Сведения о средстве измерений: 44975-10 Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый

Номер по Госреестру СИ: 44975-10
44975-10 Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый
(IMS-7f)

Назначение средства измерений:
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый JMS-7f (далее - прибор) предназначен для измерений массы вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов. Прибор применяется для контроля дозы имплантации, измерений глубин р-п переходов, разработки технологических процессов, послойного элементного анализа в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, медицине, металлургии.

сертификация программного обеспечения

Общие сведения

Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 133502
ID в реестре СИ - 355902
Тип производства - единичное
Описание типа

Поверка

Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да

Модификации СИ

Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-7f,

Производитель

Изготовитель - Фирма "Cameca"
Страна - ФРАНЦИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да

Отчет V_30 представляет собой инструмент, позволяющий получить подробную информацию по поверкам по конкретной группе СИ. Отчет позволяет оперативно выделить лидеров рынка, оценить конкурентов, объем поверок и подобрать аналоги из утвержденных типов СИ.

В качестве входных данным может использоваться как готовый каталог групп СИ (более 10 тыс. групп, соствлен по справочникам и реестрам ФГИС АРШИН, есть возможность выбрать несколько групп СИ из списка), так и наименование группы СИ, заданное пользователем. Для построения отчета необходимо выбрать или ввести наименование интересующей группы средств измерений (или нескольких групп), год поиска и нажать кнопку "Далее".

Результаты обработки данных будут представлены в табличной форме. Таблица обладает функцией поиска и сортировки по любой из колонок. Таблица состоит из 8 колонок по каждому типу СИ, относящемуся к выбранной группе средств измерений и содержит номер в гос. реестре с ссылкой, наименование типа, фирма-производитель, страна, а также, кол-во поверок (всего, первичных, периодических) и извещений, выполненных в указанном году.

Стоимость 200 руб. или по подписке

Статистика

Кол-во поверок - 1
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.

Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ

Наличие аналогов СИ: Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый (IMS-7f)

ИМПОРТНОЕ СИ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель

Все средства измерений Фирма "Cameca"

№ в реестре
cрок св-ва
Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
23478-02

Анализатор рентгеновский микрозондовый, Camebax
Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ )
1 год
44975-10

Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый, IMS-7f
Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ )
ОТ
1 год
47061-11

Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый, IMS-4f
Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ )
ОТ
1 год
48387-11

Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса, IMS-4f
Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ )
ОТ
1 год

Пенза - город в центре европейской части России, административный центр Пензенской области. является городом областного значения, образует муниципальное образование городской округ город Пенза. Население - 501 109 человек.

Пенза расположена в центре европейской части России на Приволжской возвышенности, в 629 км к юго-востоку от Москвы. Город расположен на берегах реки Сура в южной части Пензенской области, в 26 км к востоку от ее географического центра. Площадь города составляет 310,4 кв. км.

Средняя высота над уровнем моря - 174 м. Самая высокая точка находится на холме Боевой горы, вытянутой с SW на NE как хребет. Максимальная высота - 134 м.

Основными видами промышленной продукции, выпускаемой предприятиями города, являются: стальные трубы, промышленная трубопроводная арматура, воздушные и газовые приводные компрессоры, машины для коммунального хозяйства, медицинское оборудование, приборы и средства автоматизации, химическое оборудование, вычислительная техника. ОАО "ППО ЭВТ им. В.А. Ревунова" - производство бытовой техники. НПП "МедИнж" - производство сердечных клапанов. На долю "Маяка" приходится 60% отечественного рынка бумаги-основы, используемой в дизайне, производстве мебели, обоев, декоративных пластиков. НПП "Эра" - производство летных тренажеров для пилотов гражданской авиации, механизмов для химической и нефтехимической промышленности. Пензенская кондитерская фабрика - более 130 наименований кондитерских изделий и др.

Отчет "Анализ рынка поверки в Пензе" предоставляет исчерпывающую информацию по деятельности организаций, аккредитованных в Национальной системе аккредитации на право поверки средств измерений в городе Пенза.

При проведении исследований были введены следующие ограничения:

  • в отчете присутствуют организации с первичными или периодическими поверками от 100 шт. с 2017 года и действующими аттестатами аккредитации на текущий год;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • место регистрации или осуществления деятельности организаций должно совпадать с выбранным городом;
  • топ типов СИ ограничен 500 позициями по каждой организации (сортировка по убыванию количества поверок);
  • топ типов СИ ограничен 100 позициями по каждой организации при поиске по видам измерений (сортировка по убыванию количества поверок).

Содержание отчета:

  • Список организаций-поверителей, осуществляющих поверку в городе Москва по данным ФСА и ФГИС АРШИН.
  • Объемы первичных и периодических поверок за период с 2017г. по н.в.
  • Информация о местах осуществления деятельности организаций-поверителей.
  • Доля рынка поверок в % среди всех организаций, исследуемого города (предоставление информации в графическом и табличном видах).
  • Детальный анализ по каждой из организации, работающей в выбранном городе.
  • Анализ деятельности в разрезе первичных, периодических поверок и видов измерений.
  • Количество поверок по типам СИ в динамике по годам.
  • Индикация импортных аналогов средств поверки (в соответствии с ПЕРЕЧЕНЕМ СИ ОТЕЧЕСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА, АНАЛОГИЧНЫХ СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ ИМПОРТНОГО ПРОИЗВОДСТВА от 09.2022г)
  • Индикация типов СИ по ПП РФ №250 от 20.04.2010 г.
  • Быстрый анализ контрагентов организаций-поверителей.
  • Анализ цен на поверку СИ по Фед. округу.

