Номер по Госреестру СИ: 48291-11
48291-11 Микроскоп конфокальный сканирующий
(VCM-200A)
Назначение средства измерений:
Микроскоп конфокальный сканирующий УСМ-200А (далее микроскоп) предназначен для измерения профиля поверхности различных отражающих поверхностей в лабораториях научно-исследовательских институтов, оптическом приборостроении и производстве.
Внешний вид.
Микроскоп конфокальный сканирующий
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Микроскоп оснащен программным обеспечением VCM-200A версии v3.
Весь исходный код и вычислительный алгоритм VCM-200A расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах, которые не могут быть модифицированы. VCM-200A задает пользовательские уровни. Пользователи административного уровня блокируют редактирование для пользователей низших уровней и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице
Наименование программного обеспечения |
Идентификационное наименование программного обеспечения |
Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
VCM-200A |
VCM-200A Hypernated- System (R) HS200 |
v3 |
D2263A1FCEF3 E920E75652585 C29911B |
MD5 |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на корпус прибора методом наклейки.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Метод измерений изложен в документе «Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-200А. Руководство по эксплуатации» в разделе 2.4.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы
1. ГОСТ 8.296-78. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025.. .3000 мкм.
Поверка
Поверкаосуществляется в соответствии с документом по поверке МП 48291-11 «Микроскоп конфокальный сканирующий VCM 200A. Методика поверки», разработанным и утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2011 г. и включенной в комплект поставки.
Основное поверочное оборудование: Мера ширины и периода МШПС-2.0К 7, Период шаговой структуры: 2000±10 нм.
Изготовитель
Фирма «Veeco Instruments», США
Плейнвью, Нью-Йорк 11803
Телефон: (516) 677-0200
Факс: (516) 714-1200
info@veeco.com
Заявитель
ФГУП «ВНИИОФИ», г. Москва, Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46, Тел./факс:
(495) 495) 437 56 33/ 437 31 47.
адрес в Интернет: www.vniiofi.ru
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений (ГЦИ СИ) ФГУП «ВНИИМС», г.Москва
Микроскоп конфокальный сканирующий УСМ-200А представляет собой конфокальный микроскоп тандемного типа. Конфокальная микроскопия - вид оптической микроскопии, в которой изображение объекта формируется послойно за счет сканирования и пространственной фильтрации прошедшего, отраженного или испускаемого объектом излучения. Использование пространственной фильтрации позволяет увеличить разрешающую способность и контраст по сравнению с обычным световым микроскопом.
В составе микроскопа имеется конфокальный сканирующий модуль позволяющий переносить изображения точек образца находящихся в фокальной плоскости объектива, отсекая паразитный сигнал от остальных точек образца. Таким образом изменяя расстояние от объектива до образца производится получение различных сечений образца вдоль вертикальной оси с последующим построением трехмерного изображения исследуемого объекта путем объединения полученных сечений.
Рис. 1 - Внешний вид микроскопа УСМ-200А
Наименование параметра |
Значение параметра |
Линейное поле зрения в плоскости X и Y , мкм |
Объектив 10х 773х587 Объектив 20х 336х292 Объектив 50х 146х117 Объектив 100х 72х58 |
Диапазон измерений по оси Z, мкм |
Свыше 0 до 6 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм |
±0,2 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z , мкм |
±0,07 |
Масса, кг |
50 |
Питание, В |
240 ± 5 |
Защита программного обеспечения микроскопа соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.