Номер по Госреестру СИ: 48277-11
48277-11 Мера динамическая горизонтального перемещения
(ДКГ-01)
Назначение средства измерений:
Мера динамическая горизонтального перемещения ДКГ-01 (далее, мера) предназначена для воспроизведения перемещений в латеральной плоскости при испытаниях, поверке и калибровке растровых измерительных микроскопов, сканирующих зондовых микроскопов, вертикальных сканирующих интерферометров.
Внешний вид.
Мера динамическая горизонтального перемещения
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Мера динамическая горизонтального перемещения ДКГ-01 оснащена программным обеспечением DAC Generator версии V 1.8, предназначенным для подачи на меру импульсов напряжения с электронной системы управления (ЭСУ). Вычислительный алгоритм DAC Generator расположен в заранее скомпилированных бинарных файлах и не может быть модифицирован. ПО DAC Generator блокирует редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице
Наименование программного обеспечения |
Идентификационное наименование программного обеспечения |
Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
DAC Generator |
DAC Generator.exe |
V 1.8 |
8286A214266346C6F E9E263C45E534A3 |
MD5 |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Защита программного обеспечения меры динамической горизонтального перемещения ДКГ-01 соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
«Динамические меры нанометрового диапазона. Руководство по эксплуатации». ТС.500.000.000 РЭ.
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к динамической мере динамической горизонтального перемещения ДКГ-01
2270-93 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений линейных размеров в диапазоне 0,1.. .10,0 мкм
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 48277-11 «Мера динамическая горизонтального перемещения ДКГ-01. Методика поверки», разработанному и утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИ-ИМС» в сентябре 2011 года.
Основное поверочное оборудование: прибор Talystep («TAYLOR HOBSON Ltd», Великобритания), основные характеристики: вертикальное: увеличение - 106, предел случайной погрешности - 0,3%.
Изготовитель
ЗАО «Техносистема Н», 101000, Москва, ул. Покровка, д.14/2, стр. 1, тел./факс. (495) 673-26-22, Эл.почта: nanofactory@mail.ru
Заявитель
ФГУП «ВНИИМС», г. Москва, Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46 Тел./факс: (495) 437-55-77 / 437-56-66.
E-mail: office@vniims.ru , адрес в Интернет: www.vniims.ru
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений (ГЦИ СИ) ФГУП «ВНИИМС», г.Москва
В основе принципа действия меры лежит управляемая электрическим напряжением деформация исполнительного пьезоэлемента, выполненного из пьезокристаллического материала, характеризуемого пренебрежительно малым гистерезисом и ползучестью, в горизонтальном направлении. Конструктивно мера выполнена в виде корпуса, внутри которого установлен исполнительный пьезоэлемент, на лицевой поверхности которого установлена рельефная решетка, перемещающаяся в горизонтальном направлении. Для устранения влияния внешних влияющих факторов (температурный дрейф, низкочастотные колебания, ползучесть элементов конструкции и др.) управление перемещением меры осуществляется амплитудно -модулированным сигналом в виде прямоугольных импульсов напряжения, подаваемым с электронной системы управления (ЭСУ), что позволяет отсчитывать перемещения по результатам измерения амплитуды переднего или заднего фронта импульса перемещения.
Рисунок 1 - Общий вид меры динамической горизонтального перемещения ДКГ-01
Наименование параметра |
Значение параметра |
Диапазон воспроизведения перемещений при изменении управляющего напряжения в пределах -2000: -200013 |
не менее 100 нм |
Пределы допускаемой основной абсолютной погрешности воспроизведения перемещений |
± 1,0 нм |
Погрешность измерения амплитуды генерируемых импульсов напряжения |
не более 0,1 % |
Сопротивление изоляции |
не менее 5 МОм |
Чувствительность |
не менее 50х10"3 нм/В |
Разрешающая способность |
не хуже 0,2 нм |
Уровень собственных шумов |
не более 0,2 нм |
Диапазон рабочих температур: 20 ± 3 °С.