Номер по Госреестру СИ: 57850-15
57850-15 Профилометры оптические
(Neox)
Назначение средства измерений:
Профилометры оптические Neox (далее - профилометры) предназначены для измерений линейных размеров и анализа поверхностей объектов.
Внешний вид.
Профилометры оптические
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства - 19.03.2020
Номер записи - 148378
ID в реестре СИ - 370778
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
профилометрS Neox, Профилометр оптический S Neox, Профилометр оптический Plu Neox, Neox,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Sensofar-Tech, SL"
Страна - ИСПАНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Статистика
Кол-во поверок - 17
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 13
Кол-во средств измерений - 5
Кол-во владельцев - 6
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№330 от 2015.03.19 Об утверждении типов средств измерений (ГР 60165-15 - 60225-15)
Наличие аналогов СИ: Профилометры оптические (Neox)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "Sensofar-Tech, SL"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
57850-14 22.07.2019 |
Профилометры оптические, Neox Фирма "Sensofar-Tech, SL" (ИСПАНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
57850-15 19.03.2020 |
Профилометры оптические, Neox Фирма "Sensofar-Tech, SL" (ИСПАНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
CREATE TABLE `foei_poverka` (`poverka_id` int(11) NOT NULL, `poverka_row` text NOT NULL) ENGINE=InnoDB DEFAULT CHARSET=utf8 ROW_FORMAT=COMPRESSED;
poverka_id - порядковый номер поверки в ФГИС АРШИН
poverka_row - данные о поверке в формате json
Данные в колонке poverka_row хранятся в HEX виде и для получения рабочего массива json их необходимо преобразовать из HEX в строку, приведенной ниже функцией.
function hexToStr($hex){
$string='';
for ($i=0; $i < strlen($hex)-1; $i+=2){
$string .= chr(hexdec($hex[$i].$hex[$i+1]));
}
return $string;
}
$arr =json_decode($homepage, true);
В случае, если архив дамп MySQL имеет приставку _bin, для преобразования следует использовать стандартную функцию hex2bin(), которая преобразует шестнадцатеричные данные в двоичные.
В разработке
Кто поверяет Профилометры оптические (Neox)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 13 | 1 | 0 | 11 | 0 | 8 | 0 | 8 | ||
| ООО "ИНЭКС СЕРТ" (RA.RU.312302) | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | |||
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ОАО "НИЦПВ". (01.00317-2011) | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО «МетрЛифтСервис» (RA.RU.314115) | 1 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 |
Стоимость поверки Профилометры оптические (Neox)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Программное обеспечение «SensoSCAN» является специализированным ПО профилометров.
ПО «SensoSCAN» предназначено для управления и обеспечения полной интеграции периферийных устройств профилометров, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «SensoSCAN» не может быть использовано отдельно от профилометров.
Влияние метрологически значимой части ПО на метрологические характеристики профилометров не выходит за пределы согласованного допуска.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления иден-тифика-тора ПО |
|
ПО управления профилометром и обработки результатов измерений |
SensoSCAN |
Ver 5.1.4 |
63d08c2e |
ГОСТ Р34.11-94 |
Метрологически значимая часть ПО профилометров и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «А» по МИ 3286-2010.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на лицевую панель профилометров в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений Профилометры оптические Neox. Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к профилометрам оптическим NeoxТехническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
Поверка осуществляется по документу МП 57850-14 «Инструкция. Профилометры оптические Neox. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 19.02.2014 г .Основные средства поверки:
-
- мера ширины и периода специальная (МШПС 2.0К), изготовленная по ГОСТ Р 8.628;
-
- набор мер длины концевых плоскопараллельных по ГОСТ 9038-90;
-
- микроскоп электронный растровый JSM-6460LV.
Изготовитель
Фирма Sensofar-Tech, SL, ИспанияАдрес: Parc Audiovisual de Catalunya, Crta. BV-1274 km1, E-08225 Terrassa, Spain.
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «ЭНЕРГО АВАНГАРД», 127106, Москва, ул. Гостиничная, д. 3
Тел./факс (495) 482-06-74, E-mail: info@eavangard.ru
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ»)Адрес:119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1,
Тел./Факс (495) 935-97-77, E-mail: nicpv@mail.ru
Профилометры оптические Neox имеют две модификации «S Neox» и «Plu Neox» с одинаковыми метрологическими характеристиками, различающиеся тем, что модификация «Plu Neox» имеет 2 LED источника света, а модификация «S Neox» имеет 4 LED источника света.
Профилометры оптические «Neox» относятся к классу бесконтактных оптических приборов, принцип действия которых основан на интерференции и смещении конфокальной плоскости освещения.
Метод когерентной корреляционной интерферометрии основан на регистрации интерференционных картин в белом свете при перемещении объектива по вертикали. Метод позволяет измерять поверхности с неровностями высотой до 400 мкм. Положение реперного зеркала в оптической системе подобрано таким образом, чтобы оптическая разность хода была равна нулю. При этом условии в интерференционной картине возникают максимумы для всех длин волн, и наблюдается абсолютный максимум интенсивности, регистрируемый видеокамерой. Таким образом, если в некоторой точке образца наблюдается абсолютный максимум, она находится в фокусе.
