Номер по Госреестру СИ: 60728-15
60728-15 Микроскопы электронные растровые
(JSM-6x10x (мод. JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010Plus/LV, JSM-6010Plus/LA, JSM-6510Plus, JSM-6510Plus/A, JSM-6510Plus/LV, JSM-6510Plus/LA))
Назначение средства измерений:
Микроскопы электронные растровые JSM-6x10x (модификации JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010Plus/LV, JSM-6010Plus/LA, JSM-6510Plus, JSM-6510Plus/A, JSM-6510Plus/LV, JSM-6510Plus/LA) (далее - микроскопы) предназначены для количественного морфологического анализа и измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.
Внешний вид.
Микроскопы электронные растровые
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Управление микроскопами осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления иден-тификато-ра ПО |
InTouchScope GUI |
InTouch- ScopeADJ.ex e |
ver. 2.0 |
4A54C4738C10121B5CC0643 328579F5E3DA3DEED886481 E39CBBED2DC27362F2 |
По ГОСТ Р 34.11-94 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типаЗнак утверждения типа наносится на лицевую панель блока измерительного в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийМикроскопы электронные растровые JSM-6x10x (модификации JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010PLUS/LV, JSM-6010PLUS/LA, JSM-6510PLUS, JSM-6510PLUS/A, JSM-6510PLUS/LV, JSM-6510PLUS/LA). Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам электронным растровым JSM-6x10x (модификации JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010PLUS/LV, JSM-6010PLUS/LA, JSM-6510PLUS, JSM-6510PLUS/A, JSM-6510PLUS/LV, JSM-6510PLUS/LA)
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 60728-15 «Микроскопы электронные растровые JSM-6x10x (модификации JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010PLUS/LV, JSM-6010PLUS/LA, JSM-6510PLUS, JSM-6510PLUS/A, JSM-6510PLUS/LV, JSM-6510PLUS/LA) фирмы JEOL Ltd., Япония. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в апреле 2015 г.
Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (Госреестр № 33598-06), островковая пленка золота на углероде GOLD ON CARBON TEST SPEC SM 1501.
Заявитель
ООО «ТОКИО БОЭКИ (РУС)» , г. МоскваАдрес: 127055, г. Москва, ул. Новолесная, д. 2
Тел.: (495)223-40-00. Факс: (495)223-40-01. E-mail: main@tokyo-boeki.ru
Испытательный центр
ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ»Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1.
Тел./Факс: (495) 935-97-77. E-mail: fgupnicpv@mail.ru
Принцип получения изображения в микроскопах заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных электронов соответствующим детектором при синхронном с монитором сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопов.
Микроскопы представляют собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему.
В состав микроскопов входят электронно-оптическая система (колонна), камера объектов с механизмом перемещения объектов, детекторы вторичных и отраженных электронов, вакуумная система, видеоконтрольное устройство, блок питания.
Микроскопы обеспечивают работу в режимах регистрации вторичных и обратно рассеянных электронов.
Отличие модификаций:
-
- JSM-6510Plus - работает только в режиме высокого вакуума;
-
- JSM-6510Plus/A - работает только в режиме высокого вакуума и комплектуется встроенным энергодисперсионным спектрометром (ЭДС);
-
- JSM-6010LV, JSM-6010Plus/LV, JSM-6510Plus/LV - работают в режимах высокого и низкого вакуума;
-
- JSM-6010LA, JSM-6010 Plus LA, JSM-6510Plus/LA - работают в режимах высокого так и низкого вакуума и комплектуются встроенным ЭДС;
Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.
При работе микроскопов обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопов не превышает 1 мкЗв/ч.
Внешний вид микроскопов приведен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопов JSM-6x10x.
В комплект поставки входят: микроскоп электронный растровый JSM-6x10x, комплект ЗИП, техническая документация фирмы-изготовителя.
Основные метрологические и технические характеристики микроскопов приведены в таблице 2.
Таблица 2.
Наименование характеристики |
Модификация микроскопа | |
JSM-6010LV JSM-6010LA JSM-6010Plus/LV JSM-6010Plus/LA |
JSM-6510Plus JSM-6510Plus/A JSM-6510Plus/LV JSM-6510Plus/LA | |
Пространственное разрешение в режиме регистрации вторичных электронов (высокий вакуум) при ускоряющем напряжении 20 кВ, не более, нм |
4 |
3 |
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 0,03 до 1000 | |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
± 10 | |
Габаритные размеры (ширина ^высота х глубина), мм, не более:
|
750x1200x1200 900x1200x900 | |
Масса (без ЗИП и упаковки), кг, не более |
330 | |
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50/60 ± 1) Гц, В |
220 ± 22 | |
Потребляемая мощность, В • А, не более |
1500 | |
Рабочие условия эксплуатации:
|
от 15 до 27 60 от 84 до 107 |