Номер по Госреестру СИ: 45580-10
45580-10 Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах
(Нет данных)
Назначение средства измерений:
Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах (далее - комплекс) предназначен для измерения геометрических параметров методом атомно-силовой микроскопии и показателя преломления методом интерференционной микроскопии изолированных функционирующих клеток и клеточных структур.
Область применения - контроль изделий бионанотехнологий и продукции бионаноиндустрии.
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 134170
ID в реестре СИ - 356570
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Производитель
Изготовитель - ЗАО "Нанотехнология МДТ"
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Москва
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Отчет представляет собой выгрузку большого количества обработанных данных по поверкам за выбранный год. Данные выружаются в текстовый файл формата CSV в кодировке windows-1251 с разделителем ";"
Выгрузки могут иметь бльшой размер и включать до 1 миллиона строк.
Структура данных имеет следующий вид:
- Наименование организации-поверителя
- Номер аттестата аккредитации
- Номер типа СИ ФРШИН
- Наименование типа СИ
- Количество поверок
- Количество первичных поверок
- Количество периодических поверок
- Количество извещений о непригодности
- Количество поверок для юр. лиц
Файл может быть легко прочитан любым текстовым редакторам, например: notepad++, notepad или MS Excel. Запускаем программу Excel. Переходим во вкладку «Данные». Кликаем на кнопку на ленте «Из текста», указываем путь к файлу.
Статистика
Кол-во поверок -
Выдано извещений -
Кол-во периодических поверок -
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
Наличие аналогов СИ: Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах (Нет данных)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений ЗАО "Нанотехнология МДТ"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
28664-05 01.03.2010 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Ntegra ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
1 год | |
|
28664-10 07.05.2020 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Ntegra SPECTRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SOLARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
28665-05 01.04.2015 |
Микроскопы сканирующие зондовые, NanoEducator ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
28666-05 01.03.2010 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Solver Pro ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
1 год | |
|
28666-10 07.05.2020 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Solver HV, Solver HV-MFM, Solver SNOM, Smena, Solver PRO, Solver PRO-M, Solver FD, Solver P47-PRO, Solver PRO-EC, Solver MFM, Solver BIO-M, Solver OPEN ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
40597-09 01.06.2014 |
Микроскопы сканирующие зондовые, SOLVER NEXT ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41676-09 12.11.2019 |
Меры периода линейные, TDG01 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41677-09 12.11.2019 |
Меры периода линейно-угловые, TGG1 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41678-09 12.11.2019 |
Меры периода и высоты линейные, TGZ1, TGZ2, TGZ3 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41679-09 12.11.2019 |
Меры периода линейно-угловые, TGT1 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41680-09 12.11.2019 |
Меры периода и высоты линейные, TGQ1 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
45580-10 |
Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах, Нет данных ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
Отчет Дерево связей позволяет получить информацию об организациях, оказывающих услуги поверки выбранному владельцу средств измерений.
Отчет выполнен в виде графа. Красной парной связью показаны связи между владельцем СИ и поверителями, серой парной связью показаны прочие клиенты поверителя.
В целях обеспечения актуальности информации и читаемости графа максимальное количество связей ограничено 50 (для владельца СИ и каждого из поверителей). Кроме того, связь отображается только в том случае, если количество поверок между владельцем и поверителем превышает 50 шт. за последние 6 месяцев.
Кто поверяет Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах (Нет данных)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|
Стоимость поверки Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах (Нет данных)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносят на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Нормативные и технические документы
-
1. ГОСТ Р 8.630-2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки».
-
2. ГОСТ Р 8.628-2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления»
-
3. Техническая документация ЗАО «Нанотехнология МДТ», г. Зеленоград
Поверка
Поверка комплекса проводится в соответствии с документом «Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» в октябре 2010 г.
Основные средства поверки:
-
• мера периода и высоты линейная TGQ1 ТУ 3932-012-40349675-2009 (ГР № 41680-09). Номинальное значение шага шаговой структуры меры 3,00 мкм, допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры не более ±0,01 мкм. Высота профиля 0,020 мкм, пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговых структурах не более ±0,002 мкм;
-
• мера периода и высоты линейная TGZ3 ТУ 3932-013-40349675-2009 (ГР № 41678-09). Номинальное значение шага шаговой структуры меры 3,00 мкм, допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры не более ±0,01 мкм. Высота профиля 0,520 мкм, пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговых структурах не более ±0,020 мкм;
-
• набор жидких мер показателя преломления РЖЭ-1 ТУ 4437-00640001819-03 (ГР № 24513-03). Диапазон показателя преломления
1.385 - 1.659, предел допускаемой абсолютной погрешности измерения показателя преломления не более ±0,00003
Межповерочный интервал - один год.
Заключение
Тип «Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах», утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.
СОГЛАСОВАНО
Руководитель ГЦИ СИ Зам. директора ~^ГУП «ВНИИОФИ»
Н.П. Муравская 2010 г.
|
Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах |
Внесен в Государственный реестр средств измерений Регистрационный номер №4552)0-10 |
Изготовлен по технической документации ЗАО «Нанотехнология МДТ», г. Зеленоград. Зав. № 001.
