Номер по Госреестру СИ: 63408-16
63408-16 Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами
(МИМ-340)
Назначение средства измерений:
Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340 (далее по тексту - микроскопы МИМ), предназначены для трехмерного анализа рельефа отражающей поверхности в микро- и нанодиапазоне, создания графических изображений и их цифрового анализа с целью получения высокоточных данных о структуре поверхности исследуемого объекта.
Внешний вид.
Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства - 11.03.2021
Номер записи - 154600
ID в реестре СИ - 377000
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Производитель
Изготовитель - АО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ)
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Екатеринбург
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Отчет предназначен для отслеживания динамики наполнения ФГИС АРШИН данными о поверках. Отчет состоит из 3 графиков и одной сводной таблицы. Все графики являются интерактивными, имеют функции экспорта и масштабирования. Таблица обладает функциями поиска и сортировки по любой из колонок.
Графики представляют собой столбчатые диаграммы распределения поверок, загружаемых в ФГИС аршин по годам. По оси абсцисс «Ox» - дата, по оси ординат «Oy» - количество поверок в штуках. Возможно отслеживание трех типов "поверок": первичные поверки, периодические поверки или извещения о непригодности.
В заголовке отчета приводятся усредненные данные по загруженным в АРШИН поверкам:
- максимальное количество поверок за год
- среднее количество поверок в год
- период наполнения базы в месяцах и годах
- суммарное количество поверок в системе
В завершении отчета приведена сводная таблица с данными для возможности самостоятельной обработки информации. В таблице представлены следующие поля:
- дата
- общее количество поверок
- кол-во периодических поверок
- кол-во извещений о непригодности
Статистика
Кол-во поверок -
Выдано извещений -
Кол-во периодических поверок -
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№259 от 2016.03.11 Об утверждении типов средств измерений
Наличие аналогов СИ: Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами (МИМ-340)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений АО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ)
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
29846-15 27.11.2025 |
Нивелиры, 4Н-3КЛ АО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ) (РОССИЯ г.Екатеринбург) |
ОТ МП |
1 год |
|
45283-15 02.12.2025 |
Теодолиты, 3Т2КП, 3Т2КА, 3Т5КП АО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ) (РОССИЯ г.Екатеринбург) |
ОТ МП |
1 год |
|
46550-11 12.04.2026 |
Теодолиты электронные, 2Т5ЭН1 АО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ) (РОССИЯ г.Екатеринбург) |
ОТ МП |
1 год |
|
5305-15 15.10.2025 |
Теодолиты, 4Т30П АО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ) (РОССИЯ г.Екатеринбург) |
ОТ МП |
2 года |
|
63408-16 11.03.2021 |
Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами, МИМ-340 АО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ) (РОССИЯ г.Екатеринбург) |
ОТ МП |
1 год |
|
69089-17 25.10.2022 |
Аппаратура геодезическая спутниковая одночастотная, МТ-5 АО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ) (РОССИЯ г.Екатеринбург) |
ОТ |
1 год |
|
69090-17 25.10.2022 |
Аппаратура геодезическая спутниковая многочастотная, СМР-9 АО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ) (РОССИЯ г.Екатеринбург) |
ОТ |
1 год |
|
69091-17 25.10.2022 |
Аппаратура геодезическая спутниковая многочастотная, МР-10 АО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ) (РОССИЯ г.Екатеринбург) |
ОТ |
1 год |
|
69092-17 25.10.2022 |
Аппаратура геодезическая спутниковая многочастотная, МР-8 АО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ) (РОССИЯ г.Екатеринбург) |
ОТ |
1 год |
|
69093-17 25.10.2022 |
Аппаратура геодезическая спутниковая многочастотная, РC-2 АО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ) (РОССИЯ г.Екатеринбург) |
ОТ |
1 год |
|
69401-17 23.11.2022 |
Тахеометры электронные, 6Та2 АО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ) (РОССИЯ г.Екатеринбург) |
ОТ |
1 год |
|
13534-93 23.11.2023 |
Нивелиры технические, 3Н-5Л (3Н-5) АО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ) (РОССИЯ г.Екатеринбург) |
1 год | |
|
56378-14 04.02.2024 |
Тахеометры электронные, 6Та3 АО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ) (РОССИЯ г.Екатеринбург) |
ОТ МП |
1 год |
|
18399-20 23.07.2025 |
Теодолиты, 4Т15П АО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ) (РОССИЯ г.Екатеринбург) |
ОТ МП |
1 год |
Кто поверяет Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами (МИМ-340)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|
Стоимость поверки Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами (МИМ-340)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Для управления микроскопами МИМ предназначена рабочая станция с двумя мониторами и установленным программным обеспечением: MIMSoft-3 - для настройки и управления работой оптической системы микроскопов МИМ, MIM Visualizer - для анализа и обработки результатов исследования; MIM Stage - для управления длинноходовым предметным столом.