Стоимость 3 000 руб.

Кто поверяет Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый (IMS-7f)

Наименование организации Cтатус Поверенные модификации Кол-во поверок Поверок в 2024 году Первичных поверок Периодических поверок Извещений Для юриков Для юриков первичные Для юриков периодические
АО "НИЦПВ"
(RA.RU.311409)
  • Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-7f
  • 1 0 1 0 0 0 0

    Стоимость поверки Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый (IMS-7f)

    Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

    Знак утверждения типа

    • Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на ионно-оптическую колону прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя.


    Сведения о методиках измерений


    Нормативные и технические документы

    ГОСТ 19658-81. Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия.

    ГОСТ 10297-94. Индий. Технические условия.

    Поверка

    Поверка масс-спектрометра вторично-ионного микрозондового IMS-7f проводится в соответствии с документом «Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-7f фирмы «САМЕСА», Франция. Методика поверки», утвержденным руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в августе 2010 г.

    Средства поверки:

    - часть пластины монокристаллического кремния марки ЭКЭФ-0,1-24 по ГОСТ 19658-81; -индий марки ИН 0000 по ГОСТ 10297-94.

    Межповерочный интервал - 1 год.


    Изготовитель

    Фирма «САМЕСА», Франция
    103 Bd. Saint-Denis / BP 6, 92403 COURBEVOIE Cedex - France. Телефон: (33-1) 43 34 62 00.
    Факс:    (33-1) 43 34 63 50.
    E-mail: sales@cameca.fr

    Принцип действия прибора основан на явлении вторичной ионной эмиссии: испускании твердым телом ионов при облучении поверхности ускоренными ионами. В результате взаимодействия первичного иона с энергией в несколько килоэлектронвольт с образцом, возникает каскад атомных столкновений внутри образца, некоторые из которых приводят к эмиссии атомов, расположенных в приповерхностных слоях. Определенная доля этих атомов в процессе эмиссии приобретает положительный или отрицательный заряд (вторичные ионы). Вторичные ионы разделяют в соответствии с их отношением массы к заряду масс-сепаратором с двойной фокусировкой и детектируют системой регистрации.

    Прибор состоит из ионной пушки, камеры распыления, масс-сепаратора, регистрирующей системы, вакуумной системы, системы управления; рабочего стола с управляющим компьютером и функциональной клавиатурой.

    Управление прибором осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения.


    В комплект прибора входят: масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-7f, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.


    Основные технические характеристики приведены в Таблице.

    Таблица.

    Наименование характеристики

    Значение

    Диапазон измерений массы вторичных ионов при напряжении на образце 5 кВ, не менее, а.е.м.

    460

    Диапазон измерений массы вторичных ионов при напряжении на образце 10 кВ, не менее, а.е.м.

    230

    Пределы допускаемой погрешности измерений массы положительных вторичных ионов, а.е.м.

    (Миом - номинальное значение массы соответствующего положительного вторичного иона, а.е.м.)

    ±(0,1+Мном-10'3)

    Пределы допускаемой погрешности измерений массы отрицательных вторичных ионов, а.е.м.

    (Миом - номинальное значение массы соответствующего отрицательного вторичного иона, а.е.м.)

    ±(0,1+Мном-Ю'3)

    Максимальное масс-спектральное разрешение, не менее

    25000

    Ускоряющее напряжение первичных ионов цезия Cs+, кВ

    От 1 до 10

    Ускоряющее напряжение первичных ионов кислорода Ог+, кВ

    От 1,1 до 15

    Максимальный ток ионов Cs+ при напряжении на источнике 10 кВ, не менее, мкА

    1

    Максимальный ток ионов Ог+ при напряжении на источнике 15 кВ, не менее, мкА

    7

    Максимальный ток ионов Ог+ при напряжении на источнике 1,1 кВ, не менее, нА

    100

    Геометрические размеры исследуемых образцов (диаметр х толщина), не более, мм

    24x3

    Потребляемая мощность, кВт, не более

    9,9

    Масса, кг

    1430

    Габаритные размеры, мм:

    • - физическая часть

    • - электронная стойка

    2240x2080x1550

    600x900x1950

    Рабочие условия эксплуатации:

    • - температура окружающего воздуха, °C

    • - атмосферное давление, кПа

    • - относительная влажность воздуха, %

    • - напряжение питания сети, В

    • - частота питающей сети, Гц

    -вибрации:

    а) амплитуда смещения в диапазоне частот вибрации от 0,4 до 2,5 Гц не более, мкм

    б) виброускорение в диапазоне частот вибрации от 2,5 до 200 Гц, не более, м сек'2

    -внешние магнитные поля, не более, Тл

    20± 1

    101 ±1,4 70±5

    230 ± 10

    50 ± 1

    5

    1-Ю'3

    3-10'7


    Настройки внешнего вида
    Цветовая схема

    Ширина

    Левая панель