Номер по Госреестру СИ: 48388-11
48388-11 Микроскоп электронно-ионный растровый
(Helios NanoLab 650)
Назначение средства измерений:
Микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов и проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов ионным пучком.
Внешний вид.
Микроскоп электронно-ионный растровый
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 137464
ID в реестре СИ - 359864
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Производитель
Изготовитель - Фирма "FEI Company"
Страна - ЧЕШСКАЯ РЕСПУБЛИКА
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
После предварительного распознавания графических файлов с приказами и приложениями к приказам Росстандарта, появилась возможность осуществлять полноценный поиск по их содержимому.
Для осуществления поиска необходимо ввести искомое слово или словосочетание (от 5 символов) и нажать кнопку "Поиск в БД".
Статистика
Кол-во поверок - 1
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 0
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 365 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№2394 от 2022.09.28 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (17)
№2018 от 2017.09.25 О продлении срока действия свидетельств об утверждении типа средств измерений
Наличие аналогов СИ: Микроскоп электронно-ионный растровый (Helios NanoLab 650)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "FEI Company"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
28349-04 |
Анализатор рентгенофлуоресцентный, TXRF 8030C Фирма "FEI Company" (ЧЕШСКАЯ РЕСПУБЛИКА ) |
1 год | |
|
33468-06 |
Микроскоп электронный просвечивающий с рентгеновским спектрометром, Tecnai G2 30 S-TWIN (микроскоп) EDAX (спектрометр) Фирма "FEI Company" (ЧЕШСКАЯ РЕСПУБЛИКА ) |
1 год | |
|
40981-09 01.08.2014 |
Микроскопы электронные просвечивающие, Morgagni, Tecnai G2, Titan 80-300 Фирма "FEI Company" (ЧЕШСКАЯ РЕСПУБЛИКА ) |
ОТ |
1 год |
|
44976-10 |
Микроскоп электронно-ионный растровый, Quanta 200 3D Фирма "FEI Company" (ЧЕШСКАЯ РЕСПУБЛИКА ) |
ОТ |
1 год |
|
48388-11 |
Микроскоп электронно-ионный растровый, Helios NanoLab 650 Фирма "FEI Company" (ЧЕШСКАЯ РЕСПУБЛИКА ) |
ОТ |
1 год |
|
62122-15 |
Микроскоп электронный сканирующий c системами для энергодисперсионного микроанализа и анализа обратно-рассеянных электронов, Verios 460 XНR SEM Фирма "FEI Company" (ЧЕШСКАЯ РЕСПУБЛИКА ) |
ОТ МП |
1 год |
|
67731-17 |
Микроскоп электронный сканирующий, Inspect S50 Фирма "FEI Company" (ЧЕШСКАЯ РЕСПУБЛИКА ) |
ОТ МП |
1 год |
Отчет "ET_3 Аттестованные эталоны единиц величин" состоит из 7 графиков и одной сводной таблицы. Все графики являются интерактивными, имеют функции экспорта и масштабирования. Источником данных для построения отчета являются два реестра ФГИС АРШИН: реестр "Эталоны единиц величин" и реестр "Государственные первичные эталоны Российской Федерации".
Отчет содержит как общую статистику по аттестованным эталонам единиц величин: кол-во эталонов, кол-во организаций-владельцев, среднее кол-во эталонов на организацию, кол-во частных и государственных эталонов, так и более сложную аналитику.
График "У кого сколько эталонов единиц величин" имеет несколько уровней вложенности. На первом уровне доступна информация об организациях-владельцах эталонов и количестве эталонов, находящихся у них на балансе. На втором уровне можно посмотреть состав эталонной базы в разрезе видов измерений.
На графиках "Распределение эталонов по видам измерений и годам" приводятся столбчатые диаграммы распределения эталонов по видам измерений и годам (в штуках и процентном соотношении). Наименования видов измерений присваиваются в зависимости от ГЭП к которому прослеживается каждый конкретный эталон.