Программа MIM Soft-3 предназначена для управления оптической системой микроскопов МИМ. Она позволяет использовать любые аппаратные и программные настройки узлов оптической системы микроскопов МИМ для работы в различных режимах, а также получать и сохранять исследовательские данные и настройки всех узлов оптической системы микроскопов в специальном формате .tlk. Позволяет оптимизировать процедуру получения изображений исследуемого образца микроструктуры в режимах измерения микрорельефа, белого света, отражения в лазерном свете при различных поляризациях.
Программа MIM Stage предназначена для управления длинноходовым предметным столом микроскопов МИМ и позволяет получать, использовать и сохранять аппаратные и программные настройки элементов длинноходового предметного стола для работы приборов в различных режимах перемещения длинноходового предметного стола, а также обеспечивает взаимосвязь растровых и интерференционных датчиков перемещений с контроллерами управления координатными приводами длинноходового предметного стола по особому алгоритму, обеспечивающему минимальную ошибку позиционирования при подходе к точке с заданными координатами
Программа MIM Visualizer предназначена для визуализации и обработки результатов исследования материаловедческой микроструктуры на микроскопах МИМ. Программа предназначена для редактирования фазовых изображений, калибровки масштаба изображения, формирования «масштабного отрезка», измерения длин отрезков и углов, медианной фильтрации изображения; построения профиля сечения фазового изображения в произвольном направлении, восстановления скачков фазы 1/2, анализа гистограммы распределения высот и вычитания фона, пространственного Фурье-преобразования изображения и вычитания шумов, вычитания поверхностей первого и второго порядка, поворота изображения на произвольный угол; построения и отображения трехмерного вида объекта.
Таблица 1
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | ||
|
Идентификационное наименование ПО |
MIM Visualizer |
MIM Soft-3 |
MIM Stage |
|
Номер версии (идентификационный номер )ПО |
1.0.0.1 |
1.0.0.1 |
1.0.0.1 |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
f32c1789d26e20b5e8421 45f806431de |
5e873a48492 8e754bae02d 1a573cd504 |
c9d8af31e15 720c4f9c0a5 6ab2aa9c14 |
|
Алгоритм хэширования |
MD5 |
MD5 |
MD5 |
Программное обеспечение размещается в энергонезависимой памяти персонального компьютера. Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя.
Защита ПО от преднамеренных и непреднамеренных воздействий соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати и на корпус микроскопа методом наклеивания.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
«Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами модель МИМ-340. Руководство по эксплуатации 4001.00000000 РЭ», раздел 8
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам лазерным МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340ТУ 4431-131-07539541-2012 «Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340. Технические условия»
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП057.М44-15 «ГСИ. Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 15 апреля 2015 г.
Основные средства поверки:
1 Эталон - мера периода и высоты линейная TGZ2 (ГР СИ № 41678-09) с
аттестованным значением абсолютной погрешности определения высоты выступов не более ± 0,005 мкм.
2 Мера периода линейная TDG01 (ГР СИ № 41676-09), пределы абсолютной
погрешности определения высоты выступов не более ± 0,001 мкм.
Изготовитель
Акционерное общество «Производственное объединение «Уральский оптикомеханический завод» имени Э.С. Яламова» (АО «ПО «УОМЗ»)ИНН 6672315362
620100, г. Екатеринбург, ул. Восточная, 33б
Тел.: +7(343) 229-81-09; Факс: +7(343) 254-81-09
E-mail: kancelyariya@uomz.com; Web: http://www.uomz.ru
Испытательный центр
Федерального Государственного Унитарного Предприятия «Всероссийский научноисследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Принцип действия микроскопов лазерных МИМ с длинноходовым предметным столом, основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженных от опорного зеркала и поверхности измеряемого микрообъекта.