НАЗНАЧЕНИЕ И ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯКомплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах (далее - комплекс) предназначен для измерения геометрических параметров методом атомно-силовой микроскопии и показателя преломления методом интерференционной микроскопии изолированных функционирующих клеток и клеточных структур.
Область применения - контроль изделий бионанотехнологий и продукции бионаноиндустрии.
Комплекс состоит из двух установок: микроскопа сканирующего зондового Ntegra SPECTRA зав. № 001 и микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1 зав. № 002. В основе установки Ntegra SPECTRA лежит измерительная головка атомно-силового микроскопа (АСМ). АСМ реализует принцип измерений силы, действующей на острие микрозонда (кантилевера) со стороны исследуемой поверхности, как проводящих, так и диэлектрических сред. Поддерживая с помощью обратной связи постоянной силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет измерять геометрические параметры исследуемого объ-
екта. Сканирование в различных диапазонах обеспечивается с помощью заменяемых пьезосканеров. Использование емкостных датчиков в процессе сканирования позволяет уменьшить влияние нелинейности пьезосканера.
Конструкция блока подвода и сканирования Ntegra SPECTRA обеспечивает ручной и автоматический подвод образца к зонду; установку АСМ головки на блок подвода без дополнительных приспособлений; простую процедуру замены и установки сканера и держателя образца. Прибор позволяет проводить сканирование как зондом или образцом, так и комбинированно на воздухе, в газовой и жидкой средах.
Конструктивно Ntegra SPECTRA выполнена в виде настольных приборов с отдельно устанавливаемым компьютером. Управление процессом измерений осуществляется от контроллера и PC совместимого компьютера с помощью программного обеспечения. Управляющие сигналы от АСМ контроллера поступают в измерительную головку. Управление АСМ-контроллером осуществляется с помощью компьютерного программного обеспечения посредством специальной PCI-платы или интерфейса USB 2.0. При помощи программного обеспечения осуществляется настройка прибора, оптимизация его параметров, управление режимами работы, выполнение сканирования, обработка результатов измерений и их хранение.
Принцип действия микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1 основан на получении интерферограмм исследуемого объекта при различных фазовых сдвигах, их расшифровки и вычислении по ним показателя преломления.
Конструктивно прибор выполнен в виде двух блоков автоматизированного интерференционного микроскопа и осветительного лазерного блока.
Для расшифровки интерферограмм в микроскопе МИА-1 использован метод дискретного фазового сдвига (метод фазовых шагов). Сдвиг вносится при помощи управляемого от компьютера пьезоэлемента, связанного с зеркалом опорного канала. Интерферограммы при различных положениях зеркала с помощью ПЗС-телекамеры поступают в персональный компьютер, где производится их автоматическая обработка.
Для управления вводом изображений, сдвигом пьезоэлемента и расшифровки интерферограмм используется специальное программное обеспечение «WinPhast». В результате работы программы производится восстановление двумерного распределения оптической разности хода. Для вычисления показателя преломления исследуемого вещества используется двухиммерсионный метод. Он основан на измерении оптической разности хода двух веществ: с известным показателем преломления и с искомым. Далее по полученным двумерным распределениям оптической разности хода определяются фазовые объемы, отношение которых дает показатель преломления.
Комплекс обеспечивает измерение геометрических параметров и показателя преломления исследуемого объекта.
Программное обеспечение входящих в комплекс установок выполнено в виде отдельно запускаемых модулей и обеспечивает защиту от влияния на метрологические характеристики, а также непреднамеренных и преднамеренных изменений.
Комплект поставки соответствует таблице 2.
Таблица 2
|
Наименование |
Кол-во, шт. |
|
Микроскоп сканирующий зондовый Ntegra SPECTRA |
1 |
|
Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1 |
1 |
|
Руководство по эксплуатации микроскопа сканирующего зондового Ntegra SPECTRA |
1 |
|
Руководство по эксплуатации микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1 |
1 |
|
Методика поверки |
1 |
Таблица 1
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
1 |
2 |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
от 0 до 90 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0 до 10 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, % |
±1 |
|
' Пределы допускаемой относительной погрешности измерений ! линейных размеров по оси Z, % |
±5 |
|
! Нелинейность сканирования в плоскости XY, %, не более |
0,5 |
|
Неплоскостность сканирования в плоскости XY, нм, не более |
100 |
|
Разрешение в плоскости XY, нм, не более |
0,15 |
|
Разрешение по оси Z, нм, не более |
0,1 |
|
Дрейф в плоскости XY, А/с, не более |
2 |
|
Дрейф по оси Z, А/с, не более |
1,5 |
|
Максимальное число точек сканирования по X и Y |
4000x4000 |
|
Размеры исследуемых образцов (диаметр х толщина), мм |
100 х 20 |
|
Диапазон измерений показателя преломления |
от 1,39 до 1,65 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения показателя преломления |
±5 -10 5 |
|
Напряжение питания переменного тока, В |
220±22 |
|
Потребляемая мощность, Вт, не более
|
240 250 |
|
Габаритные размеры, мм
|
445x160x500 240x345x280 340x370x380 |
|
Масса, кг, не более
|
60 24 |
|
Условия эксплуатации:
|
20±5 101±4 65±20 |