График "Возраст парка эталонов единиц величин" представляет информацию по возрасту (дате производства) и количеству аттестованных эталонов единиц величин.
На графике "Распределение эталонов по видам измерений" приводится столбчатая диаграмма распределения эталонов по видам измерений. Наименования видов измерений присваиваются в зависимости от ГЭП к которому прослеживается каждый конкретный эталон.
График "Прослеживаемость к первичным эталонам" служит для оценки измерительных возможностей организаций-владельцев эталонов. По оси OX откладывается информация о количестве эталонов в организации, а по оси OY - кол-во первичных эталонов к которым прослеживаются эталоны организации.
В конце отчета приводится сводная таблица с данными для возможности самостоятельной обработки информации.
Кто поверяет Микроскоп электронно-ионный растровый (Helios NanoLab 650)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФБУ "РОСТОВСКИЙ ЦСМ" (РОСС RU.0001.310392) | РСТ | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Микроскоп электронно-ионный растровый (Helios NanoLab 650)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1. Таблица 1.
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
|
Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений |
xT Microsoft Control 4.5.2.2371 |
1.0 |
B147D7322D89F836E8 807411AA7F2D086A1 D66F3595C4A03C2BB C33896F0C04D |
ГОСТ Р 34.11-94 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится в виде наклейки на корпус микроскопа и типографским способом на титульный лист технической документации фирмы-изготовителя.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Техническое описание «Микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650 фирмы «FEI Company», США»
Лист № 3 всего листов 3
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к микроскопу электронноионному растровому Helios NanoLab 650
ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измеренийПрименяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
Поверка
Поверкаосуществляется по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».
Изготовитель
Фирма «FEI Company», США.Адрес: 5350 NE Dawson Creek Drive, Hillsboro, Oregon 97124, USA. Телефон: +1(503)726-7500. Факс: +1(503)726-2570.
Заявитель
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Адрес: 124498, г. Москва, Зеленоград, проезд 4806, дом 5.
Телефон: (499) 731-4441. Факс: (499) 710-2233. Е-mail: netadm@miet.ru
Испытательный центр
ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ», аттестат аккредитации № 30036-10. Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1. Тел./факс (495) 935-97-77. E-mail: fgupnicpv@mail.ru
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную измерительную систему, выполненную на базе растрового электронного микроскопа и работающую в диапазоне микро- и наноразмеров.
Микроскоп состоит из электронно-оптической системы (колонны), ионной колонны с галлиевым жидкометаллическим источником ионов, камеры образцов с механизмом их перемещения, детектора вторичных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока электроники.
Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных электронов, возникающих при сканировании сфокусированного электронного или ионного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
Наличие сфокусированного ионного зонда позволяет производить локальное контролируемое травление образца ионным пучком, при этом режимы травления регулируются изменением ускоряющего напряжения и тока ионного пучка. Контроль параметров рельефа, модифицированного в результате ионного травления (измерение линейных размеров) осуществляется в режиме растрового электронного микроскопа.
Рис.1. Общий вид микроскопа электронно-ионного растрового Helios NanoLab 650
В комплект микроскопа входят: микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
приведены в Таблице 2. Таблица 2.
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров элементов топологии, мкм |
от 0,05 до 1000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров элементов топологии, % |
±5 |
|
Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30 кВ, нм, не более |
10 |
|
Разрешение при ускоряющем напряжении 30 кВ, нм, не более |
0,8 |
|
Разрешение при ускоряющем напряжении 0,2 кВ, нм, не более |
1,5 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
3 |
|
Рабочие условия эксплуатации: • температура окружающего воздуха, °С |
20±3 |
|
• атмосферное давление, кПа |
100 ±4 |
|
• относительная влажность воздуха, не более, % |
80 |
|
• напряжение сети питания, В |
+10 % 220 -15 % |
|
• частота сети питания, Гц |
50±1 |