Метод конфокальной микроскопии основан на размещении в плоскости измерения апертуры, дающей возможность получения максимального контраста изображения при нахождении измеряемого участка поверхности в фокусе. Метод позволяет измерять поверхности с неровностями до 20 мм (в данном устройстве изображение программно сшивается после проведения замеров в заданном диапазоне высот).
Профилометры оптические состоят из блока осветителя с источником света, конструктивно выполненного в виде моноблока, входящего в состав измерительной головки, расположенной на колонне с возможностью перемещения по вертикали. Колонна установлена на гранитном или металлическом основании, оснащенном антивибрационными пневмоподушками, и расположенном на металлической раме. Также в измерительной головке располагается оптическая система (набор диафрагм, фильтров, делитель светового пучка, объективы, определяющие поле зрения (являются сменными), пьезопривод, цифровая камера и микродисплей, выполняющий функцию источника проецируемого изображения для осуществления измерений в конфокальном режиме. На основании установлен автоматический предметный столик с механической регулировкой угла наклона. В состав профилометров входит компьютер и контроллер с интерфейсными платами для обработки видеосигнала, управления пьезоприводом, приемом-передачей прочих управляющих сигналов, а также приемом сигналов о результатах измерений.
Измерения проводятся в трехмерной системе координат. При вертикальном сканировании все точки поверхности поочередно проходят через фокус. По последовательности полученных интерференционных картин видеокамера определяет изменения интенсивности света в каждой точке в зависимости от расстояния. Программа вычисляет положение максимума интенсивности для каждой точки матрицы, после чего восстанавливается форма поверхности, основанная на регистрации интерференционных картин в белом свете при перемещении объектива по вертикали.
Специализированная программа служит для управления механическими частями профилометров, для непосредственного измерения, для обработки полученных результатов, построения трехмерных изображений рельефа поверхности, выделения отдельных профилей поверхности в заданном направлении и гистограммы распределения пиков по высоте, а также позволяет рассчитывать параметры шероховатости.
Режимы работы профилометров устанавливаются пользователем с помощью органов управления или программного обеспечения (далее - ПО) управляющей ПЭВМ. Органы управления и подстыковочные разъемы расположены на передней и задней панели соответственно.
Внешний вид профилометра приведен на рисунках 1 - 2.
lvicuiv длл paoivicj-U,vriM?i naivjicviv
Рисунок 1 - Общий вид профилометра Neox. Вид спереди.
места пломбировки от несанкционированного доступа
Рисунок 2 - Общий вид профилометра Neox. Вид сзади.
- комплект эксплуатационной документации (Профилометры оптические Neox. Руководство по эксплуатации) - 1 комплект;
-
- одиночный комплект ЗИП;
-
- методика поверки - 1 шт.
Основные метрологические и технические характеристики профилометров приведены в таблице 2.
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Диапазон измерений линейных размеров (ось Z), мм |
от 0 до 40 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров (ось Z) в диапазоне от 0 до 1 мкм, нм |
± 50 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров (ось Z) в диапазоне от 1 мкм до 40 мм, % |
± 5 |
|
Повторяемость (среднеквадратическая погрешность) измерений высоты ступеньки, % |
0,1 |
|
Максимальное разрешение по оси Z, нм |
0,1 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси X, мкм, для объектива: 2,5х |
от 5,16 до 7000 |
|
5х |
от 2,58 до 3500 |
|
10х |
от 1,29 до 1750 |
|
20х |
от 0,65 до 870 |
|
50х |
от 0,26 до 350 |
|
100х |
от 0,13 до 170 |
|
150х |
от 0.09 до 110 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Y, мкм, для объектива: 2,5х |
от 5,16 до 5280 |
|
5х |
от 2,58 до 2640 |
|
10х |
от 1,29 до 1320 |
|
20х |
от 0,65 до 660 |
|
50х |
от 0,26 до 260 |
|
100х |
от 0,13 до 130 |
|
150х |
от 0.09 до 88 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линей- |
± 8 |
|
ных размеров в плоскости XY % | |
|
Максимальное разрешение в плоскости XY, нм |
90 |
|
Максимальный диапазон перемещений предметного стола (оси Х, У) и | |
|
сенсорной головки (ось Z), мм: | |
|
по оси Х, У |
600х600 |
|
по оси Z |
800 |
|
Максимальный размер образца (ширинахдлинахвысота), мм, не более |
600x600x800 |
|
Габаритные размеры (ширинахвысотахглубина), мм, не более |
358x537x517 |
|
Масса без ЗИП и упаковки, кг, не более |
92 |
|
Рабочий диапазон температуры окружающей среды, °С |
от 15 до 25 |
|
Относительная влажность воздуха при температуре 20 °С, %, не более |
от 5 до 80 |
|
Диапазон атмосферного давления, кПа |
от 97 до 105 |
|
Вибрация, Гц |
от 1 до 120 |
|
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 1) Гц, В |
220 ± 22 |
|
Потребляемая мощность, В •А, не более |
210 |