Основой микроскопов МИМ является микроинтерферометр, построенный по схеме Линника. Для расширения диапазона и повышения точности измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью высокочувствительной видеокамеры и обрабатываются на ПЭВМ. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, на основе которой получаются данные о высоте профиля поверхности. Микроскоп позволяет измерять параметры высоты профиля поверхности, изменяющиеся во времени - динамические параметры, с частотой до 3 Гц в диапазоне от 0,03 до 3 мкм в латеральной плоскости и от l/350 до l/4 по высоте. Результаты измерений отображаются на экране компьютера в виде топографических изображений (псевдоцветных карт), а также двумерных профилей с текстовой (цифровой) информацией о структуре и статистических параметрах рельефа измеряемого микрообъекта
Места нанесения маркировки и знака поверки
Место
пломбирования
Рисунок 1 - Общий вид микроскопов лазерных МИМ с длинноходовыми предметными столами модель МИМ-340 с обозначением мест пломбирования, нанесения маркировки и знака поверки
Таблица 3
|
Наименование и обозначение |
Количество, шт. |
|
Микроскоп лазерный МИМ с длинноходовым предметным столом |
1 |
|
Станция рабочая iMac с монитором Apple Thunderbolt Display |
1 |
|
Компакт-диск с руководством по эксплуатации 4001.00000000 РЭ |
1 |
Продолжение таблицы 3
|
Наименование и обозначение |
Количество, шт. |
|
Паспорт 4001.00000000 ПС |
1 |
|
Упаковка 4001.02000000- ящики для транспортировки |
Р |
|
Компрессор винтовой АВАС GENESIS 5,5-13/2702) |
1 |
|
Кабель сетевой Hyperline PWC-IEC13-SHM-3.0-BK |
1 |
|
Кабель USB 2.0 А/В (L=3 м) |
1 |
|
Рым-болт М12.019 ГОСТ 4751 |
4 |
|
Переходник 578342 NPQH-D-G14-Q8-P10, Festo 2) |
1 |
|
Ниппель переходной D c уплотнителем 534145 D-1/4I-3/4A, Festo2) |
1 |
|
Пневмошланг полимерный 159666 PUN-8x1,25-BL, Festo |
1 |
|
Кран шаровой Base VT.217.N.05, Valtec (для подключения пневмошланга к компрессору) |
1 |
|
Провод РПШ 4х1,5 (380) ТУ 16.К18-001 |
1 |
|
Призма 4001.00000101 |
1 |
|
Стекло предметное 4001.00000102 |
100 |
|
Микрообъектив MPLFLN 100х/0,9, OLYMPUS |
12) |
|
Микрообъектив MPLFLN 2,5х/0,08, OLYMPUS |
12) |
|
Микрообъектив MPLFLN 5х/0,15, OLYMPUS |
12) |
|
Микрообъектив MPLFLN 10х/0,3, OLYMPUS |
12) |
|
CD-диск с программным обеспечением |
1 |
|
Методика поверки |
1 |
| |
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Длина волны излучения, мкм |
0,405 |
|
Диапазон показаний линейных размеров по вертикали, |
0,0003 - 0,2 |
|
мкм | |
|
Диапазон измерения линейных размеров по вертикали, |
0,01 - 0,1 |
|
мкм | |
|
Диапазон измерения линейных размеров в латеральной плоскости (для объектива 100х), мкм |
0,1 - 8 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров, нм: - по вертикали |
±10 |
|
- в латеральной плоскости (для объектива 100х) |
±100 |
|
Время измерения одного кадра, с |
0,30 ± 3,00х10-2 |
|
Длина хода предметного стола, мм: - по координате Х |
230±5 |
|
- по координате Y |
245±5 |
|
- по координате Z |
70±5 |
|
Скорость перемещения предметного стола, мм/с, не | |
|
менее | |
|
- по координатам Х и Y |
1,0 |
|
- по координате Z |
0,01 |
|
Электропитание осуществляется от сети переменного тока с напряжением, В |
220±22 |
|
частотой, Гц |
50±0,4 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
1,0 |
|
Г абаритные размеры, мм, не более |
1100x860x1600 |
|
Масса, кг, не более |
900 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С |
20±3 |
|
- относительная влажность воздуха, не более, % |
80 (при 25°С) |
|
- атмосферное давление, мм рт. ст. |
630 - 800 |