Номер по Госреестру СИ: 50909-12
50909-12 Микроскоп электронно-ионный растровый
(JIB-4500)
Назначение средства измерений:
Микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов и проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов ионным пучком.
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 140447
ID в реестре СИ - 362847
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500, JIB-4500,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Jeol"
Страна - ЯПОНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Справочник действующих аттестованных эталонов единиц величин является копией соответствующего реестра ФГИС «АРШИН» (https://fgis.gost.ru/fundmetrology/registry/11) и содержит сведения о действующих государственных и частных аттестованных эталонах единиц величин.
Для удобства использования справочника все эталоны разделены по видам измерений в зависимости от вида измерений государственного первичного эталона, к которому осуществляется прослеживаемость. Справочник содержит более 110 тыс. записей и актуализируется не реже 1 раза в месяц.
Статистика
Кол-во поверок - 2
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 0
Кол-во средств измерений - 2
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№220 от 2023.01.31 О закреплении документов национальной системы стандартизации за техническим комитетом по стандартизации "Оптика и фотоника" (ТК 296)
Наличие аналогов СИ: Микроскоп электронно-ионный растровый (JIB-4500)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "Jeol"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
18995-99 |
Масс-спектрометр с хроматографом "Jeol", JMS-D 300 Фирма "Jeol" (ЯПОНИЯ ) |
1 год | |
|
37836-08 |
Микроскоп электронный растровый, JSM-7401F Фирма "Jeol" (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
39763-08 |
Микроскоп электронный растровый, JSM-7001F Фирма "Jeol" (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
39772-08 |
Микроскоп электронный просвечивающий, JEM-2100F Фирма "Jeol" (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
50908-12 |
Микроскоп электронный растровый, JSM-6460LV Фирма "Jeol" (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
50909-12 |
Микроскоп электронно-ионный растровый, JIB-4500 Фирма "Jeol" (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
51413-12 |
Микроскоп электронный просвечивающий, JEM-2100 Фирма "Jeol" (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
61320-15 21.08.2025 |
Анализаторы биохимические автоматические, Bio Majesty JCA-BM6010/C Фирма "Jeol" (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
Каталог СИ, используемый в сервисе ОЕИ-Аналитика имеет трехуровневую структуру вида: области измерений (более 20), разделы областей измерений (более 250) и группы СИ (более 10 тыс.). При разработке каталога были использованы как существующие кодификаторы: МИ 2803-2014, МИ 2314-2006, МИ 2314-2022, так и собственные наработки. Перед применением каталог был адаптирован и обогащен данными из реального реестра, утвержденных типов СИ ФГИС АРШИН.
Отчет «Каталог типов СИ АРШИН по группам СИ» сортирует типы СИ в зависимости от выбранной группы СИ (можно выбрать нескольких групп СИ одновременно) и представляет их списком в виде удобной для дальнейшей работы таблицы. Таблица обладает функциями поиска и сортировки по любой из колонок. К группам СИ отнесены устойчивые словосочетания наименований типов СИ, состоящие максимум из 3 слов.
Таблица содержит минимум 8 колонок:
По каждому типу СИ приведены: номер в гос. реестре с ссылкой, наименование типа СИ, наименование фирмы-производителя, ссылка на описание типа и методику поверки (если они имеются), величина интервала между поверками, а также, количество поверок по годам (начиная с 2020).
Кто поверяет Микроскоп электронно-ионный растровый (JIB-4500)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ОАО "НИЦПВ". (01.00317-2011) | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Микроскоп электронно-ионный растровый (JIB-4500)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1. Таблица 1.
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
|
Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений |
Multi Beam System Control Program |
1.04 |
BA7A106561F93C5E9 46D513EA6D3155C44 6B292ECC7AC714A69 466220DC0F68F |
ГОСТ Р 34.11-94 |
Рис.1. Общий вид микроскопа электронно-ионного растрового JIB-4500
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится в виде наклейки на электронно-оптическую систему (колонну) прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийТехническое описание «Микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500 фирмы
«JEOL», Япония»
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу электронно-ионному растровому JIB-4500Техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
Поверкаосуществляется по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».
Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.
Изготовитель
Фирма «JEOL», Япония.Адрес: 1-2, Musashino 3-chome, Akishima, Tokyo 196-8558, Japan.
Телефон: Tel. +81-42-543-1111. Факс: +81-42-546-3353.
Заявитель
Открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (ОАО «НИЦПВ») Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
Тел./факс (495) 935-97-77. E-mail: fgupnicpv@mail.ru
Испытательный центр
ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ», аттестат аккредитации № 30036-10.
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
Тел./факс (495) 935-97-77. E-mail: fgupnicpv@mail.ru
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную измерительную систему, выполненную на базе растрового электронного микроскопа и работающую в диапазоне измерений микро- и наноразмеров.
Микроскоп состоит из электронно-оптической системы (колонны), ионной колонны с галлиевым жидкометаллическим источником ионов, камеры образцов с механизмом для их перемещения, детектора вторичных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока электроники.
Вакуумная система включает в себя турбомолекулярный и форвакуумный насосы для откачки рабочей камеры микроскопа и гетероионный насос для обеспечения вакуума в области ионной пушки.
Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных электронов, возникающих при сканировании сфокусированного электронного или ионного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
Наличие сфокусированного ионного зонда позволяет производить локальное контролируемое травление образца ионным пучком, при этом режимы травления регулируются изменением ускоряющего напряжения и тока ионного пучка. Контроль параметров рельефа, модифицированного в результате ионного травления (измерение линейных размеров) осуществляется в режиме растрового электронного микроскопа.
В комплект поставки входят: микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
приведены в Таблице 2. Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров элементов топологии, мкм |
от 0,1 до 1000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров элементов топологии, %: - в диапазоне от 0,1 до 0,2 мкм |
±11 |
|
- в диапазоне от 0,2 до 0,4 мкм |
±7 |
|
- в диапазоне от 0,4 до 1000 мкм |
±5 |
|
Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30 кВ (образец - кремний), нм, не более |
25 |
|
Разрешение при возбуждении электронным пучком и ускоряющем напряжении 30 кВ, нм |
2,5 |
|
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В |
220+22-зз |
|
Потребляемая мощность, кВ^А |
4,7 |
|
Масса, кг |
1000 |
|
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм |
1820х1100х1700 |
|
Рабочие условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С |
20±5 |
|
- относительная влажность воздуха, не более, % |
95 |
|
- атмосферное давление, кПа |
84-107 |