010UV), http://oei-analitika.ru

    Место пломбировки от несанкционированного доступа. Место для размещения наклеек

    (знака поверки и знака утверждения типа)

    Рисунок 1 - Общий вид Установки MueTec 2010UV

    1 - Дверь регулировки манометров, 2 - Г лавный включатель установки, 3 - Дверь блоков измерительного и сетевого контроллера, 4 - сигнальное устройство, 5 - микроскоп, 6 - клавишная панель оператора


    Комплект поставки включает:

    - Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV - 1 комплект;

    - комплект эксплуатационной документации (Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV. Руководство по эксплуатации) - 1 комплект;

    • - методика поверки - 1 шт.


    Основные метрологические и технические характеристики Установки приведены в таблице 2.

    Таблица 2

    Наименование характеристики

    Значение характеристики

    Диапазон измерений критических размеров элементов фотошаблона, мкм:

    - в режиме «Видимое излучение»

    от 0,8 до 100,0

    - в режиме «У Ф-излучение»

    от 0,5 до 100,0

    Среднеквадратическое значение погрешности измерений критических размеров элементов фотошаблона*, нм

    - в режиме «Видимое излучение»

    4

    - в режиме «У Ф-излучение»

    3

    Минимальный размер элемента измеряемой изолированной линии фотошаблона, мкм:

    00 К) о" о"

    - в режиме «Видимое излучение»

    - в режиме «У Ф-излучение»

    Габаритные типоразмеры (длина х ширина хтолщина) измеряемых фото-

    152,4x152,4x6,35

    шаблонов, мм

    127,0x127,0x3,05

    127,0x127,0x2,30

    Продолжение таблицы 2

    Наименование характеристики

    Значение

    характеристики

    Область перемещения координатного стола измерительной платформы (X*Y), мм:

    - для фотошаблона 152,4*152,4*6,35

    150*150

    - для фотошаблона 127,0*127,0*3,05

    150*150

    - для фотошаблона 127,0*127,0*2,30

    125*125

    Г абаритные размеры установки (ширина * глубина * высота), мм

    1500*1200*1800

    Масса, кг

    602

    Напряжение питания частотой 50 Гц, В

    220 ± 22

    Потребляемая мощность, кВ • А, не более

    1,6

    Рабочий диапазон температуры, °С

    от 18 до 25

    Относительная влажность воздуха при температуре 18 - 25 °С, %, не более

    75

    Рабочее давление воздуха, гПа

    5500± 500

    Вакуум централизованный, гПа

    минус 950 ± 50

    *Среднеквадратическое значение погрешности измерений критических размеров элементов фотошаблона нормируется в диапазоне от 0,8 до 8 мкм.


    Настройки внешнего вида
    Цветовая схема

    Ширина

    Левая панель