Номер по Госреестру СИ: 41679-09
41679-09 Меры периода линейно-угловые
(TGT1)
Назначение средства измерений:
Меры периода линейно-угловые TGT1 (далее - меры) относятся к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.
Внешний вид.
Меры периода линейно-угловые
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства - 12.11.2019
Номер записи - 129648
ID в реестре СИ - 352048
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Мера периода линейно-угловая TGТ1, Мера периода и высоты линейно-угловая TGT1, TGT1, -,
Производитель
Изготовитель - ЗАО "Нанотехнология МДТ"
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Москва
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Отчет позволяет наглядно в виде графа показать основных клинетов организации-поверителя и связи между ними. На графе представлено два типа связей: 1 - связи между выбранной организацией-повериетлем и ее клиентами (красные линии) и 2 - связи между клиентами и иными поверителями (серые линии).
В качестве исходных данных берутся поверки организации-поверителя за последние пол года. Для удобства отображения максимальное количество связей (красные линии) ограничено 2000 (можно поиграться фильтрами). Количество вторичных связей (серые линии) ограничено 10.
Для удобства отображения данных сделано ограничение в виде минимального количества поверок (100 штук), необходимых для формирования связи. Т.е., если между выбранной организацией и клиентмом за все время было сделано менее 100 поверок, то такая связь формироваться не будет.
Статистика
Кол-во поверок - 15
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 10
Кол-во средств измерений - 4
Кол-во владельцев - 5
Усредненный год выпуска СИ - 2011
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№2802 от 2023.12.27 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (18)
№1802 от 2014.11.11 О продлении срока действия свидетельств об утверждении типа средств измерений (ГР 41680-09 - 27242-09)
Наличие аналогов СИ: Меры периода линейно-угловые (TGT1)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений ЗАО "Нанотехнология МДТ"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
28664-05 01.03.2010 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Ntegra ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
1 год | |
|
28664-10 07.05.2020 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Ntegra SPECTRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SOLARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
28665-05 01.04.2015 |
Микроскопы сканирующие зондовые, NanoEducator ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
28666-05 01.03.2010 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Solver Pro ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
1 год | |
|
28666-10 07.05.2020 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Solver HV, Solver HV-MFM, Solver SNOM, Smena, Solver PRO, Solver PRO-M, Solver FD, Solver P47-PRO, Solver PRO-EC, Solver MFM, Solver BIO-M, Solver OPEN ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
40597-09 01.06.2014 |
Микроскопы сканирующие зондовые, SOLVER NEXT ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41676-09 12.11.2019 |
Меры периода линейные, TDG01 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41677-09 12.11.2019 |
Меры периода линейно-угловые, TGG1 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41678-09 12.11.2019 |
Меры периода и высоты линейные, TGZ1, TGZ2, TGZ3 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41679-09 12.11.2019 |
Меры периода линейно-угловые, TGT1 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41680-09 12.11.2019 |
Меры периода и высоты линейные, TGQ1 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
45580-10 |
Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах, Нет данных ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
Кто поверяет Меры периода линейно-угловые (TGT1)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП "ВНИИМС" (01.00225-2011) | РСТ | 2 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | ||
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 3 | 1 | 0 | 3 | 0 | 3 | 0 | 3 | ||
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ФГУП «ВНИИМС» (RA.RU.311493) | РСТ | 3 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ФГБУ "ВНИИМС" (RA.RU.311493) | РСТ | 6 | 0 | 6 | 0 | 6 | 0 | 6 |
Стоимость поверки Меры периода линейно-угловые (TGT1)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист паспорта и на футляр.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Меры периода линейно-угловые TGT1. Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мерам периода линейно-угловым TGT1
Технические условия 3932-014-40349675-2009 ТУ и руководство по эксплуатации (паспорт) 3932-014-40349675-2009 РЭ.
Поверка
Поверкаосуществляется в соответствии с методикой, изложенной в разделе 4 Руководства по эксплуатации 3932-014-40349675-2009 РЭ и согласованной ФГУП «ВНИИМС 06.08.2009 г.
Основное средство поверки - микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой Solver Pro (Госреестр № 28666-10).
Изготовитель
Закрытое акционерное общество «Нанотехнология МДТ» (ЗАО «НТ-МДТ»)
Адрес: 124482, Москва, Зеленоград, корп.100, E-mail: spm@ntmdt.ru, Телефон: 499-735-03-05, Факс: 499-735-64-10
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС») Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66;
E-mail: office@vniims.ru, www.vniims.ru
Меры представляет собой совокупность протяженных периодически расположенных структур на поверхности квадратной кремниевой монокристаллической пластины с размерами квадрата со стороной не более 5 мм, поверхность которой ориентирована параллельно кристаллографической плоскости (100). Мера состоит из одинаковых периодически расположенных структур конусовидной формы.
Внешний меры представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Внешний вид меры периода линейно-угловой TGT1.
Мера TGT1 - 1шт.;
Специальный футляр - 1 шт.;
Руководство по эксплуатации (паспорт) - 1шт.
Таблица 1
|
Наименование |
Значение |
|
Номинальное значение периода структуры меры, мкм |
3,00 |
|
Допускаемое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более, мкм |
± 0,01 |
|
Номинальное значение диагонального периода структуры меры, мкм |
2,12 |
|
Допускаемое отклонение от номинального значения диагонального периода меры не более, мкм |
± 0,02 |
|
Двумерный угол при вершине конуса, градус |
30 ± 10 |
|
Радиус закругления острия конуса не более, нм |
20 |
|
Значение высоты профиля меры не более, мкм |
1,0 |
|
Условия эксплуатации: | |
|
а) При работе на воздухе | |
|
- температура окружающего воздуха, °С |
20 ± 3 |
|
- относительная влажность, % |
65 ± 15 3 |
|
- атмосферное давление, Па |
(100 ± 4>103 |
|
б) При работе в вакуумных условиях | |
|
- диапазон значений остаточного давления в камере образцов | |
|
микроскопа, Па |
от140-4 до 270 |
|
- температура держателя образца, оС |
20 ± 3 |
|
Масса меры не более, г |
5 |
|
Габаритные размеры меры, мм |
5,0х5,0х0,5 |
|
Размеры рабочей области меры, мм |
2,0х2,0 |